技術總結
本發明公開了一種紫外激光投影鏡頭，屬于光學鏡頭技術領域。所述紫外激光為波長為200nm~400nm的準分子激光，紫外激光投影鏡頭包括光學結構和機械結構兩部分，光學結構包括沿入射光線傳輸方向依次設置的第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，其中第一透鏡為雙凸型柱面正透鏡，第二透鏡為凹凸型柱面負透鏡，第三透鏡為雙凸型柱面正透鏡；機械結構包括沿入射光線傳輸方向依次設置的固定架，第一調節組件，第二調節組件，第三調節組件。本發明的鏡頭結構簡單，易于裝調，生產成本低，便于拆裝和維護，可應用于平板顯示低溫多晶硅制備的光束整形系統中。

技術研發人員：尹廣玥;游利兵;方曉
受保護的技術使用者：中國科學院合肥物質科學研究院
文檔號碼：201611137768
技術研發日：2016.12.12
技術公布日：2017.05.17