專利名稱：電火花加工機的加工液過濾裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及電火花加工機中的加工液過濾裝置，通過做成輥狀的過濾用材料過濾加工時排出的加工物的細微的金屬屑(油泥)，通過逆清洗該過濾用材料，能夠重復多次使用過濾用材料。
背景技術：
作為用于過濾在電火花線切割加工機的加工中使用的加工液的過濾器，廣泛使用折疊合成纖維或者纖維素等過濾用材料、把該折疊的過濾用材料裝滿圓筒狀的金屬容器或者圓筒狀的樹脂容器內做成的過濾器。此外，在本說明書中，所謂過濾器是指過濾用材料和收容該過濾用材料的過濾器容器的組合。這種類型的過濾器，在過濾加工液時在過濾用材料內堆積加工時排出的油泥，當經過某段時間時產生所謂的眼孔堵塞，過濾能力降低。這里過濾能力是過濾流量。 為了增加發生了眼孔堵塞的過濾器的過濾能力(過濾流量)，可以提高加工液過濾時的壓力(過濾壓力)，但是，過濾用材料或者過濾容器的強度有界限，過濾壓力僅能提高到該界限強度以下的壓力值。一般，更換過濾器的時期，是過濾壓力達到上述界限強度時。在現在的電火花線切割加工機中使用的過濾器，如在日本特開平9-029584號公報中公開的那樣，是組合了過濾用材料和過濾器容器的過濾器。但是，在更換過濾器時，需要把過濾用材料和過濾器容器兩者都更換成新的，結果，對于環境的影響大，費用增加。因此，最近特別要求過濾器的長壽命化和削減廢棄物。另外，在上述技術中，除了上述的問題之外，不具有向控制部通知從過濾器供給輥能夠供給的過濾器結束的單元。因此，存在未經過濾的加工液流入清水槽，油泥污染并且堵塞水配管或者冷卻裝置，機械的配管系統發生故障的可能。在日本特開平2-30433號公報中，公開了在加工液的過濾中使用做成輥狀的過濾用材料，在過濾器孔堵塞、過濾槽的壓力升高時驅動回收輥，回收該過濾器的電火花線切割加工裝置。在該電火花線切割加工裝置中，因為不使用過濾器容器，所以在更換過濾器時不廢棄過濾器容器。但是，因為該電火花線切割加工裝置不具有清洗過濾器的裝置，所以無法重復利用回收的過濾器。用于使過濾器移動的驅動電動機，僅設置在回收輥一側，所以存在加工液浸濕的過濾器損壞這樣的問題。在日本特開2006-35089號公報中，公開了通過利用壓縮空氣或者水流逆清洗過濾器，能夠多次使用同一過濾器的利用做成輥狀的過濾用材料的金屬型的循環冷卻水過濾裝置的技術。因為該循環冷卻水過濾裝置具有清洗裝置，所以能夠重復使用過濾器。但是，因為逆清洗在別的貯水槽的冷卻水中進行，通過逆清洗從過濾器中取出的油泥返回到該貯水槽的循環冷卻水中，所以每次進行逆清洗，需要廢棄該貯水槽內的循環冷卻水，更換為新的冷卻水。在日本特開2004-63846號公報中，公開了通過用空氣流或者超純水吹來逆清洗過濾器，能夠重復使用的、過濾在半導體裝置的制造的研磨過程中產生的泥漿的技術。該半導體裝置因為具有清洗裝置，所以能夠重復使用過濾器。但是該半導體裝置用形成無端狀的過濾器的一部分進行過濾處理，另外與其并行用該過濾器的別的部分進行基于逆清洗的過濾用材料孔堵塞的消除處理，反復利用同一過濾器。因為不檢測過濾器的眼孔堵塞進行逆清洗，所以有時即使過濾器的眼孔未堵塞也進行逆清洗，結果，存在不能有效地進行逆清洗這樣的問題。在日本實開昭62-022025號公報中，公開了以延長已設置的電火花加工液的過濾裝置的過濾元件的壽命為目的的子過濾器的技術。但是，該過濾裝置不對在預清洗器中使用的過濾元件進行逆清洗以便多次使用。

發明內容
因此，本發明是鑒于上述現有技術的問題而提出的，其目的在于，提供一種在電火花加工裝置中，通過做成輥狀的過濾用材料過濾加工時排出的加工物的細微的金屬屑(油泥)，通過逆清洗該過濾用材料，能夠重復多次使用該過濾用材料的電火花加工機的加工液過濾裝置。本發明的電火花加工機的加工液過濾裝置具有在內部具有通過電極對加工物進行電火花加工的電火花加工部的加工槽、回收以及貯存該加工槽的加工液的污水槽、和在底部具有開口部的過濾槽，使加工液過濾用過濾器接觸該過濾槽的底部，在用上述過濾槽和上述過濾器形成的空間內填充上述污水槽的加工液，在該過濾器進行過濾。該加工液過濾裝置還具有過濾器供給輥用驅動器，其旋轉驅動把加工液過濾用過濾器設置為輥狀的過濾器供給輥；過濾器回收輥用驅動器，其旋轉驅動回收上述過濾器的過濾器回收輥；移動量檢測部，其檢測上述過濾器的移動量；壓力檢測部，其檢測上述過濾槽的加工液的壓力；噴嘴，設置在上述過濾槽的上游或者下游，清洗上述過濾器；以及控制部，其進行控制，在上述壓力檢測部檢測到的加工液的壓力超過預定的值時，驅動上述過濾器供給輥用驅動器或者過濾器回收輥用驅動器，使上述過濾器移動預定距離，來清洗該移動的過濾器。上述控制部能夠在上述壓力檢測部檢測到的加工液的壓力超過預定的值時，使上述過濾器中的在過濾槽進行了過濾的部分移動，在移動后的位置進行該部分的清洗，在進行清洗后使上述過濾器的洗凈的部分向過濾槽移動。上述加工液過濾裝置還具有對上述過濾器的同一部分的清洗次數進行計數的計數部，此外，上述控制部在上述清洗次數成為預定的次數時不進行清洗而回收到上述過濾器回收輥。上述控制部還可以在上述壓力檢測部檢測到的加工液的壓力超過預定的值時，使在上述過濾器的過濾槽中使用過的部分移動進行清洗，在把過濾器全部回收到上述過濾器回收輥時，使過濾器回收輥和過濾器供給輥的旋轉為逆旋轉。上述控制部同步驅動上述過濾器供給輥用驅動器和過濾器回收輥用驅動器，使上述過濾器移動預定距離。根據本發明，能夠提供在過濾器清洗結束后不更換貯水槽的加工液，而且在適當的時期進行過濾器的清洗，能夠不浪費地使用過濾器的電火花加工機的加工液過濾裝置，并且可以提供在電火花加工裝置中，通過做成輥狀的過濾用材料過濾加工時排出的加工物的細微的金屬屑(油泥)，逆清洗該過濾用材料，由此能夠反復多次使用過濾用材料的電火花加工機的加工液過濾裝置。


通過參照附圖對以下的實施例進行說明，能夠明了本發明的上述以及其他的目的以及特征。在這些附圖中，圖I是說明本發明的電火花加工機的加工液過濾裝置的一種實施方式，用壓力傳感器檢測過濾槽的內部的壓力。圖2A是說明圖I表示的電火花加工中的加工液過濾裝置的動作的第一方式的流程圖。圖2B是圖2A的流程圖的繼續。 圖3A是說明圖I表示的電火花加工中的加工液過濾裝置的動作的第二方式的流程圖。圖3B是圖3A的流程圖的繼續。圖4是說明本發明的電火花加工機中的加工液過濾裝置的其他實施方式的圖，用壓力開關檢測過濾槽7的內部的壓力達到預定值。
具體實施例方式在本發明中，把過濾用材料移動到與過濾槽不同的位置(在與過濾槽不同的槽中)進行過濾用材料的逆清洗。在過濾用材料的移動量的測定中，使用在與過濾用材料緊密連接的輥上附設的編碼器。通過該過濾用材料的逆清洗去除的加工屑(油泥)，因為不返回電火花加工機的加工液貯存槽內，所以不需要在每次逆清洗時廢棄加工液注入新的加工液。在達到需要更換過濾用材料的壓力的情況下，根據來自壓力傳感器的信號或者來自壓力開關的要更換信號進行清洗。所以能夠高效率地進行逆清洗。以預定次數(通過實驗判斷為壽命的次數)重復逆清洗，在逆清洗的次數達到該預定次數時判斷為達到過濾用材料的壽命(即過濾用材料到達更換時期)。圖I是說明本發明的電火花加工機中的加工液過濾裝置的一種實施方式的圖。在電火花加工機，例如電火花線切割加工機中，為了加工在機構部I上配置的加工槽2內所放置的工件，從線架供給的線電極首先穿過上導線器行駛，通過工件加工區域，其后，穿過下導線器行駛，卷繞在線卷繞部上。線電極一邊給予預定的張力一邊在工件加工區域內行駛。此外，在圖I中用符號5匯總表示上導線器和下導線器。在加工槽2內裝滿加工液，通過在該加工槽中在線電極和工件之間施加電壓，在兩者間產生放電，加工工件。通過控制裝置(未圖示)控制上述電火花線切割加工機。把在加工槽2中使用后的臟污了的加工液積存在污水槽3內。在污水槽3中積存的由加工屑等臟污了的加工液通過過濾器泵Pl吸起，注入到收容第二過濾器F2的容器內。把第二過濾器F2過濾后的加工液送入清水槽4。在清水槽4內積存的過濾后的加工液通過加工液循環泵P3被送到電火花線切割加工機的上下導線器5。另外，為了保持清水槽4內的加工液的溫度恒定，通過循環泵P4從清水槽4吸起加工液供給冷卻裝置24。然后使冷卻裝置24冷卻后的加工液再次返回清水槽4。
Fl是紙輥狀的過濾器，Ila是卷成輥狀的過濾器供給輥，21是為了引導第一過濾器Fl而在移動路徑上配置的多組導輥，Ilb是用于回收從過濾器供給輥Ila卷出的第一過濾器Fl的過濾器回收輥。該輥狀的第一過濾器Fl的一端部以及另一端部，分別裝卸自如地安裝在過濾器供給輥Ila的芯部件以及過濾器回收輥Ilb的芯部件上。過濾器供給輥Ila與過濾器供給輥用電動機13a連結，過濾器回收輥Ilb與過濾器回收輥用電動機13b連結。12是用于測量第一過濾器Fl的移動量的編碼器。6是貯存槽，7是過濾槽，15是在過濾槽7的底部側面設置的第一過濾器Fl的通過口的密封。過濾槽7在上部設置蓋，在下部設置支撐第一過濾器Fl并且設有多個開口的墊板(未圖示)。用這些過濾槽7和第一過濾器Fl形成封閉的空間。在污水槽3中貯存的臟污的加工液，通過使輥式過濾器用泵P2運轉而被吸起，通過定流量閥10送到過濾槽7。隨著過濾槽7的底部的第一過濾器Fl臟污，孔被堵塞，過濾槽7的內部的壓力上升。過濾槽7內的加工液，通過加工液的重力和過濾槽7的內部的壓力上升，由第一過濾器Fl過濾，從過濾槽7側向貯存槽6側流入。在第一過濾器Fl中過濾前 在加工液內包含的加工屑附著在第一過濾器Fl上。在貯存槽6中積存的過濾后的加工液被送到清水槽4中。通過未圖示的泵或者通過重力的自然流從貯存槽6向清水槽4輸送。22是驅動輥式過濾器用泵P2的逆變器，輥式過濾器用泵P2使用電磁開關(磁鐵接觸器)16被停止。電磁開關16是組合了進行電氣電路的開閉控制的電磁接觸器(接觸器)和進行電動機的過負荷保護的熱敏繼電器(熱動過負荷繼電器)得到的部件。控制部17是控制加工液過濾裝置的全體的裝置，具有處理器(CPU)、存儲器、輸入輸出用接口、顯示第一過濾器Fl的更換等的顯示裝置，這些部件都未圖示。上述存儲器具有存儲第一過濾器Fl的使用次數n的區域、存儲使用方向標志Dir的區域、存儲第一過濾器Fl的使用限制次數n Iim的區域。此外，關于上述使用次數n、上述使用方向標志Dir、上述使用限制次數n lim，參照圖2A 圖3B的流程圖后述。控制部17，可以作為加工液過濾裝置專用的控制裝置，也可以在電火花加工裝置具有的控制裝置中組入該控制部17具有的功能。在從貯存槽6以及過濾槽7到其下游側的過濾器回收輥Ilb之間的預定部位，配置用于逆清洗第一過濾器Fl的逆洗噴嘴14。20是清洗用流體供給裝置，向逆洗噴嘴14供給用于逆清洗第一過濾器Fl的清洗用流體。可以采用使用藥劑的清洗方法，來取代使用逆洗噴嘴14對第一過濾器Fl的逆清洗。25是壓力傳感器。隨著過濾槽7的底部的第一過濾器Fl臟污，孔被堵塞，過濾槽7的內部的壓力升高。通過壓力傳感器25檢測該過濾槽7的內部的壓力。把壓力傳感器
25檢測到的過濾槽7內的壓力的信號輸入到控制部17。當通過壓力傳感器25檢測到的過濾槽7內的壓力達到某一定的壓力時，控制部17使過濾器回收輥用電動機13b運轉，使過濾器回收輥Ilb旋轉，使第一過濾器Fl移動到逆清洗的場所，即逆洗噴嘴14的配置場所。在該場所，使用逆洗噴嘴14逆清洗第一過濾器Fl中在過濾槽7的地方進行了加工液的過濾處理的部分。可以使用編碼器12測定第一過濾器Fl的到逆洗噴嘴14的配置場所的移動量。此外，可以使用壓力開關9 (參照圖4)來取代通過壓力傳感器25檢測過濾槽7內部的壓力，如果檢測到過濾槽7的內部的壓力達到預定的值，向控制部17發送表示該主旨的信號。
這里，說明檢測第一過濾器Fl從過濾器供給輥Ila或過濾器回收輥Ilb的卷出達到界限的方法。在此，假定第一過濾器Fl的一端部以及另一端部分別固定在過濾器供給輥Ila的芯部件以及過濾器回收輥Ilb的芯部件上。首先，從過濾器供給輥Ila卷出第一過濾器F1，在過濾器回收輥Ilb上回收，當無法從過濾器供給輥Ila卷出這以上的第一過濾器Fl時，即使增加使過濾器回收輥用電動機13b旋轉的驅動電流，過濾器供給輥用電動機13a和過濾器回收輥用電動機13b都不旋轉。結果，第一過濾器Fl成為不移動的狀態，通過編碼器12檢測到的第一過濾器Fl的移動量為零。因此，通過監視過濾器回收輥用電動機13b的驅動電流值和通過編碼器12檢測到的第一過濾器Fl的移動量，能夠判別第一過濾器Fl是否結束從過濾器供給輥Ila的卷出。另外，在卷出在過濾器回收輥Ilb上卷繞的第一過濾器F1，使其在相反的方向上向過濾器供給輥Ila移動的情況下，通過監視過濾器供給輥用電動機13a的驅動電流值和從編碼器12檢測到的第一過濾器Fl的移動量，能夠判別第一過濾器Fl是否結束從過濾器回收輥Ilb的卷出。 在第一過濾器Fl的一端部以及另一端部分別沒有固定在過濾器供給輥Ila的芯部件以及過濾器回收輥Ilb的芯部件上時，為了檢測第一過濾器Fl從過濾器供給輥Ila或者從過濾器回收輥Ilb的卷出達到界限也可以使用遮光傳感器等，另外也可以采用能夠檢測在第一過濾器的預定位置設有標志等的其他部位的物理量的單元，來檢測該物理量。在圖I中，在過濾槽7以及貯存槽6的下游側配置逆洗噴嘴14，但是也可以取代上述的配置，配置在過濾槽7以及貯存槽6的上游側。另外，在移動第一過濾器Fl時，同步驅動過濾器供給輥用電動機13a和過濾器回收輥用電動機13b。通過同步驅動這兩個電動機13a、13b，能夠不發生松弛地使第一過濾器Fl移動。或者在由于過濾裝置的結構或第一過濾器的材質等不發生松弛等問題的情況下，也可以僅驅動第一過濾器Fl的移動方向側的電動機，使另一方的電動機為自由旋轉狀態，以拉引第一過濾器Fl的方式使之移動。圖2A以及圖2B是說明圖I表示的電火花加工中的加工液過濾裝置的動作的第一方式的流程圖。在該動作方式中，在到達第一過濾器Fl的結束位置前，逆清洗在過濾中使用過的第一過濾器的部位，回卷使用。下面遵照各步驟進行說明。[步驟SA01]讀入表示過濾器的使用次數n的值。把使用次數n的值設定為初始值I。此外，關于n的值，在把新的過濾器輥作為過濾器供給輥Ila時設為I。在使用過程中，在停止加工液過濾裝置時在存儲器中存儲的使用次數n的值，在下次啟動加工液過濾裝置時使用。[步驟SA02]使過濾器泵P2運轉開始過濾。[步驟SA03]接收來自壓力傳感器25的信號。[步驟SA04]判斷來自壓力傳感器25的信號是否超過預定值，在超過預定值的情況下轉移到步驟SA05，在沒有超過的情況下返回步驟SA03。[步驟SA05]停止過濾器泵P2。[步驟SA06]使使用次數n的值增加1，更新n的值。此外，在停止電火花加工機的加工液過濾裝置的動作的情況下，將該n的值存儲在非易失存儲器中。[步驟SA07]判斷是否達到過濾器Fl的一區間的使用限度次數nlim，在達到使用限度(是)的情況下轉移到步驟SA08，在未達到使用限度(否)的情況下轉移到步驟SA12。
[步驟SA08]使使用次數n的值返回I。[步驟SA09]在過濾器回收輥Ilb上開始一區間量的卷繞。[步驟SA10]判斷來自過濾器供給輥Ila的過濾器Fl的供給是否結束，在供給未結束(否)的情況下轉移到步驟SAll，在供給結束(是)的情況下轉移到步驟SA17。[步驟SA11]判斷在過濾器回收輥Ilb上一區間量的卷繞是否結束，在卷繞未結束(否)的情況下返回步驟SA10，在卷繞結束(是)的情況下返回步驟SA02繼續處理。[步驟SA12]開始將過濾器Fl移動到逆洗噴嘴14的位置。[步驟SA13]判斷從過濾器供給輥Ila的過濾器Fl的供給是否結束，在供給未結束(否)的情況下轉移到步驟SA14，在供給結束(是)的情況下轉移到步驟SA17。 [步驟SA14]判斷過濾器Fl向逆洗噴嘴14的位置的移動是否結束，在移動未結束(否)的情況下轉移到步驟SA13，在移動結束(是)的情況下轉移到步驟SA15。[步驟SA15]使用逆洗噴嘴14逆清洗過濾器Fl。[步驟SA16]使逆洗后的過濾器Fl返回過濾槽7下方，返回步驟SA02。[步驟SA17]停止為了使過濾器Fl移動而正在驅動的電動機的驅動，并且向電火花加工機的控制裝置發送警報信號，結束處理。圖3A以及圖3B是說明圖I表示的電火花加工中的加工液過濾裝置的動作的第二方式的流程圖。在該動作方式中，在到達第一過濾器Fl的結束的位置后，回卷使用在過濾中使用的第一過濾器的部位。下面遵照各步驟進行說明。[步驟SB01]讀入表示過濾器的使用次數n的值。把n的值設定為初始值I。此夕卜，關于n的值，在把新的過濾器輥作為過濾器供給輥Ila時設為I。另外，讀入作為表示過濾器F的供給方向的標志的使用方向標志Dir。此外在本說明書中。使用方向標志Dir，“0”表示正旋轉方向，“I”表示逆旋轉方向,初始值被設定為0(正旋轉方向)。[步驟SB02]使過濾器泵P2運轉開始過濾。[步驟SB03]接收來自壓力傳感器25的信號。[步驟SB04]判斷來自壓力傳感器25的信號是否超過預定值，在超過預定值的情況下轉移到步驟SB05，在沒有超過的情況下返回步驟SB03。[步驟SB05]停止過濾器泵P2。[步驟SB06]判斷使用方向標志Dir是否是“0”(正旋轉方向)，是“0” (正旋轉方向)的情況下轉移到步驟SB07，不是“0”(即，使用方向標志Dir是1，逆旋轉方向)的情況下轉移到步驟SB12。[步驟SB07]在過濾器回收輥Ilb上開始一區間量的卷繞。[步驟SB08]判斷從過濾器供給輥Ila的過濾器Fl的供給是否結束，在未結束(否)的情況下轉移到步驟SB09，在結束(是)的情況下轉移到步驟SB11。[步驟SB09]判斷在過濾器回收輥Ilb上一區間量的卷繞是否結束，在卷繞未結束(否)的情況下返回步驟SB08，在卷繞結束(是)的情況下轉移到步驟SB10。[步驟SB10]使用逆洗噴嘴14逆清洗過濾器Fl。[步驟SBlI]使使用方向標志Dir成為I(逆旋轉方向)，轉移到步驟SB16。[步驟SB12]在過濾器供給輥Ila上開始一區間量的卷繞。[步驟SB13]判斷從過濾器回收輥Ilb的過濾器Fl的供給是否結束，在供給未結束(否)的情況下轉移到步驟SB14，在供給結束(是)的情況下轉移到步驟SB15。[步驟SB14]判斷在過濾器供給輥Ila上一區間量的卷繞是否結束，在卷繞結束(是)的情況下轉移到步驟SB10，在卷繞未結束(否)的情況下返回步驟SB13。[步驟SB15]使使用方向標志Dir成為0(即正旋轉方向)，轉移到步驟SB16。[步驟SB16]使使用次數n的值增加1，來更新n的值。[步驟SB17]判斷是否達到過濾器Fl的使用限度nlim，在未達到(否)的情況下返回步驟SB06，在達到(是)的情況下轉移到步驟SB18。[步驟SB18]停止為了使過濾器Fl移動而正在驅動的電動機的驅動，并且向電火花加工機的控制裝置發送警報信號，結束處理。
本發明通過逆清洗過濾器，能夠多次使用過濾器的同一部位。過濾器的清洗也可以是逆清洗以外的清洗。另外，通過在不從過濾器供給輥供給過濾器時向控制部發送警報信號，能夠停止設備，能夠防止水配管或者冷卻裝置被油泥堵塞。
權利要求
1.一種電火花加工機的加工液過濾裝置，其具有在內部具有通過電極對加工物進行電火花加工的電火花加工部的加工槽、回收以及貯存該加工槽的加工液的污水槽、和在底部具有開口部的過濾槽，使加工液過濾用過濾器接觸該過濾槽的底部，在用上述過濾槽和上述過濾器形成的空間內填充上述污水槽的加工液,在該過濾器進行過濾,該加工液過濾裝置的特征在于，具有 過濾器供給輥用驅動器，其旋轉驅動把加工液過濾用過濾器設置為輥狀的過濾器供給輥； 過濾器回收輥用驅動器，其旋轉驅動回收上述過濾器的過濾器回收輥； 移動量檢測部，其檢測上述過濾器的移動量； 壓力檢測部，其檢測上述過濾槽的加工液的壓力； 噴嘴，設置在上述過濾槽的上游或者下游，清洗上述過濾器；以及控制部，其進行控制，在上述壓力檢測部檢測到的加工液的壓力超過預定的值時，驅動上述過濾器供給輥用驅動器或者過濾器回收輥用驅動器，使上述過濾器移動預定距離，來清洗該移動的過濾器。
2.根據權利要求I所述的電火花加工機的加工液過濾裝置，其特征在于， 上述控制部在上述壓力檢測部檢測到的加工液的壓力超過預定的值時，使上述過濾器中的在過濾槽進行了過濾的部分移動，在移動后的位置進行該部分的清洗，在進行清洗后使上述過濾器的洗凈的部分向過濾槽移動。
3.根據權利要求2所述的電火花加工機的加工液過濾裝置，其特征在于， 上述加工液過濾裝置還具有對上述過濾器的同一部分的清洗次數進行計數的計數部， 上述控制部在上述清洗次數成為預定的次數時不進行清洗而回收到上述過濾器回收輥。
4.根據權利要求I所述的電火花加工機的加工液過濾裝置，其特征在于， 上述控制部在上述壓力檢測部檢測到的加工液的壓力超過預定的值時，使在上述過濾器的過濾槽中使用過的部分移動進行清洗，在把過濾器全部回收到上述過濾器回收輥時，使過濾器回收輥和過濾器供給輥的旋轉為逆旋轉。
5.根據權利要求I所述的電火花加工機的加工液過濾裝置，其特征在于， 上述控制部同步驅動上述過濾器供給輥用驅動器和過濾器回收輥用驅動器，使上述過濾器移動預定距離。
全文摘要
本發明提供電火花加工機的加工液過濾裝置。電火花加工機的電火花加工部配置在加工槽的內部，使用泵向過濾槽輸送加工槽內的加工液。從輥卷出的加工液過濾用的過濾器面對該過濾槽的底部的開口部。如果過濾槽內的壓力超過預定值，則移動過濾器使其相對于過濾槽向下游側行駛一段距離。然后在離開該過濾槽的位置，清洗該過濾器中的上述過濾過的部分。
文檔編號B23H7/36GK102672294SQ20121005803
公開日2012年9月19日 申請日期2012年3月7日 優先權日2011年3月8日
發明者牧野良則, 葛西廣嗣 申請人:發那科株式會社