1.一種激光加工方法，特征在于：
具備：在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成由多光子吸收產(chǎn)生的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
2.一種激光加工方法，特征在于：
具備在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括裂紋區(qū)的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
3.一種激光加工方法，特征在于：
具備在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括熔融處理區(qū)的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
4.一種激光加工方法，特征在于：
具備在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1ns以下的條件下照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括作為折射率發(fā)生了變化的區(qū)域的折射率變化區(qū)的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
從所述激光光源出射的激光包含脈沖激光。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
所謂在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)照射激光，是把從1個(gè)激光光源出射的激光聚光，將聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)所述加工對(duì)象物的內(nèi)部而照射激光。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
所謂在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)照射激光，是把從多個(gè)激光光源出射的各個(gè)激光在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，從不同方向進(jìn)行照射。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光加工方法，特征在于：
從所述多個(gè)激光光源出射的各個(gè)激光從所述加工對(duì)象物的所述表面入射。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光加工方法，特征在于：
所述多個(gè)激光光源包括：出射從所述加工對(duì)象物的所述表面入射的激光的激光光源，和出射從所述加工對(duì)象物的背面入射的激光的激光光源。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光加工方法，特征在于：
所述多個(gè)激光光源包括沿著所述切割預(yù)定線陣列形地配置了激光光源的光源單元。
11.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
通過(guò)相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)了所述加工對(duì)象物的內(nèi)部的激光的聚光點(diǎn)，相對(duì)地移動(dòng)所述加工對(duì)象物，來(lái)形成所述改質(zhì)區(qū)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
所述加工對(duì)象物包括玻璃。
13.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
所述加工對(duì)象物包括壓電材料。
14.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
所述加工對(duì)象物包括半導(dǎo)體材料。
15.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
所述加工對(duì)象物是對(duì)所照射的激光具有透射性的材料。
16.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
在所述加工對(duì)象物的所述表面形成了電子器件或者電極圖形。
17.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
在所述加工對(duì)象物的表面上形成有多個(gè)電路部分，
向與所述多個(gè)電路部分中鄰接的電路部分之間的間隙面臨的所述加工對(duì)象物的內(nèi)部，對(duì)準(zhǔn)激光的聚光點(diǎn)。
18.一種切割方法，特征在于：
具備切割工序，該切割工序是根據(jù)權(quán)利要求1～11的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，形成切割起點(diǎn)，然后，沿著所述切割預(yù)定線切割所述加工對(duì)象物。
19.一種激光加工方法，特征在于：
具備在半導(dǎo)體材料的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下照射激光，不使所述半導(dǎo)體材料的激光入射面熔融，而僅在所述半導(dǎo)體材料的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述半導(dǎo)體材料的表面和背面從而切割所述半導(dǎo)體材料的起點(diǎn)。
20.一種激光加工方法，特征在于：
具備在壓電材料的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下照射激光，不使所述壓電材料的激光入射面熔融，而僅在所述壓電材料的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述壓電材料的表面和背面從而切割所述壓電材料的起點(diǎn)。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的激光加工方法，特征在于：
以使所述多個(gè)電路部分中不被激光照射到的角度聚光激光。
22.一種激光加工方法，特征在于：
具備在半導(dǎo)體材料的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)照射激光，不使所述半導(dǎo)體材料的激光入射面熔融，而僅在所述半導(dǎo)體材料的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成熔融處理區(qū)的工序，
所述熔融處理區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成熔融處理區(qū)后、以所述熔融處理區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述半導(dǎo)體材料的表面和背面從而切割所述半導(dǎo)體材料的起點(diǎn)。
23.一種激光加工方法，特征在于：
具備通過(guò)使得成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部，而且沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在所述加工對(duì)象物上照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成由多光子吸收產(chǎn)生的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
24.一種激光加工方法，特征在于：
具備通過(guò)使得成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部，而且沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下移動(dòng)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括裂紋區(qū)的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
25.一種激光加工方法，特征在于：
具備通過(guò)使得成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部，而且沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下移動(dòng)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括熔融處理區(qū)的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
26.一種激光加工方法，特征在于：
具備通過(guò)使得成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部，而且沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1ns以下的條件下移動(dòng)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括作為折射率變化了的區(qū)域的折射率變化區(qū)的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
27.根據(jù)權(quán)利要求23～26的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
所述橢圓偏振光是橢圓率為0的線偏振光。
28.根據(jù)權(quán)利要求23～26的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
根據(jù)1/4波長(zhǎng)板的方位角變化調(diào)節(jié)所述橢圓偏振光的橢圓率。
29.根據(jù)權(quán)利要求23～26的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
在所述切割預(yù)定線形成以后，
具備通過(guò)1/2波長(zhǎng)板使激光的偏振光旋轉(zhuǎn)大致90°，在所述加工對(duì)象物上照射激光的工序。
30.一種激光加工方法，特征在于：
具備
在根據(jù)權(quán)利要求23～28的任一項(xiàng)所述的激光加工方法形成切割起點(diǎn)以后，
以所述加工對(duì)象物的厚度方向?yàn)檩S，使所述加工對(duì)象物旋轉(zhuǎn)大致90°，在所述加工對(duì)象物上照射激光的工序。
31.一種切割方法，特征在于：
具備通過(guò)使得成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部，而且沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在所述加工對(duì)象物上移動(dòng)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成改質(zhì)區(qū)，并且在由該改質(zhì)區(qū)構(gòu)成的、從加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域，沿著切割預(yù)定線形成切割加工對(duì)象物時(shí)的起點(diǎn)，沿著所述切割預(yù)定線切割所述加工對(duì)象物的工序。
32.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
使所述脈沖激光相對(duì)于加工對(duì)象物的切割預(yù)定線移動(dòng)的移動(dòng)裝置；
把從所述激光光源出射的脈沖激光調(diào)節(jié)為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的橢圓率調(diào)節(jié)裝置；
相對(duì)于所述移動(dòng)裝置，把表示由所述橢圓率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)了的脈沖激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸調(diào)節(jié)為預(yù)定方向的長(zhǎng)軸調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光，使得由所述長(zhǎng)軸調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)了的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度成為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的聚焦裝置；
控制所述移動(dòng)裝置、所述聚光裝置以及所述聚焦裝置，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融，而僅在加工對(duì)象物的內(nèi)部，沿著所述移動(dòng)裝置的移動(dòng)方向形成改質(zhì)區(qū)，并且在由該改質(zhì)區(qū)構(gòu)成的、從加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域，沿著切割預(yù)定線形成切割加工對(duì)象物時(shí)的起點(diǎn)的控制裝置。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的激光加工裝置，特征在于：
具備把由所述橢圓率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)了的脈沖激光的偏振光旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)大致90°的90°旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)裝置。
34.根據(jù)權(quán)利要求32所述的激光加工裝置，特征在于：
具備以所述加工對(duì)象物的厚度方向?yàn)檩S使放置所述加工對(duì)象物的載置臺(tái)旋轉(zhuǎn)大致90°的旋轉(zhuǎn)裝置。
35.一種激光加工裝置，特征在于：
具備
出射脈沖寬度為1μs以下而且具有線偏振光的脈沖激光的激光光源；
使所述脈沖激光相對(duì)于加工對(duì)象物的切割預(yù)定線相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置；
相對(duì)于所述移動(dòng)裝置，把從所述激光光源出射的脈沖激光的線偏振光的朝向調(diào)節(jié)為預(yù)定方向的線偏振光調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得由所述線偏振光調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)了的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度成為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的聚焦裝置；
控制所述移動(dòng)裝置、所述線偏振光調(diào)節(jié)裝置以及所述聚焦裝置，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部，沿著所述移動(dòng)裝置的移動(dòng)方向形成改質(zhì)區(qū)，并且在由該改質(zhì)區(qū)構(gòu)成的、從加工對(duì)象物的脈沖激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域，沿著切割預(yù)定線形成切割加工對(duì)象物時(shí)的起點(diǎn)的控制裝置。
36.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
根據(jù)脈沖激光功率大小的輸入，調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的功率的大小的功率調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了由所述功率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的脈沖激光的功率大小與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)所述輸入的脈沖激光的功率大小，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇以該大小的功率形成的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸選擇裝置；
顯示由所述尺寸選擇裝置選擇了的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸顯示裝置。
37.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光用透鏡；
根據(jù)數(shù)值孔徑的大小的輸入，調(diào)節(jié)包括所述聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑大小的數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置；
把由所述聚光用透鏡聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了由所述數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的數(shù)值孔徑的大小與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)所述輸入的數(shù)值孔徑的大小，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇以該大小的數(shù)值孔徑形成的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸選擇裝置；
顯示由所述尺寸選擇裝置選擇了的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸顯示裝置。
38.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；和
透鏡選擇裝置，包括多個(gè)使從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度成為1×108(W/cm2)以上那樣把脈沖激光進(jìn)行聚光的聚光用透鏡，而且能夠選擇所述多個(gè)聚光用透鏡，
包括所述多個(gè)聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的各個(gè)數(shù)值孔徑不同，
還具備：
把由所述透鏡選擇裝置選擇的聚光用透鏡聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了包括所述多個(gè)聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)所選擇的包括所述聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇以該大小的數(shù)值孔徑形成的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸選擇裝置；
顯示由所述尺寸選擇裝置選擇了的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸顯示裝置。
39.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
根據(jù)脈沖激光的功率大小的輸入，調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的功率的大小的功率調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光用透鏡；
根據(jù)數(shù)值孔徑的大小的輸入，調(diào)節(jié)包括所述聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小的數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置；
把由所述聚光用透鏡聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了由所述功率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的脈沖激光的功率的大小以及由所述數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的數(shù)值孔徑的大小的組合與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)所述輸入的脈沖激光的功率的大小以及所述輸入的數(shù)值孔徑的大小，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇以這些大小形成的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸選擇裝置；
顯示由所述尺寸選擇裝置選擇的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸顯示裝置。
40.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
根據(jù)脈沖激光的功率大小的輸入，調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的功率的大小的功率調(diào)節(jié)裝置；
透鏡選擇裝置，包括多個(gè)使從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度成為1×108(W/cm2)以上那樣把脈沖激光進(jìn)行聚光的聚光用透鏡，而且能夠選擇所述多個(gè)聚光用透鏡，
包括所述多個(gè)聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的各個(gè)數(shù)值孔徑不同，
還具備：
把由所述透鏡選擇裝置選擇的聚光用透鏡聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了由所述功率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的脈沖激光的功率的大小以及包括所述多個(gè)聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小的組合與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)所述輸入的脈沖激光的功率的大小以及包括所選擇的所述聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇以這些大小形成的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸選擇裝置；
顯示由所述尺寸選擇裝置選擇了的改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸顯示裝置。
41.根據(jù)權(quán)利要求36～40的任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，特征在于：
具備生成由所述尺寸選擇裝置選擇了的尺寸的改質(zhì)點(diǎn)的圖像的圖像生成裝置；
顯示由所述圖像生成裝置生成的圖像的圖像顯示裝置。
42.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的功率大小的功率調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了由所述功率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的脈沖激光功率的大小與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的輸入，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇能夠形成該尺寸的脈沖激光的功率的大小的功率選擇裝置，
所述功率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的功率的大小，使其成為由所述功率選擇裝置選擇的功率的大小。
43.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光用透鏡；
調(diào)節(jié)包括所述聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小的數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置；
把由所述聚光用透鏡聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成l個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了由所述數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的數(shù)值孔徑的大小與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的輸入，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇能夠形成該尺寸的數(shù)值孔徑的大小的數(shù)值孔徑選擇裝置，
所述數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)包括所述聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小使其成為由所述數(shù)值孔徑選擇裝置選擇了的數(shù)值孔徑的大小。
44.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
透鏡選擇裝置，包括多個(gè)使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度成為1×108(W/cm2)以上那樣聚光脈沖激光的聚光用透鏡，而且能夠選擇所述多個(gè)聚光用透鏡，
包括所述多個(gè)聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的各個(gè)數(shù)值孔徑不同，
還具備：
把由所述透鏡選擇裝置選擇了的所述聚光用透鏡聚光的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了所述多個(gè)聚光用透鏡的數(shù)值孔徑的大小與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的輸入，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇能夠形成該尺寸的數(shù)值孔徑的大小的數(shù)值孔徑選擇裝置，
所述透鏡選擇裝置進(jìn)行所述多個(gè)聚光用透鏡的選擇，使得成為由所述數(shù)值孔徑選擇裝置所選擇的數(shù)值孔徑的大小。
45.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的功率大小的功率調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光用透鏡；
調(diào)節(jié)包括所述聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小的數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置；
把由所述聚光用透鏡聚光的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了由所述功率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的脈沖激光的功率的大小以及由所述數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的數(shù)值孔徑的大小的組與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的輸入，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇能夠形成該尺寸的功率以及數(shù)值孔徑的大小的組的組選擇裝置，
所述功率調(diào)節(jié)裝置以及所述數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的功率大小以及包括所述聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的大小，使其成為由所述組選擇裝置所選擇的功率以及數(shù)值孔徑的大小。
46.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的功率大小的功率調(diào)節(jié)裝置；
透鏡選擇裝置，包括多個(gè)使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度成為1×108(W/cm2)以上那樣聚光脈沖激光的聚光用透鏡，而且能夠選擇所述多個(gè)聚光用透鏡，
包括所述多個(gè)聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的每一個(gè)數(shù)值孔徑不同，
還具備：
把由所述透鏡選擇裝置所選擇的所述聚光用透鏡聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
預(yù)先存儲(chǔ)了由所述功率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)的脈沖激光的功率大小以及所述多個(gè)聚光用透鏡的數(shù)值孔徑的大小的組與改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的相關(guān)關(guān)系的相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的輸入，從所述相關(guān)關(guān)系存儲(chǔ)裝置中選擇能夠形成該尺寸的功率以及數(shù)值孔徑的大小的組的組選擇裝置，
所述功率調(diào)節(jié)裝置以及所述透鏡選擇裝置進(jìn)行從所述激光光源出射的脈沖激光的功率大小的調(diào)節(jié)以及所述多個(gè)聚光用透鏡的選擇，使得成為由所述組選擇裝置所選擇的功率以及數(shù)值孔徑的大小。
47.根據(jù)權(quán)利要求42所述的激光加工裝置，特征在于：
具備顯示由所述功率選擇裝置所選擇的功率大小的顯示裝置。
48.根據(jù)權(quán)利要求43或44所述的激光加工裝置，特征在于：
具備顯示由所述數(shù)值孔徑選擇裝置所選擇的數(shù)值孔徑的大小的顯示裝置。
49.根據(jù)權(quán)利要求45或46所述的激光加工裝置，特征在于：
具備顯示由所述組選擇裝置所選擇的組的功率大小以及數(shù)值孔徑的大小的顯示裝置。
50.根據(jù)權(quán)利要求36～46的任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，特征在于：
由沿著所述切割預(yù)定線在所述加工對(duì)象物的所述內(nèi)部形成的多個(gè)所述改質(zhì)點(diǎn)規(guī)定改質(zhì)區(qū)，
所述改質(zhì)區(qū)包括在所述內(nèi)部作為發(fā)生了裂紋的區(qū)域的裂紋區(qū)、在所述內(nèi)部作為熔融處理了的區(qū)域的熔融處理區(qū)以及在所述內(nèi)部作為折射率變化了的區(qū)域的折射率變化區(qū)中的至少任一種。
51.一種激光加工方法，特征在于：
具備：
第1工序，通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)脈沖激光的聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成由多光子吸收產(chǎn)生的第1改質(zhì)區(qū)；
第2工序，在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)脈沖激光的聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上以與所述第1工序中的脈沖激光的功率不同的功率照射脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在作為與所述第1工序中形成的所述第1改質(zhì)區(qū)不同的區(qū)域而且在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部，形成由多光子吸收產(chǎn)生的第2改質(zhì)區(qū)，
所述第1和第2改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
52.一種激光加工方法，特征在于：
具備：
第1工序，在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)脈沖激光的聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成由多光子吸收產(chǎn)生的第1改質(zhì)區(qū)；
第2工序，用與包括聚光脈沖激光的聚光用透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑不同數(shù)值孔徑的光學(xué)系統(tǒng)在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)脈沖激光的聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部與由多光子吸收產(chǎn)生的第1改質(zhì)區(qū)不同的位置，形成第2改質(zhì)區(qū)，
所述第1和第2改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
53.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
根據(jù)輸入頻率的大小，調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的重復(fù)頻率的大小的頻率調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)而且沿著所述切割預(yù)定線使聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)，在所述加工對(duì)象物上照射多個(gè)脈沖的脈沖激光，沿著所述切割預(yù)定線，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成多個(gè)所述改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
根據(jù)所述輸入的頻率的大小運(yùn)算相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離的距離運(yùn)算裝置；
顯示由所述距離運(yùn)算裝置運(yùn)算的距離的距離顯示裝置。
54.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置；
根據(jù)輸入的速度的大小調(diào)節(jié)由所述移動(dòng)裝置進(jìn)行的脈沖激光的聚光點(diǎn)的相對(duì)移動(dòng)速度的大小的速度調(diào)節(jié)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)而且沿著所述切割預(yù)定線使聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)，在所述加工對(duì)象物上照射多個(gè)脈沖的脈沖激光，沿著所述切割預(yù)定線，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成多個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
根據(jù)所述所輸入的速度的大小運(yùn)算相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離的距離運(yùn)算裝置；
顯示由所述距離運(yùn)算裝置運(yùn)算的距離的距離顯示裝置。
55.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
根據(jù)輸入頻率的大小，調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的重復(fù)頻率的大小的頻率調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置；
根據(jù)輸入的速度的大小調(diào)節(jié)由所述移動(dòng)裝置進(jìn)行的脈沖激光的聚光點(diǎn)的相對(duì)移動(dòng)速度的大小的速度調(diào)節(jié)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)而且沿著所述切割預(yù)定線使聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)，在所述加工對(duì)象物上照射多個(gè)脈沖的脈沖激光，沿著所述切割預(yù)定線，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成多個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
根據(jù)所述所輸入的頻率的大小和速度的大小運(yùn)算相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離的距離運(yùn)算裝置；
顯示由所述距離運(yùn)算裝置運(yùn)算的距離的距離顯示裝置。
56.根據(jù)權(quán)利要求53～55的任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，特征在于：
具備：
預(yù)先存儲(chǔ)由所述激光加工裝置形成的所述改質(zhì)點(diǎn)的尺寸的尺寸存儲(chǔ)裝置；
根據(jù)存儲(chǔ)在所述尺寸存儲(chǔ)裝置中的尺寸和由所述距離運(yùn)算裝置運(yùn)算了的距離，生成沿著所述切割預(yù)定線形成的多個(gè)所述改質(zhì)點(diǎn)的圖像的圖像生成裝置；
顯示由所述圖像生成裝置生成的圖像的圖像顯示裝置。
57.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的重復(fù)頻率的大小的頻率調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)而且沿著所述切割預(yù)定線使聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)，在所述加工對(duì)象物上照射多個(gè)脈沖的脈沖激光，沿著所述切割預(yù)定線，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成多個(gè)所述改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
根據(jù)相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離的大小的輸入，為了使相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離成為該大小，運(yùn)算從所述激光光源出射的脈沖激光的重復(fù)頻率的大小的頻率運(yùn)算裝置，
所述頻率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的重復(fù)頻率的大小使得成為由所述頻率運(yùn)算裝置所運(yùn)算的頻率的大小。
58.根據(jù)權(quán)利要求57所述的激光加工裝置，特征在于：
具備顯示由所述頻率運(yùn)算裝置所運(yùn)算的頻率的大小的頻率顯示裝置。
59.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置；
調(diào)節(jié)由所述移動(dòng)裝置產(chǎn)生的脈沖激光的聚光點(diǎn)的相對(duì)移動(dòng)速度的大小的速度調(diào)節(jié)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)而且沿著所述切割預(yù)定線使聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)，在所述加工對(duì)象物上照射多個(gè)脈沖的脈沖激光，沿著所述切割預(yù)定線，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成多個(gè)所述改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
根據(jù)相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離的大小的輸入，為了使相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離成為該大小，運(yùn)算由所述移動(dòng)裝置產(chǎn)生的脈沖激光的聚光點(diǎn)的相對(duì)移動(dòng)速度的大小的速度運(yùn)算裝置，
所述速度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)由所述移動(dòng)裝置產(chǎn)生的脈沖激光的聚光點(diǎn)的相對(duì)移動(dòng)速度的大小使其成為由所述速度運(yùn)算裝置所運(yùn)算的相對(duì)移動(dòng)速度的大小。
60.根據(jù)權(quán)利要求59所述的激光加工裝置，特征在于：
具備顯示由所述速度運(yùn)算裝置所運(yùn)算的相對(duì)移動(dòng)速度的大小的速度顯示裝置。
61.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的重復(fù)頻率的大小的頻率調(diào)節(jié)裝置；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的裝置；
沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置；
調(diào)節(jié)由所述移動(dòng)裝置產(chǎn)生的脈沖激光的聚光點(diǎn)的相對(duì)移動(dòng)速度的大小的速度調(diào)節(jié)裝置，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射1個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述內(nèi)部形成1個(gè)改質(zhì)點(diǎn)，
通過(guò)在所述內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)而且沿著所述切割預(yù)定線使聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)，在所述加工對(duì)象物上照射多個(gè)脈沖的脈沖激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而沿著所述切割預(yù)定線僅在所述內(nèi)部形成多個(gè)所述改質(zhì)點(diǎn)，
還具備：
根據(jù)相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離的大小的輸入，為了使相鄰的所述改質(zhì)點(diǎn)之間的距離成為該大小，運(yùn)算從所述激光光源出射的脈沖激光的重復(fù)頻率的大小和由所述移動(dòng)裝置產(chǎn)生的脈沖激光的聚光點(diǎn)的相對(duì)移動(dòng)速度的大小的組合的組合運(yùn)算裝置，
所述頻率調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)從所述激光光源出射的脈沖激光的重復(fù)頻率的大小使其成為由所述組合運(yùn)算裝置所運(yùn)算的頻率的大小，
所述速度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)由所述移動(dòng)裝置產(chǎn)生的脈沖激光的聚光點(diǎn)的相對(duì)移動(dòng)速度的大小使其成為由所述組合運(yùn)算裝置所運(yùn)算的相對(duì)移動(dòng)速度的大小。
62.根據(jù)權(quán)利要求61所述的激光加工裝置，特征在于：
具備顯示由所述組合運(yùn)算裝置所運(yùn)算的頻率的大小以及相對(duì)移動(dòng)速度的大小的顯示裝置。
63.根據(jù)權(quán)利要求53～55和57～62的任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，特征在于：
由沿著所述切割預(yù)定線在所述加工對(duì)象物的所述內(nèi)部形成的多個(gè)所述改質(zhì)點(diǎn)規(guī)定改質(zhì)區(qū)，
所述改質(zhì)區(qū)包括在所述內(nèi)部作為發(fā)生了裂紋的區(qū)域的裂紋區(qū)、在所述內(nèi)部作為熔融處理了的區(qū)域的熔融處理區(qū)以及在所述內(nèi)部作為折射率發(fā)生了變化的區(qū)域的折射率變化區(qū)中的至少任一種。
64.一種激光加工方法，特征在于：
具備：
在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)激光的聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成由多光子吸收產(chǎn)生的改質(zhì)區(qū)，
而且，通過(guò)改變?cè)谒黾庸?duì)象物上所照射的激光朝向所述加工對(duì)象物的入射方向中的激光的聚光點(diǎn)的位置，使得沿著所述入射方向并列那樣形成多個(gè)沿著所述切割預(yù)定線而形成的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
65.一種激光加工方法，特征在于：
具備：
在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)激光的聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成改質(zhì)區(qū)，
而且，通過(guò)改變照射在所述加工對(duì)象物上的激光朝向所述加工對(duì)象物的入射方向中的激光的聚光點(diǎn)的位置，使得沿著所述入射方向并列那樣形成多個(gè)沿著所述切割預(yù)定線而形成的所述改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
66.一種激光加工方法，特征在于：
具備：
在激光的聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下，在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)激光的聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成改質(zhì)區(qū)，
而且，通過(guò)改變照射在所述加工對(duì)象物上的激光朝向所述加工對(duì)象物的入射方向中的激光的聚光點(diǎn)的位置，使得沿著所述入射方向并列那樣形成多個(gè)沿著所述切割預(yù)定線而形成的所述改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
67.根據(jù)權(quán)利要求64～66的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
從遠(yuǎn)離在所述加工對(duì)象物上照射的激光所入射的所述加工對(duì)象物的入射面的一方開(kāi)始，順序形成所述多個(gè)改質(zhì)區(qū)。
68.根據(jù)權(quán)利要求64～66的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
所述改質(zhì)區(qū)包括在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部作為發(fā)生了裂紋的區(qū)域的裂紋區(qū)、在所述內(nèi)部作為熔融處理了的區(qū)域的熔融處理區(qū)以及在所述內(nèi)部作為折射率發(fā)生了變化的區(qū)域的折射率變化區(qū)中的至少任一種。
69.一種激光加工方法，特征在于：
具備使激光的聚光點(diǎn)越過(guò)加工對(duì)象物的激光的入射面，對(duì)準(zhǔn)所述加工對(duì)象物內(nèi)部的所述加工對(duì)象物的厚度方向中的比厚度一半的位置接近或者遠(yuǎn)離入射面的位置，照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成由多光子吸收產(chǎn)生的改質(zhì)區(qū)的工序，
所述改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
70.根據(jù)權(quán)利要求69所述的激光加工方法，特征在于：
在所述入射面上形成有電子器件以及電極圖形中的至少一方，
在所述厚度方向上，把照射在所述加工對(duì)象物上的激光的聚光點(diǎn)調(diào)節(jié)到比所述厚度一半的位置更接近所述入射面的位置。
71.一種激光加工方法，特征在于：
具備：
在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)激光的聚光點(diǎn)，在所述加工對(duì)象物上照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成由多光子吸收產(chǎn)生的第1改質(zhì)區(qū)的第1工序；
在所述第1工序以后，在所述加工對(duì)象物的厚度方向，在與所述第1工序中的激光的聚光位置不同的位置使激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)所述加工對(duì)象物的內(nèi)部，在所述加工對(duì)象物上照射激光，不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部與所述第1改質(zhì)區(qū)立體交叉那樣形成與由多光子吸收產(chǎn)生的第1改質(zhì)區(qū)不同的第2改質(zhì)區(qū)的第2工序，
所述第1和第2改質(zhì)區(qū)是：用于在沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)后、以所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面從而切割所述加工對(duì)象物的起點(diǎn)。
72.根據(jù)權(quán)利要求71所述的激光加工方法，特征在于：
在所述第1改質(zhì)區(qū)的所述加工對(duì)象物的激光的入射面一側(cè)形成所述第2改質(zhì)區(qū)。
73.根據(jù)權(quán)利要求69～72的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
通過(guò)把在所述加工對(duì)象物上照射激光的條件取為激光的聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上、脈沖寬度為1μs以下，在所述內(nèi)部形成包括裂紋區(qū)的所述改質(zhì)區(qū)。
74.根據(jù)權(quán)利要求69～72的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
通過(guò)把在所述加工對(duì)象物上照射激光的條件取為激光的聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上、脈沖寬度為1μs以下，在所述內(nèi)部形成包括熔融處理區(qū)的所述改質(zhì)區(qū)。
75.根據(jù)權(quán)利要求69～72的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
通過(guò)把在所述加工對(duì)象物上照射激光的條件取為激光的聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上、脈沖寬度為1ns以下，在所述內(nèi)部形成包括作為折射率變化的區(qū)域的折射率變化區(qū)的所述改質(zhì)區(qū)。
76.根據(jù)權(quán)利要求69～72的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，特征在于：
在所述加工對(duì)象物上照射的激光的聚光點(diǎn)在所述厚度方向中的位置調(diào)節(jié)包括：
通過(guò)把在所述加工對(duì)象物上照射的激光的聚光點(diǎn)在所述厚度方向中的所希望的位置作為從所述入射面到所述內(nèi)部的距離，用所述加工對(duì)象物對(duì)于在所述加工對(duì)象物上照射的激光的折射率除所述距離，運(yùn)算所述厚度方向中的所述加工對(duì)象物的相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)的運(yùn)算工序；
為了使在所述加工對(duì)象物上照射的激光的聚光點(diǎn)位于所述入射面上，運(yùn)算所必需的所述厚度方向中的所述加工對(duì)象物的其它的相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)的其它的運(yùn)算工序；
根據(jù)所述其它的相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)使所述加工對(duì)象物沿著所述厚度方向相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)工序；
在所述移動(dòng)工序以后，根據(jù)所述相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)使所述加工對(duì)象物沿著所述厚度方向相對(duì)移動(dòng)的其它的移動(dòng)工序。
77.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
使由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)于加工對(duì)象物相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置；
存儲(chǔ)裝置，存儲(chǔ)作為用于把由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)所述加工對(duì)象物的內(nèi)部的所希望的位置的厚度方向中的所述加工對(duì)象物的相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)，通過(guò)把所述所希望的位置作為從由所述激光光源出射的脈沖激光入射到所述加工對(duì)象物的入射面到所述內(nèi)部的距離，并用所述加工對(duì)象物對(duì)于從所述激光光源出射的脈沖激光的折射率除所述距離，從而得到所述相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)；
為了使由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)所述入射面，運(yùn)算所必需的所述厚度方向中的所述加工對(duì)象物的其它的相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)的運(yùn)算裝置；
根據(jù)由所述存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)了的所述相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)以及由所述運(yùn)算裝置運(yùn)算了的所述其它的相對(duì)移動(dòng)量的數(shù)據(jù)，使所述加工對(duì)象物沿著所述厚度方向相對(duì)移動(dòng)的其它的移動(dòng)裝置；
控制裝置，根據(jù)所述存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)和所述運(yùn)算裝置運(yùn)算的數(shù)據(jù)，控制所述全部移動(dòng)裝置，通過(guò)脈沖激光照射而不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物內(nèi)部形成改質(zhì)區(qū)，并且在由該改質(zhì)區(qū)構(gòu)成的、從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域，沿著切割預(yù)定線形成切割加工對(duì)象物時(shí)的起點(diǎn)。
78.一種激光加工裝置，特征在于：
具備：
出射脈沖寬度為1μs以下的脈沖激光的激光光源；
聚光脈沖激光使得從所述激光光源出射的脈沖激光的聚光點(diǎn)的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上的聚光裝置；
使得由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)加工對(duì)象物的內(nèi)部的聚焦裝置；
在所述加工對(duì)象物的厚度的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)由所述聚光裝置聚光了的脈沖激光的聚光點(diǎn)位置的聚光位置調(diào)節(jié)裝置；
使脈沖激光的聚光點(diǎn)相對(duì)于所述加工對(duì)象物相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)裝置，
控制裝置，控制所述聚光裝置、所述聚焦裝置、所述聚光位置調(diào)節(jié)裝置以及所述移動(dòng)裝置，通過(guò)脈沖激光照射而不使所述加工對(duì)象物的激光入射面熔融而僅在所述加工對(duì)象物內(nèi)部形成改質(zhì)區(qū)，并且在由該改質(zhì)區(qū)構(gòu)成的、從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域，沿著切割預(yù)定線形成切割加工對(duì)象物時(shí)的起點(diǎn)。
79.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
僅通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融而僅在加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成由多光子吸收產(chǎn)生的改質(zhì)區(qū)，從而將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋自然生長(zhǎng)到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，而使所述加工對(duì)象物被切割。
80.根據(jù)權(quán)利要求79所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從所述加工對(duì)象物的脈沖激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
81.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下，照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括裂紋區(qū)的改質(zhì)區(qū)，從而將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，切割所述加工對(duì)象物。
82.根據(jù)權(quán)利要求81所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
83.一種加工對(duì)象物的切割方法，特征在于：
通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下，照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括熔融處理區(qū)的改質(zhì)區(qū)，從而將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，切割所述加工對(duì)象物。
84.根據(jù)權(quán)利要求83所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
85.一種加工對(duì)象物的切割方法，特征在于：
通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1ns以下的條件下，照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括折射率變化區(qū)的改質(zhì)區(qū)，將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，切割所述加工對(duì)象物。
86.根據(jù)權(quán)利要求85所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
87.一種半導(dǎo)體材料切割方法，特征在于：
通過(guò)在半導(dǎo)體材料的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下，照射激光，不使所述半導(dǎo)體材料的表面熔融而僅在所述半導(dǎo)體材料的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)，將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述半導(dǎo)體材料的表面和背面，切割所述半導(dǎo)體材料。
88.根據(jù)權(quán)利要求87所述的半導(dǎo)體材料切割方法，特征在于：
在從所述半導(dǎo)體材料的激光入射面一側(cè)的所述半導(dǎo)體材料表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
89.一種壓電材料切割方法，特征在于：
通過(guò)在壓電材料的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下，照射激光，不使所述壓電材料的表面熔融而僅在所述壓電材料的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)，將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述壓電材料的表面和背面，切割所述壓電材料。
90.根據(jù)權(quán)利要求89所述的壓電材料切割方法，特征在于：
在從所述壓電材料的激光入射面一側(cè)的所述壓電材料表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
91.一種半導(dǎo)體材料切割方法，特征在于：
通過(guò)在半導(dǎo)體材料的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)照射激光，不使所述半導(dǎo)體材料的表面熔融而僅在所述半導(dǎo)體材料的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成熔融處理區(qū)，將所述熔融處理區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述半導(dǎo)體材料的表面和背面，切割所述半導(dǎo)體材料。
92.根據(jù)權(quán)利要求91所述的半導(dǎo)體材料切割方法，特征在于：
在從所述半導(dǎo)體材料的激光入射面一側(cè)的所述半導(dǎo)體材料表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述熔融處理區(qū)。
93.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)而且沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在所述加工對(duì)象物上照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成由多光子吸收產(chǎn)生的改質(zhì)區(qū)，將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，切割加工對(duì)象物。
94.根據(jù)權(quán)利要求93所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
95.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)，沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下，移動(dòng)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括裂紋區(qū)的改質(zhì)區(qū)，將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，切割加工對(duì)象物。
96.根據(jù)權(quán)利要求95所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
97.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)，沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1μs以下的條件下，移動(dòng)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括熔融處理區(qū)的改質(zhì)區(qū)，將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，切割加工對(duì)象物。
98.根據(jù)權(quán)利要求97所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
99.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)，沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在聚光點(diǎn)中的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上而且脈沖寬度為1ns以下的條件下，移動(dòng)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成包括作為折射率變化了的區(qū)域的折射率變化區(qū)的改質(zhì)區(qū)，將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，切割加工對(duì)象物。
100.根據(jù)權(quán)利要求99所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
101.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
通過(guò)在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)成為1以外的橢圓率的橢圓偏振光的激光的聚光點(diǎn)，沿著表示激光的橢圓偏振光的橢圓的長(zhǎng)軸，在所述加工對(duì)象物上移動(dòng)照射激光，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部沿著切割預(yù)定線形成改質(zhì)區(qū)，將所述改質(zhì)區(qū)作為起點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線產(chǎn)生裂紋，并使所述裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，切割加工對(duì)象物。
102.根據(jù)權(quán)利要求101所述的加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在從所述加工對(duì)象物的激光入射面一側(cè)的所述加工對(duì)象物表面離開(kāi)預(yù)定距離的內(nèi)側(cè)的區(qū)域形成所述改質(zhì)區(qū)。
103.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在切割對(duì)象材料的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)并將激光聚光照射，使激光的聚光點(diǎn)沿著所述切割對(duì)象材料的切割圖形移動(dòng)，在所述切割對(duì)象材料的表面以及背面上幾乎不產(chǎn)生損傷，而僅在所述切割對(duì)象材料的內(nèi)部沿著所述切割圖形形成裂紋，使沿著所述切割圖形形成的裂紋生長(zhǎng)到所述切割對(duì)象材料的表面和背面，沿著所述切割圖形切割所述切割對(duì)象材料。
104.一種加工對(duì)象物切割方法，特征在于：
在加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)將激光聚光照射，在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部使激光的聚光點(diǎn)沿著網(wǎng)格形的切割預(yù)定線移動(dòng)，不使所述加工對(duì)象物的表面熔融而僅在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成沿著所述網(wǎng)格形的切割預(yù)定線的改質(zhì)區(qū)，以沿著所述網(wǎng)格形的切割預(yù)定線形成為網(wǎng)格形的所述改質(zhì)區(qū)為起點(diǎn)生長(zhǎng)裂紋，使裂紋到達(dá)所述加工對(duì)象物的表面和背面，沿著所述網(wǎng)格形的切割預(yù)定線將所述加工對(duì)象物切割成各個(gè)芯片。