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一種微粒制造設備的制作方法

文檔序號:12384850閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種微粒制造設備,其特征在于,所述微粒制造設備包括:激光器、反射鏡、凸透鏡、承載件和接收件;

所述微粒制造設備的各部件的連接關系為:所述激光器產生激光后,所述激光依次通過所述反射鏡和凸透鏡后到達所述承載件,放置在所述承載件上的原料受到激光作用后,發生濺射生成微粒,生成的所述微粒到達所述接收件。

2.根據權利要求1所述的微粒制造設備,其特征在于,所述激光器的能量和頻率可調節。

3.根據權利要求2所述的微粒制造設備,其特征在于,所述微粒制造設備還包括:控制單元;

所述控制單元分別與所述激光器、所述承載件和所述接收件相連。

4.根據權利要求1所述的微粒制造設備,其特征在于,所述承載件為石英玻璃承載件。

5.根據權利要求4所述的微粒制造設備,其特征在于,所述石英玻璃承載件的透光率大于85%。

6.根據權利要求3所述的微粒制造設備,其特征在于,所述微粒制造設備還包括:移動平臺;

所述移動平臺設置于所述接收件的下方,所述移動平臺與所述控制單元連接。

7.根據權利要求1所述的微粒制造設備,其特征在于,所述微粒制造設備還包括:烘干單元;

所述烘干單元設置在所述接收件的外部。

8.根據權利要求1所述的微粒制造設備,其特征在于,所述微粒制造設備還包括:金屬犧牲層;

所述金屬犧牲層設置在所述承載件上。

9.根據權利要求1所述的微粒制造設備,其特征在于,所述接收件的表面具有多重級數微結構。

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