本實(shí)用新型公開了一種基于氣氛保護(hù)條件下的激光焊接封裝裝置，尤其是一種基于特種氣體保護(hù)或真空條件下的激光焊接封裝裝置。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，半導(dǎo)體器件、集成電路、光電器件等特殊零部件進(jìn)行激光焊接封裝作業(yè)時(shí)，焊接材料暴露在空氣中，在高溫條件下特別容易氧化，造成器件出現(xiàn)氣孔、夾渣、裂紋、焊接強(qiáng)度低等焊接缺陷，導(dǎo)致器件氣密性差、強(qiáng)度低、不耐沖擊等不合格率飆升，特別是不耐沖擊缺陷將造成高馬赫飛行的器件發(fā)生損壞，造成重大的安全事故和財(cái)產(chǎn)損失，目前國(guó)內(nèi)普遍采用的真空手套箱進(jìn)行保護(hù)焊接作業(yè)，但此種方案激光器需要集成在手套箱里，根本無(wú)法或難以觀察作業(yè)過(guò)程，造成操作工藝性極差，鑒于此，市場(chǎng)急需一種能夠在真空條件下或在特殊氣氛保護(hù)條件下的激光焊接封裝裝置，具備良好人機(jī)環(huán)境和柔性化的設(shè)備，滿足高端器件特別是航空航天高速飛行器專用器件的需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)原有技術(shù)中的不足之處，本實(shí)用新型的目的在于提供一種基于氣氛保護(hù)條件下的激光焊接封裝裝置，激光透過(guò)激光視窗在環(huán)境倉(cāng)里進(jìn)行作業(yè)，可在真空和任意氣體組分下作業(yè)，解決了材料氧化、氣密性差、焊接強(qiáng)度差等焊接和產(chǎn)品缺陷。

為解決現(xiàn)有的問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：提供一種基于氣氛保護(hù)條件下的激光焊接封裝裝置，其特征在于：真空獲得系統(tǒng)集成在移動(dòng)小車上，由前級(jí)真空泵、主泵、壓差閥、低閥、預(yù)閥、主閥、三通管道、過(guò)渡管道、真空壓力表、低真空測(cè)量傳感器和其他管道組成，真空泵均為無(wú)油真空泵，真空管道采用SUS304內(nèi)外拋光管構(gòu)成，真空系統(tǒng)通過(guò)SUS304柔性波紋管與環(huán)境倉(cāng)相連；環(huán)境倉(cāng)由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學(xué)拋光工藝，漏率優(yōu)于1X10^-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔；環(huán)境倉(cāng)頂部裝有激光視窗，激光視窗上鍍有抗激光耐損傷薄膜；環(huán)境倉(cāng)上裝有壓力變送器和充氣閥門組成充氣系統(tǒng)，頂部裝有泄壓閥，側(cè)面裝有低真空測(cè)量傳感器、高真空測(cè)量傳感器，所有過(guò)流部件的密封均采用氟橡膠膠圈真空密封。

優(yōu)選的，真空泵均為無(wú)油真空泵，真空管道采用SUS304內(nèi)外拋光管構(gòu)成，真空系統(tǒng)通過(guò)SUS304柔性波紋管與環(huán)境倉(cāng)相連。

優(yōu)選的，環(huán)境倉(cāng)由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學(xué)拋光工藝，漏率優(yōu)于1X10^-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔。

優(yōu)選的，環(huán)境倉(cāng)頂部裝有激光視窗，激光視窗上鍍有抗激光耐損傷薄膜。

優(yōu)選的，環(huán)境倉(cāng)上裝有壓力變送器和充氣閥門，頂部裝有泄壓閥，側(cè)面裝有低真空測(cè)量傳感器和高真空測(cè)量傳感器。

發(fā)明的有益效果：本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)，與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果：解決了空氣中器件焊接的工藝和產(chǎn)品缺陷；人機(jī)界面和操作工藝性遠(yuǎn)優(yōu)于現(xiàn)有設(shè)備；激光器放置在設(shè)備外能夠顯著縮小整機(jī)體積，減少工藝開發(fā)難度；環(huán)境倉(cāng)能夠固定在任意激光焊接設(shè)備上，設(shè)備功能更多樣化和柔性化。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-移動(dòng)小車；2-環(huán)境倉(cāng)；3-激光視窗；4-前級(jí)真空泵；5-壓差閥；6-三通；7-真空壓力表；8-低閥；9-預(yù)閥；10-低真空測(cè)量傳感器；11-主泵；12-主閥；13-過(guò)渡管道；14-不銹鋼波紋管；15-充氣閥；16-壓力變送器；17-泄壓閥；18-低真空測(cè)量傳感器；19-高真空測(cè)量傳感器；20-固定輪。

具體實(shí)施方式

真空獲得系統(tǒng)集成在移動(dòng)小車（1）上，由前級(jí)真空泵（4）、主泵（11）、壓差閥（5）、低閥（8）、預(yù)閥（9）、主閥（12）、三通管道（6）、過(guò)渡管道（13）、真空壓力表（7）、低真空測(cè)量傳感器（10）和其他管道組成，真空泵均為無(wú)油真空泵，真空管道采用SUS304內(nèi)外拋光管構(gòu)成，真空系統(tǒng)通過(guò)SUS304柔性波紋管（14）與環(huán)境倉(cāng)（2）相連，對(duì)環(huán)境倉(cāng)抽真空，可獲得真空；環(huán)境倉(cāng)（2）上裝有壓力變送器（15）和充氣閥門（16），根據(jù)焊接工藝需求充入特殊氣體進(jìn)入環(huán)境倉(cāng)（2），可提供特種氣體保護(hù)作業(yè)環(huán)境；環(huán)境倉(cāng)（2）由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學(xué)拋光工藝，漏率優(yōu)于1X10^-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔，精確定位在激光焊接設(shè)備的工作臺(tái)上；環(huán)境倉(cāng)（2）頂部裝有激光視窗（3），激光視窗（3）上鍍有抗激光耐損傷薄膜，激光焊接裝置的激光透過(guò)激光視窗對(duì)環(huán)境倉(cāng)（2）中的工件進(jìn)行封裝作業(yè)；封裝作業(yè)結(jié)束后打開頂部泄壓閥（17）進(jìn)行環(huán)境倉(cāng)（2）內(nèi)外壓差平衡；環(huán)境倉(cāng)（2）側(cè)面裝有低真空測(cè)量傳感器（18）、高真空測(cè)量傳感器（19）、壓力變送器（15），對(duì)真空環(huán)境和特種氣氛寶華環(huán)境的壓力進(jìn)行精密測(cè)量和控制，所有過(guò)流部件的密封均采用氟橡膠膠圈真空密封。

以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。