技術總結
本實用新型公開了一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，尤其是一種基于特種氣體保護或真空條件下的激光焊接封裝裝置，裝置包括：移動小車、環境倉、激光視窗、前級真空泵、壓差閥、三通、真空壓力表、低閥、預閥、低真空測量傳感器、主泵、主閥、過渡管道、不銹鋼波紋管、充氣閥、壓力變送器、泄壓閥、高真空測量傳感器和固定輪，本裝置可廣泛用于半導體器件、光電轉換器件、集成電路、超高馬赫運動器件等需進行保護氣氛下封裝的產品，該設備可視化程度高、操作方便、性能穩定，能防止封裝材料在空氣中氧化，增加焊料的流動性，減少焊接時的氣孔、夾渣等焊接缺陷，顯著提高產品封裝的氣密性、強度和超高加速度(50G以上)的抗沖擊性能，具有較高的社會和經濟價值。

技術研發人員：張松林
受保護的技術使用者：成都超邁光電科技有限公司
文檔號碼：201620912707
技術研發日：2016.08.22
技術公布日：2017.04.26