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一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置的制作方法

文檔序號:11032507閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置,其特征在于:真空獲得系統(tǒng)集成在移動小車(1)上,由前級真空泵(4)、主泵(11)、壓差閥(5)、低閥(8)、預(yù)閥(9)、主閥(12)、三通管道(6)、過渡管道(13)、真空壓力表(7)、低真空測量傳感器(10)和其他管道組成,真空泵均為無油真空泵,真空管道采用SUS304內(nèi)外拋光管構(gòu)成,真空系統(tǒng)通過SUS304柔性波紋管(14)與環(huán)境倉(2)相連;環(huán)境倉(2)由SUS304不銹鋼制造,輔以電化學(xué)拋光工藝,漏率優(yōu)于1X10-9Pa.L/S,底部有中心定位銷孔,有固定螺栓孔;環(huán)境倉(2)頂部裝有激光視窗(3),激光視窗(3)上鍍有抗激光耐損傷薄膜;環(huán)境倉(2)上裝有壓力變送器(15)和充氣閥門(16)組成充氣系統(tǒng),頂部裝有泄壓閥(17),側(cè)面裝有低真空測量傳感器(18)、高真空測量傳感器(19),所有過流部件的密封均采用氟橡膠膠圈真空密封。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置,真空泵均為無油真空泵,真空管道采用SUS304內(nèi)外拋光管構(gòu)成,真空系統(tǒng)通過SUS304柔性波紋管(14)與環(huán)境倉(2)相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置,環(huán)境倉(2)由SUS304不銹鋼真空氬弧焊制造成型,輔以電化學(xué)拋光工藝,漏率優(yōu)于1X10-9Pa.L/S,底部有中心定位銷孔,有固定螺栓孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置,環(huán)境倉(2)頂部裝有激光視窗(3),激光視窗(3)上鍍有抗激光耐損傷薄膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置,環(huán)境倉(2)上裝有壓力變送器(15)和充氣閥門(16),頂部裝有泄壓閥(17),側(cè)面裝有低真空測量傳感器(18)、高真空測量傳感器(19)。

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