專利名稱：游行輪的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體加工裝置，具體地說是涉及一種作為 半導體瓷板精加工研磨載體的游行輪。
背景技術：
組成半導體的瓷板具有嚴格的要求，在半導體加工過程中，需要 對瓷板進行精磨，現有的精磨是用手拿住瓷板在砂片上打磨，這樣的 打磨具有勞動強度大、打磨效果差、瓷板容易破碎的現象。 發明內容
本實用新型的目的就是針對上述存在的問題，提供一種勞動強度 低、操作容易、瓷板不易破碎的游行輪。
本實用新型的是這樣實現的游行輪，包括游行輪本體，其特征 在于游行輪本體是中心具有安裝孔的片狀結構，本體上還具有可安 裝瓷板的孔；游行片的外形結構是圓形的，外周具有齒；所述的安裝 瓷板的孔是1——10個。
本實用新型的有益效果是由于采取了以上結構，使得這樣的游 行輪具有操作方便、勞動強度低、研磨效果好、不易使瓷板破碎的優 點。


圖1是本實用新型游行輪的結構示意圖其中；1、游行輪本體2、安裝孔3、安裝瓷板的孔 4
齒
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步的描述。
如圖l所示游行輪，包括游行輪本體l，其特征在于游行輪 本體1是中心具有安裝孔2的片狀結構，本體上還具有可安裝瓷板的 孔3;游行片的外形結構是圓形的，外周具有齒4;所述的安裝瓷板 的孔是1—10個。
使用時，安裝有瓷板的游行輪在砂面下接觸砂面，旋轉游行輪， 砂面研磨瓷板表面。
中心具有安裝孔2可以將游行輪安裝在可旋轉的平臺上，使游行
輪旋轉。
可安裝瓷板的孔3，可使瓷板轄在孔中，起固定作用。
游行片的外形結構是圓形的，外周具有齒4;可以是多片游行輪
在一個研磨面上，形成聯動，提高生產率。
所述的安裝瓷板的孔是1——io個，可以根據需要在一個游行輪 上同時安裝多片瓷板，提高生產率，圖中給出了安裝6塊瓷板的孔的
示意圖，其他省略。
權利要求1、游行輪，包括游行輪本體(1)，其特征在于游行輪本體(1)是中心具有安裝孔(2)的片狀結構，本體上還具有可安裝瓷板的孔(3)。
2、 根據權利要求1所述的游行輪，其特征在于游行片的外形 結構是圓形的，外周具有齒(4)。
3、 根據權利要求1所述的游行輪，其特征在于所述的安裝瓷 板的孔(3)是1一10個。
專利摘要本實用新型涉及一種半導體加工裝置，具體地說是涉及一種作為半導體瓷板精加工研磨載體的游行輪。游行輪包括游行輪本體，其特征在于游行輪本體是中心具有安裝孔的片狀結構，本體上還具有可安裝瓷板的孔；游行片的外形結構是圓形的，外周具有齒；由于采取了以上結構，使得這樣的游行輪具有操作方便、勞動強度低、研磨效果好、不易使瓷板破碎的優點。
文檔編號B24B7/20GK201300352SQ20082022110
公開日2009年9月2日 申請日期2008年11月19日 優先權日2008年11月19日
發明者暖 宋, 張根清, 歐陽進民 申請人:河南久大電子電器有限公司