專利名稱：一種鎳的回收方法
技術領域：
本發明涉及半導體集成電路及其制造領域，尤其涉及一種鎳的回收方法。
背景技術：
在半導體加工工業中，一般采用形成自對準硅化物工藝，形成半導體裝置上半導體結構的預先界定區域中的集成低電阻材料。其中，自對準硅化物工藝，是一種使半導體結構的硅區域與金屬反應形成硅化物區域的工藝，該自對準的硅化物可在半導體結構上選擇形成，而不必圖案化或蝕刻已沉積的硅化物，藉以形成一些低電阻的區域。隨著半導體制程的微縮，在65nm及其以下工藝中，鎳(Ni)已經被普遍使用來與硅 (Si)材料反應，以在半導體結構上形成自對準硅化物。其中，鎳在與硅形成鎳硅化物之后， 殘余的鎳目前一般采用濕法來進行處理，如sc2。但是，濕法去除后鎳后，形成包含有鎳羰基和乙醇等的化合物，很難分解回收再利用。
發明內容
本發明公開了一種鎳的回收方法，其中，包括以下步驟 步驟Si 收集包含有鎳羰基和乙醇的廢液；
步驟S2 對該廢液進行第一次加熱，以使鎳羰基分解為鎳單質和一氧化碳； 步驟S3 過濾回收鎳單質或繼續第二次加熱，乙醇揮發完后收集鎳單質。上述的鎳的回收方法，其中，步驟S2中第一次加熱的溫度為43-60°C。上述的鎳的回收方法，其中，步驟S2中第一次加熱的時間為30秒至10分鐘。上述的鎳的回收方法，其中，步驟S3中第二次加熱的溫度為80-200°C。上述的鎳的回收方法，其中，步驟S2中第一次加熱的時間為30秒至10分鐘。綜上所述，由于采用了上述技術方案，本發明提出一種鎳的回收方法，通過對廢液加熱至鎳羰基的分解溫度，使得鎳羰基分解為鎳單質和一氧化碳，通過過濾或者再次加熱即可方便的回收鎳單質。
圖1是本發明一種鎳的回收方法的流程示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖對本發明的具體實施方式
作進一步的說明
圖1是本發明一種鎳的回收方法的流程示意圖；如圖1所示，本發明一種鎳的回收方
法
首先，回收包含有鎳羰基和乙醇的廢液，對該廢液進行第一次加熱處理30秒至10分鐘，其溫度范圍為43-60°C。由于，鎳羰基在43°C時會分解成鎳單質和一氧化碳，且鎳單質不溶于乙醇，所以第一次加熱后廢液中不再包含鎳羰基，含有鎳單質、一氧化碳和乙醇。
其次，由于此時廢液中的固體為鎳單質，可以采取過濾直接收集鎳，也可以繼續第二次加熱該廢液30秒至10分鐘，其溫度范圍為80-200°C ；由于在高溫下，一氧化碳和乙醇均被揮發，剩余的固體就是鎳單質。例如在一種去除形成鎳硅化物候多余鎳的方法中，首先，在晶片表面淀積鎳后進行快速熱退火工藝，以使得部分鎳與硅形成鎳硅化物；然后，將該晶片置于可旋轉的反應腔體中，其轉速為100-5000rpm，并連續通入含有氨氣的一氧化碳氣體，其反應壓力為 l-15MPa，溫度為0-50°C，進行15秒至分鐘的反應；在此過程中，通過硅片的旋轉去除大部分生成的液體鎳羰基，并用乙醇清洗，以去除殘余的鎳羰基。將清洗后的廢液收集后，對該廢液進行第一次加熱處理5分鐘，其溫度為50°C ；由于，鎳羰基在43°C時就會分解成鎳單質和一氧化碳，且鎳單質不溶于乙醇，所以第一次加熱后廢液中不再包含鎳羰基，含有鎳單質、一氧化碳和乙醇。然后，由于此時廢液中的固體為鎳單質，可以采取過濾直接收集鎳，也可以繼續第二次加熱該廢液5分鐘，其溫度為100°C ；由于在高溫下，一氧化碳和乙醇均被揮發，剩余的固體就是鎳單質，于是就可簡單、快捷的回收鎳。綜上所述，由于采用了上述技術方案，本發明提出一種鎳的回收方法，通過對廢液加熱至鎳羰基的分解溫度，使得鎳羰基分解為鎳單質和一氧化碳，通過過濾或者再次加熱即可方便的回收鎳單質。通過說明和附圖，給出了具體實施方式
的特定結構的典型實施例，基于本發明精神，還可作其他的轉換。盡管上述發明提出了現有的較佳實施例，然而，這些內容并不作為局限。對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。 因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本發明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內任何和所有等價的范圍與內容，都應認為仍屬本發明的意圖和范圍內。
權利要求
1.一種鎳的回收方法，其特征在于，包括以下步驟 步驟Si 收集包含有鎳羰基和乙醇的廢液；步驟S2 對該廢液進行第一次加熱，以使鎳羰基分解為鎳單質和一氧化碳； 步驟S3 過濾回收鎳單質或繼續第二次加熱，乙醇揮發完后收集鎳單質。
2.根據權利要求1所述的鎳的回收方法，其特征在于，步驟S2中第一次加熱的溫度為 43-60 "C。
3.根據權利要求1所述的鎳的回收方法，其特征在于，步驟S2中第一次加熱的時間為 30秒至10分鐘。
4.根據權利要求1所述的鎳的回收方法，其特征在于，步驟S3中第二次加熱的溫度為 80-200 "C。
5.根據權利要求1所述的鎳的回收方法，其特征在于，步驟S2中第一次加熱的時間為 30秒至10分鐘。
全文摘要
本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種鎳的回收方法，通過對廢液加熱至鎳羰基的分解溫度，使得鎳羰基分解為鎳單質和一氧化碳，通過過濾或者再次加熱即可方便的回收鎳單質。
文檔編號C22B7/00GK102443702SQ201110307980
公開日2012年5月9日 申請日期2011年10月12日 優先權日2011年10月12日
發明者傅昶, 周軍 申請人:上海華力微電子有限公司