技術總結
本發明涉及一種用于執行等離子體化學氣相沉積過程的裝置。該裝置包括大體圓柱形的諧振器，該諧振器設有包圍諧振腔的圓柱形外壁，諧振腔具有相對于圓柱軸線基本上旋轉對稱的形狀。諧振器還包括在相對的圓柱軸線的方向上限制諧振腔的側壁部。另外，該裝置包括穿過圓柱形外壁延伸到諧振腔中的微波波導部。諧振腔在圓柱方向上的長度根據到圓柱軸線的徑向距離變化。

技術研發人員：M·J·N·范斯特拉倫;I·米利塞維克;J·A·哈特蘇伊克
受保護的技術使用者：德雷卡通信技術公司
文檔號碼：201210480714
技術研發日：2012.11.16
技術公布日：2017.05.24