專利名稱：可擴展的反應腔室的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及機械設計技術領域，特別涉及一種可擴展的反應腔室。
背景技術：
現有技術中的批處理原子層沉積(Atomic layer deposition, ALD)反應腔室包括內外兩層腔室。外腔室為常壓腔，其內壁設有加熱元件，用 于對整個外腔進行加熱，從而加熱內腔室及置于其內的基板。內腔室位于外腔室的腔內，與外腔室固定連接。內腔室為低壓腔，其包含工藝氣體管道和真空元件，分別用于在內腔室內對基板進行ALD反應及保證內腔室的低壓環境。這種腔室結構一旦內外腔室的尺寸確定，單次所能加工的基板數量也隨之確定。若要在此基礎上繼續提高生產率，就要重新設計反應腔室的尺寸，另做一套腔室。這樣不僅增長了設計時間和新設備的開發周期，同時也限制了設備生產率的提高。

實用新型內容(一 )要解決的技術問題本實用新型要解決的技術問題是如何使反應腔室能夠擴展，實現在不需重新設計反應腔室的情況下，提高設備生產率。( 二 )技術方案為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種可擴展的反應腔室，所述反應腔室包括前門板和后門板，所述前門板和后門板之間設有至少一個模塊化腔室。優選地，所述模塊化腔室為內部設有空腔的腔體，所述腔體兩端均設有第一法蘭。優選地，所述反應腔室具有一個模塊化腔室，所述前門板和后門板上均設有第二法蘭，所述前門板和后門板分別與模塊化腔室的開口通過第一法蘭和第二法蘭進行可拆式連接。優選地，所述第一法蘭和第二法蘭之間通過螺栓和螺母實現可拆式連接。優選地，所述第一法蘭和第二法蘭上均設有凸塊，所述第一法蘭和第二法蘭之間通過爪形夾鉗卡夾所述凸塊來進行可拆式連接。優選地，所述反應腔室具有至少兩個模塊化腔室，所述前門板和后門板上均設有第二法蘭，所述至少兩個模塊化腔室采用首尾相接的方式通過第一法蘭進行可拆式連接，所述至少兩個模塊化腔室上未連接的兩端分別與前門板和后門板的開口通過第一法蘭和第二法蘭進行可拆式連接。優選地，所述至少兩個模塊化腔室之間的第一法蘭通過螺栓和螺母實現可拆式連接，所述第一法蘭和第二法蘭之間也通過螺栓和螺母實現可拆式連接。優選地，所述第一法蘭和第二法蘭上均設有凸塊，所述至少兩個模塊化腔室之間的第一法蘭通過爪形夾鉗卡夾所述凸塊來進行可拆式連接，所述第一法蘭和第二法蘭之間也通過爪形夾鉗卡夾所述凸塊來進行可拆式連接。優選地，所述空腔包括反應區域和抽氣孔，所述抽氣孔與所述反應區域連通。[0015]優選地，所述腔體上設有加熱通道。(三)有益效果本實用新型通過在前門板、后門板和所述前門板和后門板之間設有的至少一個模塊化腔室上設置法蘭結構，使反應腔室能夠擴展，實現了在不需重新設計反應腔室的情況下，提聞設備生廣率。

圖I是按照本實用新型一種實施例的可擴展的反應腔室的側視圖；圖2是圖I所示的反應腔室中模塊化腔室的正視圖；圖3是圖I所示的反應腔室中模塊化腔室的側視圖；圖4是采用螺栓和螺母連接時的結構示意圖；圖5是采用爪形夾鉗連接時的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。實施例I下面以一個具有兩個模塊化腔室的反應腔室為例來說明本實用新型，參照圖1，本實施例的反應腔室包括前門板5和后門板8，所述前門板5和后門板8之間設有兩個模塊化腔室(分別為附圖I中的“6”和“7”)，本實施例中，所述反應腔室的材料選擇鋁，用于光伏領域為太陽能基板淀積三氧化二鋁鈍化薄膜。參照圖2 3，所述模塊化腔室為內部設有空腔的腔體，所述腔體兩端均設有第一
法蘭4。由于ALD反應需要在真空環境下實現，優選地，所述空腔包括反應區域2和抽氣孔3，所述抽氣孔3與所述反應區域2連通，本實施例中，所述抽氣孔3與所述反應區域2之間通過設置狹縫實現連通，所述反應區域2可放置能夠承載240片太陽能基板的基板承載裝置，本實施例中的反應腔室由于具有兩個模塊化腔室，如此形成的反應區域，可放置能夠承載480片太陽能基板的基板承載裝置。由于ALD反應需要進行加熱，優選地，所述腔體上設有加熱通道1，所述加熱通道用于放置加熱棒，本實施例中，所述加熱通道I可以是通孔。所述反應腔室具有兩個模塊化腔室，所述前門板5和后門板8上均設有第二法蘭，所述兩個模塊化腔室采用首尾相接的方式通過第一法蘭4進行可拆式連接，所述兩個模塊化腔室上未連接的兩端分別與前門板5和后門板8的開口通過第一法蘭4和第二法蘭進行可拆式連接。參照圖4，所述兩個模塊化腔室之間的第一法蘭4通過螺栓10和螺母11實現可拆式連接，所述第一法蘭4和第二法蘭之間也通過螺栓10和螺母11實現可拆式連接。實施例2參照圖5，本實施例的反應腔室結構與實施例I的結構相似，不同之處在于所述第一法蘭4和第二法蘭上均設有凸塊，所述至少兩個模塊化腔室之間的第一法蘭4通過爪形夾鉗9卡夾所述凸塊來進行可拆式連接，所述第一法蘭4和第二法蘭之間也通過爪形夾鉗9卡夾所述凸塊來進行可拆式連接。參照圖4和5，為使法蘭之間的氣密性更好，優選地，通過法蘭進行可拆式連接時，通過O形密封圈12進行密封，連接時一側的法蘭上設有用于放置所述O形密封圈12的凹槽13。優選地，所述第一法蘭4和第二法蘭的厚度符合ISO 1609法蘭設計要求。本實用新型的反應腔室與現有技術相比，其優勢在于連接法蘭結構便于腔室之間首尾相連，為腔室結構的模塊化提供可能，而模塊化的腔室結構，方便隨時擴展反應區域以適應生產需求、提高生產率，且在生產需求量不大時，可拆卸掉部分模塊，避免造成資源 浪費。以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本實用新型的范疇，本實用新型的專利保護范圍應由權利要求限定。
權利要求1.ー種可擴展的反應腔室，其特征在于，所述反應腔室包括前門板和后門板，所述前門板和后門板之間設有至少ー個模塊化腔室。
2.如權利要求I所述的反應腔室，其特征在于，所述模塊化腔室為內部設有空腔的腔體，所述腔體兩端均設有第一法蘭。
3.如權利要求2所述的反應腔室，其特征在于，所述反應腔室具有一個模塊化腔室，所述前門板和后門板上均設有第二法蘭，所述前門板和后門板分別與模塊化腔室的開ロ通過第一法蘭和第二法蘭進行可拆式連接。
4.如權利要求3所述的反應腔室，其特征在于，所述第一法蘭和第二法蘭之間通過螺栓和螺母實現可拆式連接。
5.如權利要求3所述的反應腔室，其特征在干，所述第一法蘭和第二法蘭上均設有凸塊，所述第一法蘭和第二法蘭之間通過爪形夾鉗卡夾所述凸塊來進行可拆式連接。
6.如權利要求2所述的反應腔室，其特征在干，所述反應腔室具有至少兩個模塊化腔室，所述前門板和后門板上均設有第二法蘭，所述至少兩個模塊化腔室采用首尾相接的方式通過第一法蘭進行可拆式連接，所述至少兩個模塊化腔室上未連接的兩端分別與前門板和后門板的開ロ通過第一法蘭和第二法蘭進行可拆式連接。
7.如權利要求6所述的反應腔室，其特征在于，所述至少兩個模塊化腔室之間的第一法蘭通過螺栓和螺母實現可拆式連接，所述第一法蘭和第二法蘭之間也通過螺栓和螺母實現可拆式連接。
8.如權利要求6所述的反應腔室，其特征在干，所述第一法蘭和第二法蘭上均設有凸塊，所述至少兩個模塊化腔室之間的第一法蘭通過爪形夾鉗卡夾所述凸塊來進行可拆式連接，所述第一法蘭和第二法蘭之間也通過爪形夾鉗卡夾所述凸塊來進行可拆式連接。
9.如權利要求I 8中任一項所述的反應腔室，其特征在于，所述空腔包括反應區域和抽氣孔，所述抽氣孔與所述反應區域連通。
10.如權利要求I 8中任一項所述的反應腔室，其特征在于，所述腔體上設有加熱通道。
專利摘要本實用新型公開了一種可擴展的反應腔室，涉及機械設計技術領域，所述反應腔室包括前門板和后門板，所述前門板和后門板之間設有至少一個模塊化腔室。本實用新型通過在前門板、后門板和所述前門板和后門板之間設有的至少一個模塊化腔室上設置法蘭結構，使反應腔室能夠擴展，實現了在不需重新設計反應腔室的情況下，提高設備生產率。
文檔編號C23C16/44GK202610318SQ20122017271
公開日2012年12月19日 申請日期2012年4月20日 優先權日2012年4月20日
發明者彭文芳, 李春雷, 常青, 克雷格·伯考 申請人:北京七星華創電子股份有限公司