專利名稱：磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種密封裝置，具體說(shuō)涉及一種用于真空磁控濺射靶陰極的密封
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)：
目前，在連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜設(shè)備上，靶材在安裝過(guò)程中的密封結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單，整個(gè)靶材只依靠一根長(zhǎng)約2.73m,直徑6mm的O型膠圈來(lái)密封，具體說(shuō)即靶材是固定在靶背板上，靶背板與陰極座之間設(shè)有密封兩者的O型膠圈，同時(shí)靶背板與陰極座之間通過(guò)60顆內(nèi)六角螺釘進(jìn)行固定。這種結(jié)構(gòu)在實(shí)際使用過(guò)程中，容易出現(xiàn)以下弊端:(1)0型膠圈在頻繁的拆卸過(guò)程中容易損壞，使用成本高；(2)密封區(qū)域跨度大，對(duì)靶背板上的密封面平整度要求高，而實(shí)際使用過(guò)程中，靶背板極易變形；(3)更換靶背板時(shí)，對(duì)操作人員的技能要求較高，如內(nèi)六角長(zhǎng)螺釘受力不均、O型膠圈壓合不平等原因，均會(huì)造成更換過(guò)程失敗，產(chǎn)生密封不良而漏氣。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，該密封裝置可以避免日常操作時(shí)對(duì)密封膠圈的頻繁更換，減少日常使用成本。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案:包括靶材和陰極座，所述的靶材固定在靶背板上，所述的靶背板與陰極座之間設(shè)有導(dǎo)磁不銹鋼密封板，所述的導(dǎo)磁不銹鋼密封板與陰極座之間設(shè)有密封兩者的第一密封圈，所述的導(dǎo)磁不銹鋼密封板及靶背板分別與陰極座固定連接 。本實(shí)用新型的陰極座與靶背板之間設(shè)有兩個(gè)水嘴，所述的靶背板及導(dǎo)磁不銹鋼密封板上分別設(shè)有與水嘴相配合的第一、第二安裝孔。本實(shí)用新型靶背板上的第一安裝孔處焊接有固定塊，固定塊上設(shè)有與水嘴相配合的第三安裝孔，且固定塊與導(dǎo)磁不銹鋼密封板之間固定連接。本實(shí)用新型的第三安裝孔與水嘴之間設(shè)有相密封的第二、第三密封圈。本實(shí)用新型的固定塊與導(dǎo)磁不銹鋼密封板之間通過(guò)第一螺釘相連，所述的固定塊上設(shè)有與第一螺釘相配合的螺紋孔，所述的螺紋孔與第一螺釘之間設(shè)有密封兩者的第四密封圈。本實(shí)用新型的第二安裝孔與水嘴之間設(shè)有密封兩者的第五密封圈。本實(shí)用新型的固定塊上分別設(shè)有與第二、第三密封圈相配合的第一、第二密封圈槽。本實(shí)用新型的固定塊上分別設(shè)有與第四密封圈相配合的第三密封圈槽。由上述技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型通過(guò)在陰極座與靶背板之間增設(shè)一個(gè)導(dǎo)磁不銹鋼密封板，且該導(dǎo)磁不銹鋼密封板與陰極座相密封固定，這樣在日常對(duì)靶背板進(jìn)行檢查、維修等操作時(shí)，直接將靶背板與陰極座相拆卸即可，整個(gè)拆卸過(guò)程不會(huì)影響到陰極座與導(dǎo)磁不銹鋼密封板之間的密封圈，避免了對(duì)密封圈的損害，提高了密封圈的使用壽命，減少了日常的使用成本。

圖1是本實(shí)用新型的主視圖；圖2是圖1的A-A剖視圖；圖3是圖1的B-B剖視圖；圖4是本實(shí)用新型靶背板的后視圖；圖5是本實(shí)用新型的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明:如圖1-圖5所示的一種磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，包括靶材I和陰極座2，靶材I固定在靶背板3上，靶背板3與陰極座2之間設(shè)有導(dǎo)磁不銹鋼密封板4，導(dǎo)磁不銹鋼密封板4與陰極座2之間設(shè)有密封兩者的第一密封圈5，導(dǎo)磁不銹鋼密封板4及靶背板3分別與陰極座2固定連接。具體說(shuō)就是在靶背板3與陰極座2之間增設(shè)一個(gè)導(dǎo)磁不銹鋼密封板
4,陰極座2上設(shè)有與第一密封圈5相配合的密封圈槽，陰極座2與導(dǎo)磁不銹鋼密封板4之間通過(guò)第一密封圈5相固定，并通過(guò)第二螺釘13緊固，使陰極座2、導(dǎo)磁不銹鋼密封板4和第一密封圈5成為一個(gè)整體，再通過(guò)第三螺釘14將靶背板3與陰極座2的整體相固定。陰極座2與靶背板3之間設(shè)有兩個(gè)水嘴6，靶背板3及導(dǎo)磁不銹鋼密封板4上分別設(shè)有與水嘴6相配合的第一 、第二安裝孔。作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，為了保證靶安裝過(guò)程中能與外界實(shí)現(xiàn)真空密封的目的，在靶背板3上的第一安裝孔處焊接有固定塊7，固定塊7上設(shè)有與水嘴6相配合的第三安裝孔，第三安裝孔與水嘴6之間設(shè)有相密封的第二、第三密封圈8、9，固定塊7與導(dǎo)磁不銹鋼密封板4之間通過(guò)第一螺釘12固定連接，固定塊7上設(shè)有與第一螺釘12相配合的螺紋孔，螺紋孔與第一螺釘12之間設(shè)有密封兩者的第四密封圈10，換句話說(shuō)，固定塊7相當(dāng)于一個(gè)加強(qiáng)板的作用，在固定塊7上分別設(shè)有與第二、第三、第四密封圈8、9、10相配合的第一、第二、第三密封圈槽，通過(guò)增設(shè)第二、第三、第四密封圈來(lái)實(shí)現(xiàn)靶材在安裝過(guò)程中真正的真空密封。作為更優(yōu)選的方案，第二安裝孔與水嘴6之間設(shè)有密封兩者的第五密封圈11。在本實(shí)用新型中，第一、第二、第三、第四、第五密封圈均為O型密封圈，陰極座2由不銹鋼板焊接而成，靶背板3為銅質(zhì)背板。具體裝配步驟如下:I)陰極座的密封安裝:將第一密封圈5裝配到陰極座2的密封圈固定槽中，安裝時(shí)確保第一密封圈5已填滿密封圈固定槽，且與陰極座2的安裝面平行的密封圈面必須保證平整，密封圈無(wú)傷痕；再將導(dǎo)磁不銹鋼密封板4安裝到陰極座9上，通過(guò)第二螺釘13 (包括54顆內(nèi)六角沉頭螺釘及4顆內(nèi)六角螺釘)加以緊固，安裝時(shí)注意用力均勻，逐圈緊固，安裝壓緊后，觀察陰極座2的安裝面與導(dǎo)磁不銹鋼密封板4的縫隙是否一致，確保密封效果；2)靶背板的安裝:將第二、第三、第四密封圈8、9、10安裝到固定塊7上的第一、第二、第三密封圈槽中，并確認(rèn)密封圈的外露面平整，密封圈無(wú)傷痕；再將靶背板3靠近已裝配完畢的陰極座2，進(jìn)行初始定位，此時(shí)不必緊固連接兩者的第三螺釘14 (包括20顆內(nèi)六角長(zhǎng)螺釘)，只需將靶背板3貼合到陰極座2安裝面即可；再使用第一螺釘12將固定塊7與導(dǎo)磁不銹鋼密封板4加以緊固，確保第二、第三、第三密封圈8、9、10均壓緊；最后再通過(guò)第三螺釘14將靶背板3與陰極座2相固定。3)水嘴的安裝:將第五密封圈11安裝到水嘴6相應(yīng)位置的密封圈槽中，并確認(rèn)密封圈外露面平整，密封圈無(wú)傷痕；再在水嘴6的螺紋上纏繞生料帶，將水嘴安裝在導(dǎo)磁不銹鋼密封板4與陰極座3配合面的相應(yīng)水路進(jìn)出口處，確保水嘴安裝緊固。日常更換靶材的拆卸步驟大致為:拆卸水嘴一拆卸第一螺釘一拆卸第三螺釘一取下靶背板。綜上所述，本實(shí)用新型的有益效果在于:1)通過(guò)對(duì)陰極座改造，使靶背板在頻繁的拆卸過(guò)程中，不會(huì)損壞陰極座內(nèi)的第一密封圈，節(jié)約了成本；2)通過(guò)對(duì)靶背板的水路進(jìn)行改造，增設(shè)第二、第三、第四密封圈，使得靶材在安裝過(guò)程中能夠真正實(shí)現(xiàn)與外界的真空密封目的；3)拆卸靶背板時(shí)，只需要拆卸靶背板與陰極座之間的20顆第三螺釘，減少了拆卸螺釘?shù)臄?shù)量，提高了效率。以上所述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本實(shí)用新型的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本實(shí)用新型權(quán)利要求書(shū)確定的保護(hù)范圍 內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，包括靶材(I)和陰極座(2)，所述的靶材(I)固定在靶背板(3)上，其特征在于:所述的靶背板(3)與陰極座(2)之間設(shè)有導(dǎo)磁不銹鋼密封板(4)，所述的導(dǎo)磁不銹鋼密封板(4)與陰極座(2)之間設(shè)有密封兩者的第一密封圈(5)，所述的導(dǎo)磁不銹鋼密封板(4)及靶背板(3)分別與陰極座(2)固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的陰極座(2)與靶背板(3)之間設(shè)有兩個(gè)水嘴(6)，所述的靶背板(3)及導(dǎo)磁不銹鋼密封板(4)上分別設(shè)有與水嘴(6)相配合的第一、第二安裝孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁 控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的靶背板(3)上的第一安裝孔處焊接有固定塊(7)，固定塊(7)上設(shè)有與水嘴相配合的第三安裝孔，且固定塊(7)與導(dǎo)磁不銹鋼密封板(4)之間固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的第三安裝孔與水嘴(6)之間設(shè)有相密封的第二、第三密封圈(8、9)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的固定塊(7)與導(dǎo)磁不銹鋼密封板(4)之間通過(guò)第一螺釘(12)相連，所述的固定塊(7)上設(shè)有與第一螺釘相配合的螺紋孔，所述的螺紋孔與第一螺釘之間設(shè)有密封兩者的第四密封圈(10)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的第二安裝孔與水嘴(6)之間設(shè)有密封兩者的第五密封圈(11)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的固定塊(7)上分別設(shè)有與第二、第三密封圈(8、9)相配合的第一、第二密封圈槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的固定塊(7)上分別設(shè)有與第四密封圈(10)相配合的第三密封圈槽。
專利摘要本實(shí)用新型涉及磁控濺射陰極靶材的密封結(jié)構(gòu)。包括靶材和陰極座，所述的靶材固定在靶背板上，所述的靶背板與陰極座之間設(shè)有導(dǎo)磁不銹鋼密封板，所述的導(dǎo)磁不銹鋼密封板與陰極座之間設(shè)有密封兩者的第一密封圈，所述的導(dǎo)磁不銹鋼密封板及靶背板分別與陰極座固定連接。由上述技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型通過(guò)在陰極座與靶背板之間增設(shè)一個(gè)導(dǎo)磁不銹鋼密封板，且該導(dǎo)磁不銹鋼密封板與陰極座相密封固定，這樣在日常對(duì)靶背板進(jìn)行檢查、維修等操作時(shí)，直接將靶背板與陰極座相拆卸即可，整個(gè)拆卸過(guò)程不會(huì)影響到陰極座與導(dǎo)磁不銹鋼密封板之間的密封圈，避免了對(duì)密封圈的損害，提高了密封圈的使用壽命，減少了日常的使用成本。
文檔編號(hào)C23C14/35GK203080058SQ20132005127
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月30日
發(fā)明者陳誠(chéng), 邵帥, 劉西寧 申請(qǐng)人:安徽省蚌埠華益導(dǎo)電膜玻璃有限公司