一種磁控濺射旋轉磁密封端頭的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種磁控濺射旋轉磁密封端頭，包括固定座、隔離罩、內冷卻水循環通道、內轉子、接電柱、外轉子、進水口、出水口、及固定孔；固定座內設第一凹槽；隔離罩縱剖面呈“山”字構型，分外蓋、中柱、及二者之間的第二凹槽，外蓋封蓋在第一凹槽上，外轉子設于第一凹槽內且包裹在外蓋外部，接電柱設在外蓋的頂端；內轉子與第二凹槽內壁緊密貼合，內冷卻水循環通道位于中柱外側與內轉子之間。本實用新型旋轉陰極端頭，真空、大氣之間采用磁力耦合密封，把動密封改為了靜密封，解決了真空度保持差的問題，這種密封方式免維護，考慮到其他部件的壽命，可以確保每年維護一次，提高了端頭的使用可靠性。
【專利說明】
一種磁控濺射旋轉磁密封端頭
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及磁控濺射設備配件，尤其涉及一種磁控濺射旋轉磁密封端頭。
【背景技術】
[0002]現在使用的旋轉陰極端頭，真空、大氣之間采用骨架密封，骨架密封屬于動密封范疇，也會逐步失效，這樣增加了端頭的使用不可靠性，維修率高，維修周期不確定，真空度保持差，實際使用時維修時間可能一個月或更長，給生產和工藝都造成了不確定性。
[0003]因此，現有技術存在缺陷，需要改進。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的是克服現有技術的不足，提供一種磁控濺射旋轉磁密封端頭。
[0005]本實用新型的技術方案如下:
[0006]—種磁控濺射旋轉磁密封端頭，包括固定座、隔離罩、內冷卻水循環通道、內轉子、接電柱、外轉子、進水口、出水口、及固定孔；固定座內設第一凹槽;隔離罩縱剖面呈“山”字構型，分外蓋、中柱、及二者之間的第二凹槽，外蓋封蓋在第一凹槽上，外轉子設于第一凹槽內且包裹在外蓋外部，接電柱設在外蓋的頂端；內轉子與第二凹槽內壁緊密貼合，內冷卻水循環通道位于中柱外側與內轉子之間，進水口、出水口、固定孔均設于固定座側壁，進水口、出水口分別與內冷卻水循環通道連通；固定座側壁還設有一水平弧形孔，用以露出外轉子的一部分弧長。
[0007]較佳地，所述水平弧形孔的弧度為30°?180°。
[0008]較佳地，所述中柱內設一半開口的圓柱孔。
[0009]采用上述方案，本實用新型旋轉陰極端頭，真空、大氣之間采用磁力耦合密封，把動密封改為了靜密封，解決了真空度保持差的問題，這種密封方式免維護，考慮到其他部件的壽命，可以確保每年維護一次，提高了端頭的使用可靠性。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的側視圖；
[0011]圖2為本實用新型的俯視圖；
[0012]圖3為圖2的A-A剖視圖；
[0013]圖4為圖3的分解圖。
【具體實施方式】
[0014]以下結合附圖和具體實施例，對本實用新型進行詳細說明。
[0015]參照圖1至圖4，本實用新型提供一種磁控濺射旋轉磁密封端頭，包括固定座1、隔離罩2、內冷卻水循環通道3、內轉子4、接電柱5、外轉子6、進水口 7、出水口8、及固定孔9。
[0016]其中，固定座I設有半開口的第一凹槽，隔離罩2封蓋在第一凹槽上。
[0017]其中，隔離罩2縱剖面呈“山”字構型，分外蓋21、中柱22、及二者之間的第二凹槽23，外蓋21封蓋在第一凹槽上，外轉子6設于第一凹槽內且包裹在外蓋21外部，接電柱5設在外蓋21的頂端；內轉子4與第二凹槽23內壁緊密貼合，內冷卻水循環通道3位于中柱22外側與內轉子4之間；中柱22內設一半開口的圓柱孔221，用于更好地固定外部的圓柱形靶材。
[0018]其中，固定座I外側壁還開設一水平弧形孔，其與第一凹槽連通，露出外轉子6的一部分弧長，露出的外轉子6用于導出皮帶與外部動力源皮帶連接，因此，為使得皮帶連接方便，水平弧形孔的弧度在180°以內，優選地的弧度為30°?180°。固定座I外側還設有進水口
7、出水口8、及固定孔9，進水孔7、出水孔8分別與內冷卻水循環通道3連通，固定孔9用于將該密封端頭整個固定在磁控濺射設備內部。
[0019]本實用新型的工作原理:
[0020]參照圖1至圖4，圓柱形靶材安裝在內轉子4上，與內轉子4的頭端外部固定連接，靶材冷卻循環水通過進水口 7進入端頭，經過內冷卻水循環通道3冷卻靶材，最后通過出水口 8流出，循環冷卻；靶材陰極電源通過接電柱5上電，整體端頭通過固定孔9固定在真空室內壁;外轉子6外部通過皮帶輪帶動，中間通過隔離罩2隔離，外轉子6通過磁場與內轉子4耦合，帶動內轉子4旋轉，實現了真空的絕對密封。
[0021]以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種磁控濺射旋轉磁密封端頭，其特征在于，包括固定座、隔離罩、內冷卻水循環通道、內轉子、接電柱、外轉子、進水口、出水口、及固定孔；固定座內設第一凹槽；隔離罩縱剖面呈“山”字構型，分外蓋、中柱、及二者之間的第二凹槽，外蓋封蓋在第一凹槽上，外轉子設于第一凹槽內且包裹在外蓋外部，接電柱設在外蓋的頂端；內轉子與第二凹槽內壁緊密貼合，內冷卻水循環通道位于中柱外側與內轉子之間，進水口、出水口、固定孔均設于固定座側壁，進水口、出水口分別與內冷卻水循環通道連通；固定座側壁還設有一水平弧形孔，用以露出外轉子的一部分弧長。2.根據權利要求1所述的磁控濺射旋轉磁密封端頭，其特征在于，所述水平弧形孔的弧度為30°~180°。3.根據權利要求1或2所述的磁控濺射旋轉磁密封端頭，其特征在于，所述中柱內設一半開口的圓柱孔。
【文檔編號】C23C14/35GK205710899SQ201620681853
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年7月1日
【發明人】趙勇
【申請人】深圳市昊興科技有限公司