金剛石涂層設備用的精確進氣裝置制造方法
【專利摘要】本發明涉及一種金剛石涂層設備用的精確進氣裝置，包括步進電機、傳動帶、滾珠絲桿、絲桿螺母、固定座、滑塊、連桿、注射頭，所述電機通過傳動帶帶動滾珠絲桿，所述滾珠絲桿上裝有絲桿螺母，所述絲桿螺母固定在滑塊上，所述滑塊與固定座成滑動連接，所述滑塊上端裝有連桿和注射頭。本發明結構簡單、定位準確、調節方便，可精確控制氬氣、氫氣與甲烷等氣體按設定的體積注射到設備反應室。
【專利說明】金剛石涂層設備用的精確進氣裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及金剛石膜涂層設備，特別是涉及一種金剛石涂層膜設備的進氣裝置。
【背景技術】
[0002]金剛石膜具有優良的散熱特性能，其熱導率可達2000W/(m.k)，可以很好的解決高速運動的摩擦發熱量大的工具的散熱問題；同時，金剛石膜具有特別高的硬度，金剛石膜的微硬度可以達到9000-10000HV，可以克服巨大的阻力和擠壓應力。因此，很多要求耐磨、散熱好、剛性好的工件或工具，都采取在表面鍍金剛石膜的方法。
[0003]在工件表面涂層金剛石膜的過程中，需要抽取真空，并向設備反應室內按一定比例充入氬氣、氫氣與甲烷等氣體，所充入氣體的數量和比例關系到金剛石膜的生成質量和速度。現有的金剛石涂層膜設備的進氣裝置存在不能精確控制的缺點。
【發明內容】
[0004]本發明的目的是為了克服現有技術的缺點和不足，提供一種結構簡單、定位準確、調節方便的用于金剛石涂層設備用的精確進氣裝置。
[0005]本發明是通過以下技術方案予以實現的:
金剛石涂層設備用的精確進氣裝置，它包括步進電機、大帶輪、小帶輪、傳動帶、滾珠絲桿、絲桿螺母、固定座、滑塊、連桿、注射頭，所述步進電機輸出上裝有大帶輪，所述大帶輪通過傳動帶與小帶輪相連，所述小帶輪安裝在滾珠絲桿上端，所述滾珠絲桿上裝有絲桿螺母，所述絲桿螺母固定在滑塊上，所述滑塊與固定座成滑動連接，所述滑塊上端裝有連桿，所述連桿下端裝有注射頭。
[0006]本發明工作原理:步進電機啟動，帶動大帶輪轉動，大帶輪通過傳動帶帶動小帶輪轉動，小帶輪帶動固定連接的帶動滾珠絲桿轉動，滾珠絲桿帶動相配合的絲桿螺母上升下降，絲桿螺母帶動滑塊上下運動，從而使固定連接在滑塊上的連桿、注射頭一起上升下降。
[0007]本發明與現有的升降裝置相比，具有如下的優點:1、本發明采用步進電機，能對注射頭上升下降的位置進行精確定位，誤差小。具有結構合理、操作方便、升降可靠、制造容易等特點。2、本發明采用滾珠絲桿副傳動，噪聲小，穩定性和傳動精度高。杜絕了在升降過程中，有時會把傳動軸卡死的現象。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0008]圖1為本發明結構示意圖。
[0009]附圖中，1—大帶輪,2—步進電機,3—傳動帶，4一小帶輪,5—滾珠絲桿,6—絲桿螺母，7—滑塊，8—固定座，9一連桿，10—注射頭。
【具體實施方式】
[0010]下面結合附圖對本發明作進一步的說明。
[0011]如圖1所示，一種金剛石涂層設備用的精確進氣裝置，它包括步進電機2、大帶輪1、小帶輪4、傳動帶3、滾珠絲桿5、絲桿螺母6、固定座8、滑塊7、連桿9、注射頭10。步進電機2輸出上裝有大帶輪1，大帶輪I通過傳動帶3與小帶輪4相連，小帶輪4固定安裝在滾珠絲桿5上端，滾珠絲桿5上裝有絲桿螺母6，絲桿螺母6固定在滑塊7上，滑塊7套在固定座8外面，可以上下滑動。所述滑塊7下端固定裝有連桿9，連桿9下端裝有注射頭10。
[0012]當注射頭10需要上升時,步進電機2左旋轉動,帶動大帶輪I左旋，大帶輪I通過傳動帶3帶動小帶輪4左旋，小帶輪4帶動固定連接的帶動滾珠絲桿5左旋轉動，滾珠絲桿5帶動相配合的絲桿螺母6上升，絲桿螺母6帶動滑塊7向上滑動，從而帶動固定連接在滑塊7上的注射頭10上升。
[0013]當注射頭10需要下降時,步進電機2右旋轉動,帶動大帶輪I右旋，大帶輪I通過傳動帶3帶動小帶輪4右旋，小帶輪4帶動固定連接的帶動滾珠絲桿5右旋轉動，滾珠絲桿5帶動相配合的絲桿螺母6下降，絲桿螺母6帶動滑塊7向下滑動，從而帶動固定連接在滑塊7上的注射頭10下降。
[0014]采用本發明的升降裝置，使用操作方便可靠，日常維護保養省時省力，結構簡單，傳動平穩，定位準確。可精確控制氬氣、氫氣與甲烷等氣體按設定的體積注射到設備反應室，保證金剛石膜具有良好的質量。
【權利要求】
1.金剛石涂層設備用的精確進氣裝置，其特征在于:它包括步進電機、大帶輪、小帶輪、傳動帶、滾珠絲桿、絲桿螺母、固定座、滑塊、連桿、注射頭，所述電機輸出上裝有大帶輪，所述大帶輪通過傳動帶與小帶輪相連，所述小帶輪安裝在滾珠絲桿上端，所述滾珠絲桿上裝有絲桿螺母，所述絲桿螺母固定在滑塊上，所述滑塊與固定座成滑動連接，所述滑塊上端裝有連桿，所述連桿下端裝有注射頭。
【文檔編號】C23C16/27GK104451604SQ201410820802
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年12月26日 優先權日:2014年12月26日
【發明者】肖遠龍 申請人:長沙湘愿節能科技有限公司