技術總結
本發明公開了一種減振裝置，其應用于一研磨機臺，該研磨機臺具有一工件夾具，該減振裝置包含有：一研磨減振模塊，其具有：一第一方向單元，其設置于該研磨機臺上；一第二方向單元；一連動單元，其穿設于該第一方向單元與該第二方向單元；以及一驅動單元，其耦接該連動單元；以及一滾刀減振模塊，其具有：一支撐單元，其設于該工件夾具之間；以及一拉動單元，其耦接該支撐單元與該研磨機臺。

技術研發人員：張詠棋;鍾允睿;鄭傑;林國暐
受保護的技術使用者：財團法人工業技術研究院
文檔號碼：201510888975
技術研發日：2015.12.07
技術公布日：2017.05.24