1.一種壓力校正用夾具，用于校正對多個氣囊加壓的壓力，該多個氣囊被設在用于保持基板并將所述基板向研磨器具按壓的保持部的內部，所述壓力校正用夾具的特征在于，
具備：
多個第一流路，與所述多個氣囊中的各個氣囊連通；
第二流路，將所述多個第一流路合流成一個流路而連接至壓力校正用的壓力傳感器；及
流動控制部，針對所述多個第一流路中的被選擇為壓力校正用的與氣囊對應的流路，能夠使流體從所述氣囊向所述第二流路的方向流通，并且針對所述被選擇的一個流路以外的流路，阻止流體從所述第二流路向所述氣囊的方向流動。
2.如權利要求1所述的壓力校正用夾具，其特征在于，
所述流動控制部包含設在所述多個第一流路中的各個第一流路且對所述多個第一流路進行開閉的多個第一開閉閥，
所述多個第一開閉閥與分別設在多個主流路的第二開閉閥同步動作，所述多個主流路將設在具有所述保持部的基板處理裝置的內部的壓力調節器與所述多個氣囊連接，
所述多個第一流路被連接在所述主流路中的所述第二開閉閥與所述氣囊之間。
3.如權利要求1所述的壓力校正用夾具，其特征在于，
所述流動控制部包含設在所述多個第一流路中的各個第一流路且對所述多個第一流路進行開閉的多個第一開閉閥，
所述多個第一開閉閥與設在繞過第二開閉閥的多個旁通流路的第三開閉閥同步動作，所述第二開閉閥分別設在多個主流路，所述多個主流路將設在具有所述保持部的基板處理裝置的內部的壓力調節器與所述多個氣囊連接，
所述多個第一流路被連接在所述主流路中的所述第二開閉閥與所述氣囊之間。
4.如權利要求1所述的壓力校正用夾具，其特征在于，
所述流動控制部包含設在所述多個第一流路中的各個第一流路且對所述多個第一流路進行開閉的多個第一開閉閥，
所述多個第一開閉閥與設在從第二開閉閥的所述氣囊側分支的多個吸引用流路的第四開閉閥同步動作，所述第二開閉閥分別設在多個主流路，所述多個主流路將設在具有所述保持部的基板處理裝置的內部的壓力調節器與所述多個氣囊連接，
所述多個第一流路被連接在所述主流路中的所述第二開閉閥與所述壓力調節器之間。
5.如權利要求1所述的壓力校正用夾具，其特征在于，
所述流動控制部包含設在所述多個第一流路中的各個第一流路且使流體從所述氣囊僅向所述第二流路的方向流通的多個逆止閥。
6.如權利要求1-5中任一項所述的壓力校正用夾具，其特征在于，
還具備能夠使所述多個第一流路流通的復式連接器，
所述壓力校正用夾具經由所述復式連接器而與具有所述保持部的基板處理裝置連接。
7.一種基板處理裝置，其特征在于，
具備：
研磨臺，貼附有用于研磨基板的研磨墊；
保持部，用于保持所述基板并將所述基板向所述研磨墊按壓；
多個氣囊，設在所述保持部的內部；及
權利要求1-6中任一項所述的壓力校正用夾具，用于校正對所述多個氣囊加壓的壓力。