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一種多孔二氧化鈦薄膜及其制備方法與流程

文檔序號:11126673閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種多孔二氧化鈦薄膜的制備方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:

(1)材料的預處理

把鈦片剪成絲狀,超聲清洗,其中超聲清洗的溶劑依次分別為丙酮、無水乙醇、蒸餾水,將清洗后的鈦片于烤箱中,烘干,備用;

(2)真空蒸發鍍膜

稱取0.2-0.6g的鈦,在壓強為3.0×10-3Pa、蒸發電流為240A的環境下,以潔凈的導電玻璃(FTO/glass)為載體,在真空蒸發系統中鍍膜,得到Ti/FTO/glass,在壓強為3.0×10-3Pa、溫度為500℃的環境下退火,冷卻;

(3)多孔二氧化鈦薄膜的制備

將步驟(2)得到的Ti/FTO/glass在5-30V的電壓下電解完成后在450-600℃的環境下退火,即得。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(1)每種溶劑的超聲時間均為10min。

3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(1)的烘烤溫度為80℃。

4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(2)鈦的質量為0.4g。

5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(2)的退火時間為30min,溫度為500℃。

6.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(3)的電解液為0.3mol/L的氟化銨的乙二醇溶液,所述電壓為20V。

7.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(3)中待Ti/FTO/glass電解至淺灰色時取出退火。

8.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(3)的退火時間為30min, 退火溫度為500℃。

9.一種多孔二氧化鈦薄膜,其特征在于,所述多孔二氧化鈦薄膜是由權利要求1-8中任意一項所述制備方法制備而成。

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