技術(shù)特征：

1.一種鎳鈦系形狀記憶合金，其特征在于，該合金由鈦、鎳、銅、鈷、釹元素構(gòu)成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎳鈦系形狀記憶合金，其特征在于，按原子百分比包括如下組分：鈦原子百分比含量為45-50%、鎳的原子百分比含量為30-38%；銅的原子百分比含量為10-13%、鈷的原子百分比含量為10-13%、余量為釹。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎳鈦系形狀記憶合金，其特征在于，所述形狀記憶合金的厚度為2-50微米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎳鈦系形狀記憶合金，其特征在于，所述形狀記憶合金的顯微結(jié)構(gòu)中包含Ti₂Cu與Ti₂Ni相。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種鎳鈦系形狀記憶合金，其特征在于，所述形狀記憶合金中的Ti₂Cu與Ti₂Ni相的尺寸小于500納米。

6.權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述的形狀記憶合金的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）按照上述的合金材料制備靶材；

2）采用磁控濺射制備薄膜狀的形狀記憶合金，抽真空至10^-3Pa以上，充入氬氣，然后再抽真空至10^-3Pa，調(diào)整工作電壓為500V，濺射占空比60-70%，開(kāi)始進(jìn)行濺射沉積，控制厚度為2-50微米；

3）對(duì)步驟2）得到的形狀記憶合金進(jìn)行退火熱處理得到形狀記憶合金。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的形狀記憶合金的制備方法，其特征在于，所述退火熱處理溫度為650-720攝氏度。

8.權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述的形狀記憶合金在工業(yè)控制、醫(yī)療器械方面的應(yīng)用。