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一種矯頑力可調(diào)稀土?過渡合金薄膜的制備方法與流程

文檔序號(hào):12099334閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種矯頑力可調(diào)稀土?過渡合金薄膜的制備方法,將稀土貼片與鐵鈷合金靶相貼合形成復(fù)合鑲嵌靶,采用磁控濺射方法對復(fù)合鑲嵌靶進(jìn)行濺射,通過濺射工作氣體的流量有效調(diào)節(jié)制備的非晶合金薄膜的磁特性,實(shí)現(xiàn)薄膜易磁化方向水平與垂直以及富過渡與富稀土成分之間的連續(xù)變化。該稀土?過渡合金薄膜的制備方法可在較大范圍內(nèi)調(diào)節(jié)合金薄膜的磁特性及矯頑力,滿足磁電記錄技術(shù)領(lǐng)域?qū)Σ牧咸匦缘囊蟆?br/>
技術(shù)研發(fā)人員:王可;董碩;黃亞
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華僑大學(xué)
文檔號(hào)碼:201610987929
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.10
技術(shù)公布日:2017.03.22

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