技術總結
本發明提供了一種APF薄膜沉積設備以及APF薄膜沉積通氣方法。本發明的APF薄膜沉積設備包括：供氣鋼瓶、冷凝管以及氣體板；其中，供氣鋼瓶中包含乙炔和丙酮，而且供氣鋼瓶經由冷凝管向氣體板通入氣體。在本發明中，利用包含乙炔和丙酮的供氣鋼瓶經由冷凝管向氣體板供氣，其中冷凝管過濾掉被揮發出來丙酮蒸汽，使得經由冷凝管進入氣體板的氣體的乙炔純度相對于供氣鋼瓶更高。
技術研發人員：許雋;李錦山;龔薈卓
受保護的技術使用者：上海華力微電子有限公司
文檔號碼：201611016727
技術研發日：2016.11.18
技術公布日：2017.05.31