技術(shù)總結(jié)
一種稀土鎳基氧化物多晶薄膜材料的制備方法，屬于無機(jī)非金屬薄膜材料領(lǐng)域，本發(fā)明是在襯底材料表面生長(zhǎng)具有與稀土鎳基鈣鈦礦氧化物材料晶格參數(shù)相近的氧化物材料緩沖層；在緩沖層表面進(jìn)一步利用真空沉積法沉積稀土鎳基鈣鈦礦氧化物薄膜。所述稀土鎳基鈣鈦礦氧化物材料的晶體結(jié)構(gòu)為ABO3的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)ReNiO3：Re位為單一稀土元素或多種稀土元素的組合；所述緩沖層材料的組分優(yōu)選：鍶銣氧、鈦酸鍶、鑭摻雜鈦酸鍶、釹摻雜鈦酸鍶、鈦酸鋇、鈦酸鈣。本發(fā)明提供了一種簡(jiǎn)便高效制備稀土鎳基鈣鈦礦氧化物多晶薄膜材料的方法，所制備的薄膜材料具有優(yōu)異的溫致與氫致性能，可以進(jìn)一步應(yīng)用于功能電子器件、燃料電池、紅外探測(cè)器件等領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：陳吉堃;姜勇;徐曉光;苗君;吳勇;孟康康
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京科技大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611141905
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.12
技術(shù)公布日：2017.03.08