技術總結
本發明一種高硬度、高彈性模量的多組元氮化物涂層，其化學式為AlCrTiZrNbN，Al、Cr、Ti、Zr、Nb和N元素的原子比分別為8~12%：8~12%：8~12%：8~12%：8~12%：48~52%，涂層的厚度為2～5μm。本發明還提供了上述氮化物涂層的制備方法，先將基體表面作鏡面拋光處理，然后經過丙酮、酒精的超聲清洗，真空離子清洗后，采用射頻反應濺射方法沉積AlCrTiZrNbN層，其中AlCrTiZrNbN多組元氮化物涂層由等原子摩爾比的AlCrTiZrNb合金靶材在(Ar+N2)氣氛下制得。本發明的涂層具有高硬度和高彈性模量，可作為新型保護性涂層用于刀具、模具等多種服役場合。

技術研發人員：李偉;黃純可;劉平;張柯;馬鳳倉;劉新寬;陳小紅;何代華
受保護的技術使用者：上海理工大學
文檔號碼：201611153024
技術研發日：2016.12.14
技術公布日：2017.06.13