技術總結
本發明涉及材料制備設備領域，具體而言，涉及一種超高真空催化裝置以及團簇沉積設備。一種超高真空催化裝置包括用于傳遞團簇的超高真空傳樣裝置、用于氣相催化的催化裝置以及用于檢測催化產物的四極質譜儀。超高真空傳樣裝置的出口端與催化裝置的進口端連通，催化裝置的出口端與四極質譜儀進口端連通。該裝置能夠在真空環境下對團簇的氣相催化性能進行實時檢測，能夠獲得潔凈團簇粒子的真實催化性能并對其催化機理進行研究。
技術研發人員：張勤芳;王保林;樊樂樂;朱雷;王玨;孟強強;侯貴華;羅改霞
受保護的技術使用者：鹽城工學院
文檔號碼：201611155536
技術研發日：2016.12.14
技術公布日：2017.02.22