技術總結
本發明公開了一種用于MOCVD設備的鎢涂層加熱片及其制備方法，制備方法包括以下步驟：采用真空熱壓燒結法獲得密度≥99％理論密度、純度≥99.99％且平均晶粒尺寸≤50μm的鎢板；將鎢板加工成重復環繞的多環C形結構的加熱片基體，采用兩片加熱片基體對稱安裝布局，再以噴鎢砂的方法對加熱片基體表面預處理并進行預熱活化處理；對40～80目的球形鎢粉進行烘烤處理，通過等離子噴涂技術在加熱片基體的粗糙表面噴涂一層厚度在10μm～100μm之間、結合力強且具有高熱發射率的粗糙鎢涂層，從而獲得一種用于MOCVD設備、具有高熱發射率、可提高MOCVD設備溫場均勻性且使用壽命長的鎢涂層加熱片。

技術研發人員：白鋒;詹標;黃志民;黃羽
受保護的技術使用者：廈門虹鷺鎢鉬工業有限公司
文檔號碼：201611159543
技術研發日：2016.12.15
技術公布日：2017.05.31