本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種晶圓研磨系統以及晶圓研磨終點的控制方法。

背景技術：

在現有的晶圓研磨系統中，研磨表面為金屬的晶圓以及表面為氮化層的晶圓的技術已經較為成熟，對于晶圓研磨的停止點的控制較為準確，但是對于表面為氧化層的晶圓的研磨，研磨停止點并沒有形成成熟的控制方法，傳統的是采用同一的研磨時間，并通過人為地對晶圓研磨的時間進行微調的方法來控制同一批次的晶圓的研磨厚度的差異，但是這樣做會增加技術人員的工作量，從而導致操作人員的錯誤率較高。

技術實現要素：

針對上述問題，本發明提出了一種晶圓研磨系統，應用于研磨表面為氧化層的晶圓；包括：

研磨墊，用于與所述晶圓的表面接觸，以通過旋轉研磨所述晶圓；

直流電機，包括一輸出軸；所述輸出軸與所述研磨墊連接，用于驅動所述研磨墊旋轉；

控制器，與所述直流電機連接，用于向所述直流電機輸出驅動電流以控制所述直流電機的工作；

所述控制器于檢測到所述輸出軸上的扭矩在一預設的置信時間區間內低于一預設值時停止輸出所述驅動電流。

上述的晶圓研磨系統，其中，所述控制器通過檢測所述直流電機的電流來檢測所述輸出軸上的扭矩。

上述的晶圓研磨系統，其中，所述控制器包括一電流檢測模塊，一控制模塊和一升壓模塊；

所述電流檢測模塊與所述直流電機連接，用于檢測所述直流電機的工作電流并根據所述工作電流輸出一電流檢測信號；

所述控制模塊與所述電流檢測模塊連接，用于接收并根據所述電流檢測信號輸出一控制信號；

所述升壓模塊與所述控制模塊連接，用于接收并根據所述控制信號輸出所述驅動電流；

所述升壓模塊還與所述直流電機連接，以向所述直流電機輸出所述驅動電流；

所述控制模塊于接收到的所述電流檢測信號在預設的所述置信時間區間內低于所述預設值時停止輸出所述控制信號，以停止所述升壓模塊輸出的所述驅動電流。

上述的晶圓研磨系統，其中，所述控制器包括一扭矩檢測模塊，一控制模塊和一升壓模塊；

所述扭矩檢測模塊與所述輸出軸連接，用于檢測并根據所述輸出軸上的扭矩輸出一扭矩檢測信號；

所述控制模塊與所述扭矩檢測模塊連接，用于接收并根據所述扭矩檢測信號輸出一控制信號；

所述升壓模塊與所述控制模塊連接，用于接收并根據所述控制信號輸出所述驅動電流；

所述升壓模塊還與所述直流電機連接，以向所述直流電機輸出所述驅動電流；

所述控制模塊于接收到的所述扭矩檢測信號在預設的所述置信時間區間內低于所述預設值時停止輸出所述控制信號，以停止所述升壓模塊輸出的所述驅動電流。

上述的晶圓研磨系統，其中，所述扭矩檢測模塊為扭矩傳感器。

一種晶圓研磨終點的控制方法，應用如上任意一項所述的晶圓研磨系統；包括：

步驟S1，將一研磨墊與一晶圓的表面接觸，以通過所述研磨墊的旋轉研磨所述晶圓；

步驟S2，將一直流電機的輸出軸與所述研磨墊連接，以驅動所述研磨墊旋轉；

步驟S3，將一控制器與所述直流電機連接，用于向所述直流電機輸出驅動電流以控制所述直流電機的工作，于所述輸出軸上的扭矩在一預設的置信時間區間內低于一預設值時，所述控制器停止輸出所述驅動電流。

上述的控制方法，其中，所述置信時間區間的起始時間點的范圍在16s～18s之間。

上述的控制方法，其中，將所述直流電機的啟動控制在所述置信時間區間之前完成。

有益效果：本發明提出的一種晶圓研磨系統以及晶圓研磨終點的控制方法能夠縮小同一批次的晶圓的研磨厚度的差異，以及降低技術人員的工作量，以提高晶圓產品的合格率。

附圖說明

圖1為本發明一實施例中晶圓研磨系統的結構示意圖；

圖2為本發明一實施例中晶圓研磨系統的結構示意圖；

圖3為本發明一實施例中晶圓研磨系統的部分結構示意圖；

圖4為本發明一實施例中晶圓研磨終點的控制方法的步驟流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明進行進一步說明。

在一個較佳的實施例中，如圖1所示，提出了一種晶圓研磨系統，應用于研磨表面為氧化層的晶圓；包括：

研磨墊10，用于與晶圓的表面接觸，以通過旋轉研磨晶圓；

直流電機20，包括一輸出軸21；輸出軸與研磨墊連接，用于驅動研磨墊旋轉；

控制器30，與直流電機20連接，用于向直流電機輸出驅動電流以控制直流電機20的工作；

控制器30于檢測到輸出軸21上的扭矩在一預設的置信時間區間內低于一預設值時停止輸出驅動電流。

在一個較佳的實施例中，控制器30通過檢測直流電機20的電流來檢測輸出軸上的扭矩。

上述實施例中，優選地，如圖2所示，控制器30包括一電流檢測模塊31，一控制模塊32和一升壓模塊33；

電流檢測模塊31與直流電機20連接，用于檢測直流電機20的工作電流并根據工作電流輸出一電流檢測信號；

控制模塊32與電流檢測模塊31連接，用于接收并根據電流檢測信號輸出一控制信號；

升壓模塊33與控制模塊32連接，用于接收并根據控制信號輸出驅動電流；

升壓模塊33還與直流電機20連接，以向直流電機20輸出驅動電流；

控制模塊32于接收到的電流檢測信號在預設的置信時間區間內低于預設值時停止輸出控制信號，以停止升壓模塊33輸出的驅動電流。

在一個較佳的實施例中，如圖3所示，控制器30包括一扭矩檢測模塊41，一控制模塊42和一升壓模塊43；

扭矩檢測模塊41與輸出軸21連接，用于檢測并根據輸出軸21上的扭矩輸出一扭矩檢測信號；

控制模塊42與扭矩檢測模塊41連接，用于接收并根據扭矩檢測信號輸出一控制信號；

升壓模塊43與控制模塊42連接，用于接收并根據控制信號輸出驅動電流；

升壓模塊43還與直流電機20連接，以向直流電機20輸出驅動電流；

控制模塊42于接收到的扭矩檢測信號在預設的置信時間區間內低于預設值時停止輸出控制信號，以停止升壓模塊43輸出的驅動電流。

上述實施例中，優選地，扭矩檢測模塊41為扭矩傳感器。

除了上述的晶圓研磨系統，本發明還提出了一種晶圓研磨終點的控制方法，可以應用如上任意一項的晶圓研磨系統；如圖4所示，可以包括：

步驟S1，將一研磨墊與一晶圓的表面接觸，以通過研磨墊的旋轉研磨晶圓；

步驟S2，將一直流電機的輸出軸與研磨墊連接，以驅動研磨墊旋轉；

步驟S3，將一控制器與直流電機連接，用于向直流電機輸出驅動電流以控制直流電機的工作，于輸出軸上的扭矩在一預設的置信時間區間內低于一預設值時，控制器停止輸出驅動電流。

在一個較佳的實施例中，置信時間區間的起始時間點的范圍在16s～18s之間。

在一個較佳的實施例中，將直流電機的啟動控制在置信時間區間之前完成。

綜上所述，本發明提出的一種晶圓研磨系統以及晶圓研磨終點的控制方法能夠縮小同一批次的晶圓的研磨厚度的差異，以及降低技術人員的工作量，以提高晶圓產品的合格率。

通過說明和附圖，給出了具體實施方式的特定結構的典型實施例，基于本發明精神，還可作其他的轉換。盡管上述發明提出了現有的較佳實施例，然而，這些內容并不作為局限。

對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本發明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內任何和所有等價的范圍與內容，都應認為仍屬本發明的意圖和范圍內。