1.一種晶圓研磨系統，應用于研磨表面為氧化層的晶圓；其特征在于，包括：
研磨墊，用于與所述晶圓的表面接觸，以通過旋轉研磨所述晶圓；
直流電機，包括一輸出軸；所述輸出軸與所述研磨墊連接，用于驅動所述研磨墊旋轉；
控制器，與所述直流電機連接，用于向所述直流電機輸出驅動電流以控制所述直流電機的工作；
所述控制器于檢測到所述輸出軸上的扭矩在一預設的置信時間區(qū)間內低于一預設值時停止輸出所述驅動電流。
2.根據權利要求1所述的晶圓研磨系統，其特征在于，所述控制器通過檢測所述直流電機的電流來檢測所述輸出軸上的扭矩。
3.根據權利要求2所述的晶圓研磨系統，其特征在于，所述控制器包括一電流檢測模塊，一控制模塊和一升壓模塊；
所述電流檢測模塊與所述直流電機連接，用于檢測所述直流電機的工作電流并根據所述工作電流輸出一電流檢測信號；
所述控制模塊與所述電流檢測模塊連接，用于接收并根據所述電流檢測信號輸出一控制信號；
所述升壓模塊與所述控制模塊連接，用于接收并根據所述控制信號輸出所述驅動電流；
所述升壓模塊還與所述直流電機連接，以向所述直流電機輸出所述驅動電流；
所述控制模塊于接收到的所述電流檢測信號在預設的所述置信時間區(qū)間內低于所述預設值時停止輸出所述控制信號，以停止所述升壓模塊輸出的所述驅動電流。
4.根據權利要求1所述的晶圓研磨系統，其特征在于，所述控制器包括一扭矩檢測模塊，一控制模塊和一升壓模塊；
所述扭矩檢測模塊與所述輸出軸連接，用于檢測并根據所述輸出軸上的扭矩輸出一扭矩檢測信號；
所述控制模塊與所述扭矩檢測模塊連接，用于接收并根據所述扭矩檢測信號輸出一控制信號；
所述升壓模塊與所述控制模塊連接，用于接收并根據所述控制信號輸出所述驅動電流；
所述升壓模塊還與所述直流電機連接，以向所述直流電機輸出所述驅動電流；
所述控制模塊于接收到的所述扭矩檢測信號在預設的所述置信時間區(qū)間內低于所述預設值時停止輸出所述控制信號，以停止所述升壓模塊輸出的所述驅動電流。
5.根據權利要求4所述的晶圓研磨系統，其特征在于，所述扭矩檢測模塊為扭矩傳感器。
6.一種晶圓研磨終點的控制方法，應用如權利要求1～5任意一項所述的晶圓研磨系統；其特征在于，包括：
步驟S1，將一研磨墊與一晶圓的表面接觸，以通過所述研磨墊的旋轉研磨所述晶圓；
步驟S2，將一直流電機的輸出軸與所述研磨墊連接，以驅動所述研磨墊旋轉；
步驟S3，將一控制器與所述直流電機連接，用于向所述直流電機輸出驅動電流以控制所述直流電機的工作，于所述輸出軸上的扭矩在一預設的置信時間區(qū)間內低于一預設值時，所述控制器停止輸出所述驅動電流。
7.根據權利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述置信時間區(qū)間的起始時間點的范圍在16s～18s之間。
8.根據權利要求6所述的控制方法，其特征在于，將所述直流電機的啟動控制在所述置信時間區(qū)間之前完成。