技術總結
本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種晶圓研磨系統以及晶圓研磨終點的控制方法，將一研磨墊與一晶圓的表面接觸，以通過研磨墊的旋轉研磨晶圓，將一直流電機的輸出軸與研磨墊連接，以驅動研磨墊旋轉，將一控制器與直流電機連接，用于向直流電機輸出驅動電流以控制直流電機的工作，于輸出軸上的扭矩在一預設的置信時間區間內低于一預設值時，控制器停止輸出驅動電流；上述技術方案能夠縮小同一批次的晶圓的研磨厚度的差異，以及降低技術人員的工作量，以提高晶圓產品的合格率。

技術研發人員：桂輝輝;周小紅;閔源;楊俊鋮;萬先進
受保護的技術使用者：武漢新芯集成電路制造有限公司
文檔號碼：201611170706
技術研發日：2016.12.16
技術公布日：2017.03.08