技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種碳化硅沉積設(shè)備的進(jìn)氣裝置，包括MTS儲(chǔ)液罐、混合罐和緩沖罐，MTS儲(chǔ)液罐上設(shè)有氫氣輸入管道，氫氣輸入管道開口伸入到MTS液位下方，MTS儲(chǔ)液罐的頂部還設(shè)有儲(chǔ)液罐排氣口，儲(chǔ)液罐排氣口通過第一管道與混合罐的第一進(jìn)氣口相連，混合罐還設(shè)有第二進(jìn)氣口，第二進(jìn)氣口用于輸入氬氣，混合罐設(shè)有混合罐排氣口，混合罐排氣口通過第二管道與緩沖罐的進(jìn)氣口相連，緩沖罐設(shè)有緩沖罐排氣口，緩沖罐排氣口通過第三管道與碳化硅沉積設(shè)備的爐體相連。本發(fā)明的進(jìn)氣裝置，設(shè)置混合罐和緩沖罐，工藝氣體經(jīng)過兩個(gè)罐體之后可以減小壓力波動(dòng)，氣體的壓力也更容易控制。

技術(shù)研發(fā)人員：戴煜;胡祥龍;周岳兵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖南頂立科技有限公司
文檔號(hào)碼：201611177540
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.19
技術(shù)公布日：2017.02.22