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蒸鍍設備的制作方法

文檔序號:12251397閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明涉及顯示器制備技術領域,公開了一種蒸鍍設備,用以減少遮擋板上的有機材料進入蒸發源和坩堝內現象的發生,提高蒸發源的使用壽命和坩堝內材料的品質。蒸鍍設備,包括:蒸鍍腔室,位于蒸鍍腔室內的蒸發源,位于蒸發源內的坩堝,位于蒸鍍腔室內、且可繞自身軸線旋轉的轉軸,與轉軸固定連接的遮擋板,遮擋板可旋轉至蒸發源的上方;還包括:位于遮擋板朝向坩堝的一側的棘輪機構,棘輪機構中的棘爪與轉軸固定連接,棘輪機構中的棘輪盤樞裝于轉軸;與棘輪機構的棘輪盤固定連接的托盤。

技術研發人員:付文悅;張鑫狄
受保護的技術使用者:京東方科技集團股份有限公司
文檔號碼:201611193856
技術研發日:2016.12.21
技術公布日:2017.02.22

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