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特種金屬材料提純系統的制作方法

文檔序號:11836291閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種特種金屬材料提純系統,其特征在于:系統結構包括腔體(1)、坩堝及磁場移出機構(2)、爐蓋升降系統(3)、電子槍系統(4)、真空系統(5)和冷卻系統(D),腔體(1)上下左右四面開口,上面連接爐蓋升降系統(3),下面連接真空系統(5),左面連接坩堝及磁場移出機構(2),右面連接電子槍系統(4),系統整體布局分為四大部分,包括主爐體鎧甲手套箱(A)、電子槍真空手套箱(B)、真空泵真空手套箱(C)和冷卻系統(D),腔體(1)、坩堝及磁場移出機構(2)和爐蓋升降系統(3)位于主爐體鎧甲手套箱(A)內,電子槍系統(4)位于電子槍真空手套箱(B)內,真空系統(5)位于真空泵真空手套箱(C)內,冷卻系統(D)設置于三個手套箱外圍。

2.根據權利要求1所述的一種特種金屬材料提純系統,其特征在于:

所述腔體(1)采用倒T型結構,下面是臥式圓筒腔體,上部是立式圓筒腔體,腔體壁采用雙層水冷結構,腔體內安裝有爐蓋(11)、收集板(12)、束形器(13)、坩堝(14)和磁場(15),坩堝(14)和磁場(15)位于腔體(1)正中心,束形器(13)和收集板(12)安裝在立式圓筒腔體爐蓋(11)上,束形器(13)上纏繞金屬電阻絲,以保證束形器溫度控制在630度,收集板(12)中間通入氦氣冷卻,收集板(12)中心設置PT100型熱電偶,保證收集板(12)溫度20--200度溫度可調可控,此外在臥式圓筒形腔體外部靠近電子槍系統(4)處安裝有測溫口和視頻觀察口(16),便于觀察和測溫,在立式圓筒形腔體外部安裝有安全閥(17),安全閥(17)可以設置1.5--2.0公斤壓力。

3.根據權利要求1所述的一種特種金屬材料提純系統,其特征在于:

所述坩堝及磁場移出機構(2)由側爐門支架(21)、電動傳動機構(22)、主支撐導軌(23)、輔助導軌(24)等組成,可以實現手動自動切換。

4.根據權利要求1所述的一種特種金屬材料提純系統,其特征在于:

所述爐蓋升降系統(3)結構包括升降電機(31)、底座(32)、絲杠套(33)、絲杠(34)和連接板(35),連接板(35)連接絲杠(34)和爐蓋(11)。

5.根據權利要求1所述的一種特種金屬材料提純系統,其特征在于:

所述電子槍系統(4)由電動真空插板隔閥(41)、電子槍(42)、運轉車(43)和運轉導軌(44)組成,腔體(1)上有電子槍系統(4)安裝接口,接口處配備電動真空插板隔閥(41),通過電動真空插板隔閥(41)把腔體(1)和電子槍系統(4)連接起來,電子槍(42)下端配備運轉車(43),運轉車(43)卡裝在運轉導軌(44)上。

6.根據權利要求1所述的一種特種金屬材料提純系統,其特征在于:所述真空系統(5)由渦旋干泵(51)、分子泵(52)、電動插板閥(53)、過濾器(54)和調整機構(55)組成,真空系統(5)位于腔體(1)正下方,分子泵(52)與腔體(1)直接連接,通過電動插板閥(53)實現真空系統(5)與腔體(1)的通斷。

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