本實用新型涉及汽車玻璃表面鍍膜領域，尤其是汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備。
背景技術：
現有汽車玻璃有透光和隔熱兩個基本功能，但是這些有限的原有性能已經不能滿足不斷提高的舒適度現實需求。作為改進的方法之一，陽光控制膜和低輻射膜部分的彌補了普通玻璃在這一方面的不足。
汽車出廠銷售前均未對車窗玻璃鍍膜，而用戶往往基于舒適性要求都會對車窗采用外加貼膜的辦法來處理，但是由于駕乘人員在車輛使用過程中需要頻繁升降側擋車窗玻璃，如果遮陽膜抗磨性能不佳，會使遮陽膜表面產生大量劃痕，進而破壞遮陽膜產品結構，影響其光學性能和力學性能，降低了駕乘人員的舒適性和安全性。
另一方面，相關的玻璃鍍膜技術卻已經發展到較高水平，其中的Low-E玻璃尤為重要，Low-E玻璃即Low Emissivity Glass的簡稱，即低輻射玻璃。在玻璃上鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃，這種工藝在少量汽車玻璃上也有一定范圍的應用。
在現有的磁控濺射鍍膜生產線中，通常是通過一呈板狀長方體結構的磁體來提供磁場，雖然磁控濺射的技術日趨成熟，但是其仍存在眾多的缺陷，一方面，由于板狀長方體結構的磁體本身的磁場分布是不均勻的，造成了靶材所處區域的磁場分布不均勻，使得在二極濺射中的二次電子的運動不穩定及分布不均勻，最終導致待鍍膜的玻璃基片的鍍膜分布不均勻及鍍膜厚度不一致，從而嚴重影響了玻璃基片的鍍膜質量及合格率；另一方面，由于磁體相對于靶材往往是呈固定設置的，無法移動，對于靶材面積較大而磁體所產生的磁場較小的情況時，則使得靶材的利用率和濺射范圍受到限制，無法充分利用靶材，對未處于磁場作用區域內的靶材造成浪費，且很大的制約了玻璃基片鍍膜的加工效率，且也會對玻璃基片的鍍膜質量及合格率產生一定的不良影響；再者，現有的磁控濺射鍍膜生產線還存在結構復雜、鍍膜加工效率低、玻璃基片鍍膜加工成本高、工藝通用性差及無法滿足大批量的生產需求的缺點。
目前，由于沒有適用的連續磁控濺射生產工藝和設備而不能夠在玻璃表面沉積功能性薄膜。
技術實現要素：
本實用新型的目的是提供一種汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設 備，以解決復合膜系磁控濺射連續生產缺乏專用設備的技術問題。
本實用新型的目的將通過以下技術措施來實現：進料段由前向后上依次連接一組初真空腔體、低真空腔體、中真空腔體和高真空腔體，同時對稱地，出料段上由前向后依次連接另一組高真空腔體、中真空腔體、低真空腔體和初真空腔體，在進料段高真空腔體和出料段高真空腔體之間通過中段至少一部高真空腔體連續連接至少二部濺射腔體，輸送導軌貫穿安裝在其中，輸送導軌為立式輸送機構，進料段前端初真空腔體上安裝進料閥門，出料段后端初真空腔體上安裝出料閥門。
尤其是，在相鄰的二部初真空腔體、低真空腔體、中真空腔體、高真空腔體或濺射腔體之間連接過渡連接腔體，過渡連接腔體內安裝隔閥。
尤其是，濺射腔體與待加工玻璃外形相適應的仿形結構。
尤其是，濺射腔體內均布有多組陰極，該陰極為中頻濺射陰極。
尤其是，濺射腔體的外壁上安裝有鉸鏈連接的開合門。
尤其是，進料段和出料段的初真空腔體、低真空腔體、中真空腔體和高真空腔體分別間隔安裝有鉸鏈連接的開合門。
尤其是，濺射腔體安裝有薄膜濺射沉積觀察窗口。
本實用新型的優點和效果：通過在進料段和出料段分別對稱布置初抽低真空腔體組、中真空腔體組和高真空腔體組以前后銜接中段布置的多部薄膜濺射沉積腔體組支持生產線，同時合理控制溫度和玻璃的輸送速度，完成對汽車玻璃的連續磁控濺射鍍膜工藝，從而在玻璃基片形成復合介質膜層，尤其適用于制備全介質膜系陽光選擇節能玻璃，整個鍍膜過程連續化生產，工藝可控，生產效率和產品合格率較高；具有成本低、膜層材料與基體玻璃結合牢、耐侯性強，無廢氣產生等優勢；有益于推廣應用。沉積薄膜后的玻璃的可見光透過率為大于76％，整個風擋玻璃面無明顯的光學色差，光學畸變小于3′，具有極高的抗酸耐堿性和耐磨性，因此具有較長的使用壽命。
附圖說明
圖1為本實用新型實施例1結構示意圖。汽車玻璃立式磁控線結構示意圖
附圖標記包括：進料閥門1、開合門2、輸送導軌3、初真空腔體4、隔閥5、低真空腔體6、中真空腔體7、高真空腔體8、濺射腔體9、陰極10、玻璃11、出料閥門12。
具體實施方式
本實用新型原理在于，整條連續生產線包括進料段和出料段的初抽低真空腔體組、中真空腔體組、高真空腔體組以及連接于進料段和出料段之間的至少二部薄膜濺射沉積腔 體組；輸送導軌3貫穿安裝在其中，輸送導軌3為立式輸送機構。
采用本實用新型提供的制備方法制備得到的陽光控制鍍膜玻璃，能實現鍍膜玻璃透射比為25％；遮陽系數Sc為0.56；顏色均勻性為△E*ab≤2.0；耐磨性為1.23，膜層均勻無脫膜；耐酸性為0.3％，膜層無明顯變化，產品的各方面性能指標均優于國家標準。
以下結合實施例對本實用新型座進一步解釋說明。
本實用新型中，所有各種形狀的汽車玻璃在生產線腔體內采用立式安裝形式，通過傳動輸送機構，按照生產節拍依次通過各薄膜濺射沉積腔體。玻璃立式安裝輸送機構可以實現根據不同的汽車玻璃尺寸自由調節玻璃的安裝固定方式，并且能平穩的按照與汽車風擋玻璃共形的要求穩定、均勻、一致的連續通過各個腔體。
下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
以下結合附圖和具體實施例，更具體地說明本實用新型的內容，并對本實用新型作進一步闡述，但這些實施例絕非對本實用新型有任何限制。
實施例1：如附圖1所示，初抽低真空腔體組為初真空腔體4和低真空腔體6、中真空腔體組為中真空腔體7、高真空腔體組為高真空腔體8，薄膜濺射沉積腔體組為濺射腔體9；進料段由前向后上依次連接一組初真空腔體4、低真空腔體6、中真空腔體7和高真空腔體8，同時對稱地，出料段上由前向后依次連接另一組高真空腔體8、中真空腔體7、低真空腔體6和初真空腔體4，在進料段高真空腔體8和出料段高真空腔體8之間通過中段至少一部高真空腔體8連續連接至少二部濺射腔體9，輸送導軌3貫穿安裝在其中，輸送導軌3為立式輸送機構，進料段前端初真空腔體4上安裝進料閥門1，出料段后端初真空腔體4上安裝出料閥門12。
前述中，在相鄰的二部初真空腔體4、低真空腔體6、中真空腔體7、高真空腔體8或濺射腔體9之間連接過渡連接腔體，過渡連接腔體內安裝隔閥5。
前述中，濺射腔體9與待加工玻璃外形相適應的仿形結構。濺射腔體9采用與汽車風擋玻璃形狀互相一致的外形結構，有利于玻璃表面沉積的薄膜均勻一致，實現薄膜沉積后的汽車玻璃無光學色差和最低的光學畸變。
前述中，濺射腔體9內均布有多組陰極10，該陰極10為中頻濺射陰極，以便于根據整個膜系的配置要求和生產過程的總體控制，實現靈活的安裝陰極靶材材料。
前述中，濺射腔體9的外壁上安裝有鉸鏈連接的開合門2，以便于陰極10相關設施和輸送導軌3等傳動輸送機構設施的安裝和設備的維護檢修。
前述中，進料段和出料段的初真空腔體4、低真空腔體6、中真空腔體7和高真空腔 體8分別間隔安裝有鉸鏈連接的開合門2，以便于輸送導軌3等傳動輸送機構設施的安裝和設備的維護檢修。
前述中，濺射腔體9安裝有薄膜濺射沉積觀察窗口，以便于生產過程中實時監測傳動輸送機構的運行情況、濺射陰極的穩定性和玻璃表面薄膜的沉積狀況。
在本實施例中，經過實測：生產線對七座的商務車前風擋玻璃鍍膜，玻璃輸送的速度為3m/min，本底真空抽到2×10-4Pa,通入工藝氣體到0.15Pa，進行連續濺射沉積。沉積薄膜后的玻璃的可見光透過率為大于76％，整個風擋玻璃面無明顯的光學色差，光學畸變小于3′。
生產線對普通的家用乘用車前風擋玻璃鍍膜，玻璃輸送的速度為4m/min，本底真空抽到1.5×10-4Pa,通入工藝氣體到0.13Pa，進行連續濺射沉積。沉積薄膜后的玻璃的可見光透過率為大于76.8％，整個風擋玻璃面無明顯的光學色差，光學畸變小于2′。
生產線對對普通的家用乘用車前風擋玻璃鍍膜，玻璃輸送的速度為3m/min，本底真空抽到2×10-4Pa,通入工藝氣體到0.16Pa，進行連續濺射沉積。沉積薄膜后的玻璃的可見光透過率為大于78％，整個風擋玻璃面無明顯的光學色差，光學畸變小于2′。
在本實施例中，汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備生產周期：60s；產能：年產量大于200萬平方米；玻璃最大規格：9000mm×2540mm；膜層均勻性：在有效沉積區域內，膜層厚度均勻性≤±5％；陰極結構：采用中頻孿生旋轉陰極，平面陰極等；輸送導軌3傳動方式：采用滾輪結構；鍍膜工藝實現方式：陽光選擇全介質膜系產品，以及熱反射鏡鍍膜產品、可鋼化熱反射鏡產品、單銀低輻射膜產品、雙銀低輻射膜產品和可鋼化單銀雙銀低輻射膜產品等；控制系統：控制系統能實現人、機對話，及時對生產過程進行必要干預。運行過程有報警提示和故障顯示，故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。
在本實施例中，技術參數包括：
1)極限真空壓力：6×1 0E-4Pa
2)平均生產周期：根據產品確定
3)基片架尺寸：可以根據要求定做
4)膜層均勻性:±3％
在本實施例中，制備得到的連續鍍膜玻璃對可見光的透射比為25％；遮陽系數Sc為0.56；顏色均勻性為△E*ab≤2.0；耐磨性為1.23，膜層均勻無脫膜；耐酸性為0.3％，膜層無明顯變化；耐堿性為0.7％，膜層無明顯變化。
本實用新型，所有各種形狀的汽車玻璃在生產線腔體內采用立式安裝形式，待加工的玻璃10立式安裝在輸送機構的輸送導軌3上，可以實現根據不同的汽車玻璃尺寸自由調節玻璃的安裝固定方式，可用于在任何規格尺寸的汽車玻璃表面沉積多種功能薄膜。
以上所述的僅是本實用新型的一種實施方式。本領域技術人員在本說明書的啟示下對本實用新型實施例中所作的任何變動都將屬于本實用新型權利要求書的范圍內。比如：濺射腔體9的數量可根據需要靈活決定；隔閥5選型；生產線布置形狀；開合門2與進料閥門1或出料閥門12的相對位置可根據需要靈活設置。