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汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備的制作方法

文檔序號:11836381閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備,其特征在于,進料段由前向后上依次連接一組初真空腔體(4)、低真空腔體(6)、中真空腔體(7)和高真空腔體(8),同時對稱地,出料段上由前向后依次連接另一組高真空腔體(8)、中真空腔體(7)、低真空腔體(6)和初真空腔體(4),在進料段高真空腔體(8)和出料段高真空腔體(8)之間通過中段至少一部高真空腔體(8)連續連接至少二部濺射腔體(9),輸送導軌(3)貫穿安裝在其中,輸送導軌(3)為立式輸送機構,進料段前端初真空腔體(4)上安裝進料閥門(1),出料段后端初真空腔體(4)上安裝出料閥門(12)。

2.如權利要求1所述的汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備,其特征在于,在相鄰的二部初真空腔體(4)、低真空腔體(6)、中真空腔體(7)、高真空腔體(8)或濺射腔體(9)之間連接過渡連接腔體,過渡連接腔體內安裝隔閥(5)。

3.如權利要求1所述的汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備,其特征在于,濺射腔體(9)與待加工玻璃外形相適應的仿形結構。

4.如權利要求1所述的汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備,其特征在于,濺射腔體(9)內均布有多組陰極(10),該陰極(10)為中頻濺射陰極。

5.如權利要求1所述的汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備,其特征在于,濺射腔體(9)的外壁上安裝有鉸鏈連接的開合門(2)。

6.如權利要求1所述的汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備,其特征在于,進料段和出料段的初真空腔體(4)、低真空腔體(6)、中真空腔體(7)和高真空腔體(8)分別間隔安裝有鉸鏈連接的開合門(2)。

7.如權利要求1所述的汽車玻璃立式多腔共形復合膜系連續磁控濺射生產設備,其特征在于,濺射腔體(9)安裝有薄膜濺射沉積觀察窗口。

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