本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種噴砂機(jī)，還涉及一種噴砂生產(chǎn)線。

背景技術(shù)：

噴砂機(jī)主要應(yīng)用于電子制造業(yè)半導(dǎo)體大功率可控硅芯片加工用的一種專用設(shè)備。噴砂機(jī)是采用壓縮空氣為動(dòng)力，以形成高速噴射束將噴料高速噴射到被需處理硅片表面，使硅片表面的外表面的機(jī)械性能發(fā)生變化的一種機(jī)器。其工作原理是以壓縮空氣為動(dòng)力，通過(guò)氣流的高速運(yùn)動(dòng)在噴槍內(nèi)形成的負(fù)壓，將磨料通過(guò)輸砂管吸入噴槍并經(jīng)噴嘴噴出，噴射到被加工表面，達(dá)到預(yù)期的加工目的。

目前現(xiàn)有的噴砂機(jī)的噴嘴僅一個(gè)，經(jīng)過(guò)噴嘴噴出的磨料流量少，一次僅能夠?qū)σ粋€(gè)硅片進(jìn)行加工，其生產(chǎn)效率較低，且產(chǎn)品質(zhì)量難以保證。

綜上所述，如何有效地解決噴砂機(jī)生產(chǎn)效率低、產(chǎn)品質(zhì)量難以保證的問(wèn)題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型的第一個(gè)目的在于提供一種噴砂機(jī)，以解決噴砂機(jī)生產(chǎn)效率低、產(chǎn)品質(zhì)量難以保證的問(wèn)題。本實(shí)用新型的第二個(gè)目的是提供一種包括噴砂機(jī)的生產(chǎn)線。

為了達(dá)到上述第一個(gè)目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種噴砂機(jī)，包括機(jī)架和設(shè)置于所述機(jī)架上的噴砂室，所述噴砂室內(nèi)設(shè)置有用于帶動(dòng)工件旋轉(zhuǎn)的傳動(dòng)裝置，所述機(jī)架上設(shè)置有噴嘴，所述噴嘴的個(gè)數(shù)至少為兩個(gè)，至少兩個(gè)所述噴嘴的噴射方向不同。

優(yōu)選地，在上述噴砂機(jī)中，所述傳動(dòng)裝置的個(gè)數(shù)為多個(gè)。

優(yōu)選地，在上述噴砂機(jī)中，所述傳動(dòng)裝置具體為聯(lián)軸器。

優(yōu)選地，在上述噴砂機(jī)中，各個(gè)所述噴嘴的噴射方向可調(diào)。

優(yōu)選地，在上述噴砂機(jī)中，還包括與所述噴砂室連接的砂箱振動(dòng)裝置，所述砂箱振動(dòng)裝置包括調(diào)壓過(guò)濾器。

本實(shí)用新型提供的噴砂機(jī)包括機(jī)架和噴砂室，噴砂室設(shè)置于機(jī)架上。其中，噴砂室內(nèi)設(shè)置有用于帶動(dòng)工件旋轉(zhuǎn)的傳動(dòng)裝置，機(jī)架上設(shè)置有噴嘴，噴嘴的個(gè)數(shù)至少為兩個(gè)，至少兩個(gè)所述噴嘴的噴射方向不同。

應(yīng)用本實(shí)用新型提供的噴砂機(jī)時(shí)，將工件放置在模座上，傳動(dòng)裝置帶動(dòng)工件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，機(jī)架上的噴嘴的個(gè)數(shù)至少為兩個(gè)，至少兩個(gè)噴嘴的噴射方向不同。在作業(yè)時(shí)，可根據(jù)工件的位置調(diào)整好噴嘴的磨削角度，一個(gè)噴嘴磨削硅片邊緣，另一個(gè)噴嘴磨削硅片根部，使每批次硅片噴磨角度一致，有效地保證了產(chǎn)品質(zhì)量，至少兩個(gè)噴嘴同時(shí)噴磨，縮短單片的噴磨時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

為了達(dá)到上述第二個(gè)目的，本實(shí)用新型還提供了一種噴砂機(jī)的生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線包括上述任一種噴砂機(jī)，由于上述的噴砂機(jī)具有上述技術(shù)效果，具有該噴砂機(jī)的噴砂生產(chǎn)線也應(yīng)具有相應(yīng)的技術(shù)效果。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴砂機(jī)的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴砂機(jī)的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴砂機(jī)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴砂機(jī)的噴砂振動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)記如下：

調(diào)節(jié)裝置1、機(jī)架2、噴砂室3、傳動(dòng)裝置4、砂箱振動(dòng)裝置5。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種噴砂機(jī)，以解決噴砂機(jī)生產(chǎn)效率低、產(chǎn)品質(zhì)量難以保證的問(wèn)題。

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1-圖4，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴砂機(jī)的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴砂機(jī)的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴砂機(jī)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴砂機(jī)的噴砂振動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

在一種具體的實(shí)施方式中，噴砂機(jī)包括機(jī)架2和噴砂室3。其中，噴砂室3設(shè)置于機(jī)架2上，噴砂室3內(nèi)設(shè)置有用于帶動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)的傳動(dòng)裝置4，機(jī)架2上可設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置1，調(diào)節(jié)裝置1上設(shè)置有噴嘴，用于噴出磨料，噴嘴的個(gè)數(shù)至少為兩個(gè)，至少兩個(gè)所述噴嘴的噴射方向不同。應(yīng)用本實(shí)用新型提供的噴砂機(jī)時(shí)，將工件放置在傳動(dòng)裝置4的模座中并固定，啟動(dòng)電源，傳動(dòng)裝置4帶動(dòng)工件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，通過(guò)電動(dòng)桿控制調(diào)節(jié)裝置1移動(dòng)到與工件相適應(yīng)的位置，調(diào)節(jié)裝置1上的噴嘴對(duì)工件進(jìn)行噴磨，噴嘴的個(gè)數(shù)至少為兩個(gè)，如在設(shè)置時(shí)可優(yōu)選為兩個(gè)，分別調(diào)整好兩個(gè)噴嘴的磨削角度，一個(gè)噴嘴磨削工件邊緣，另一個(gè)噴嘴磨削工件根部，使每批次產(chǎn)品噴磨角度是一致的，有效地保證了產(chǎn)品質(zhì)量，在其他實(shí)施例中，也可以設(shè)置三個(gè)噴嘴，其中至少兩個(gè)噴嘴的噴射方向不同，如可以兩個(gè)噴嘴噴射工件的邊緣，一個(gè)噴嘴噴射工件的根部，以保證對(duì)硅片進(jìn)行多角度全方位的研磨，至少兩個(gè)噴嘴同時(shí)研磨，縮短單片的噴磨時(shí)間，提高工作效率和生產(chǎn)質(zhì)量。

具體的，傳動(dòng)裝置4的個(gè)數(shù)為多個(gè)。為了更好地提高工作效率，傳動(dòng)裝置4的個(gè)數(shù)可以為多個(gè)，在一種實(shí)施例中，可具體為四個(gè)。一次磨削四個(gè)硅片，相應(yīng)的調(diào)節(jié)裝置1也為四個(gè)，傳動(dòng)裝置4和調(diào)節(jié)裝置1配合使用，使得一次磨削 的工件增多，提高工作效率，在其他實(shí)施例中，也可以更具噴砂機(jī)的尺寸、動(dòng)力裝置的功率自行進(jìn)行設(shè)置傳動(dòng)裝置4的個(gè)數(shù)。

更進(jìn)一步地，傳動(dòng)裝置4具體為聯(lián)軸器。聯(lián)軸器用來(lái)連接不同機(jī)構(gòu)中的兩根軸使之共同選擇以傳遞扭矩的機(jī)械零件，分別與主動(dòng)軸和從動(dòng)軸連接。采用電機(jī)、聯(lián)軸器的直接傳動(dòng)方式，降低運(yùn)行噪音。在其他實(shí)施例中，也可以選擇其他類型的傳動(dòng)裝置4，如鏈傳動(dòng)或齒輪傳動(dòng)等，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。

在上述各實(shí)施例的基礎(chǔ)上，各個(gè)噴嘴的噴射方向可調(diào)。一般的，可根據(jù)實(shí)際的工件的待加工角度對(duì)噴嘴的噴射方向進(jìn)行預(yù)先設(shè)置，然后再與機(jī)架連接，通過(guò)設(shè)置后對(duì)工件完成噴磨工藝。在其他實(shí)施例中，也可以設(shè)置控制裝置對(duì)各個(gè)噴嘴的噴射方向進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，根據(jù)加工過(guò)程中工件的噴磨情況改變噴嘴的噴射方向進(jìn)而完成對(duì)工件的噴磨，具體的，可根據(jù)實(shí)際的生成需要自行進(jìn)行選擇。

具體的，還包括與噴砂室3連接的砂箱振動(dòng)裝置5，砂箱振動(dòng)裝置5包括調(diào)壓過(guò)濾器。通過(guò)增加混合砂箱，氣體進(jìn)入砂箱筒后，使砂箱筒內(nèi)的研磨粉劑進(jìn)入混合砂箱，使高壓氣流與研磨粉劑有機(jī)混合，調(diào)壓過(guò)濾器由電磁閥進(jìn)行控制。振動(dòng)器對(duì)砂箱實(shí)施高頻振動(dòng)，同時(shí)控制研磨粉的流量，使混合砂箱產(chǎn)生高壓研磨噴流均勻、有力的對(duì)工件實(shí)施有效的磨削。

一般的，干潔的氣體經(jīng)過(guò)氣源三聯(lián)體后，經(jīng)電磁閥控制的砂箱經(jīng)噴嘴噴出，完成對(duì)工件的磨削。

具體的工作過(guò)程為：接入220V交流電源，電源指示燈亮；設(shè)定噴砂時(shí)間，按動(dòng)燈開關(guān)，工作室燈亮；選擇開關(guān)置手動(dòng)模式，將待加工工件裝入模座內(nèi)，按“向前”按鈕，電動(dòng)桿向前移動(dòng)到位，調(diào)節(jié)切削距離和切削角度；按“啟動(dòng)”按鈕，電機(jī)帶動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)，根據(jù)硅片大小調(diào)整電機(jī)轉(zhuǎn)速到指定轉(zhuǎn)速；將時(shí)間繼電器設(shè)定為工件所需加工的時(shí)間；調(diào)試完成，將選擇開關(guān)置自動(dòng)模式，按“啟動(dòng)”按鈕，自動(dòng)完成噴砂，打開噴砂室3門，更換四個(gè)工件，關(guān)閉噴砂室3門，自動(dòng)完成4個(gè)工件噴砂。該裝置降低工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，工作時(shí)噪聲小、無(wú)飛塵，符合工業(yè)環(huán)境衛(wèi)生要求，由于采用了電器調(diào)節(jié)噴磨距離及角度和定位磨片，工件噴磨均勻，一致性好，一批工件噴磨角度是一致的，有效地保證了產(chǎn)品質(zhì)量，提高工作效率。

基于上述實(shí)施例中提供的噴砂機(jī)，本實(shí)用新型還提供了一種噴砂生產(chǎn)線，該噴砂生產(chǎn)線包括上述實(shí)施例中任意一種噴砂機(jī)。由于該噴砂生產(chǎn)線采用了上述實(shí)施例中的噴砂機(jī)，所以該噴砂生產(chǎn)線的有益效果請(qǐng)參考上述實(shí)施例。

本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。