研磨刷的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種研磨刷，其對在表面上具有凹凸部的對象物也能適當地進行研磨。這種研磨刷是在研磨層的表面上具有由多個槽隔離的用于研磨被研磨物的表面的多個突起部的研磨刷，其中，上述槽的容積相對于研磨區域整體的體積是55～95％，進而，上述研磨刷的研磨層包含位于上述研磨刷的中心附近的第一區域和包圍上述第一區域的第二區域，在上述第一區域中，從上述第一區域的上述研磨層的上述槽的底部到上述突起部的頂面具有第一高度，在上述第二區域中，從上述第二區域的上述研磨層的上述槽的底部到上述突起部的頂面具有第二高度，上述第一高度和上述第二高度不同。
【專利說明】
研磨刷
技術領域
[0001]本實用新型涉及研磨刷，特別涉及在表面上具有凸部的被研磨物也能適當地進行研磨的研磨刷。
【背景技術】
[0002]以往，對于手機、智能手機，或平板型個人計算機的那樣的多功能型移動設備，或者音樂播放器、游戲設備，或產業用系統等各種各樣的小型攜帶型電子設備，為了謀求與其它的產品的差別化，在其外觀和外觀設計上采用了各種各樣的形狀。而且，近年來，作為小型攜帶電子設備的形狀，多采用使厚度具有變化的形狀，以便朝向外周使厚度減少并沿外周形成彎曲面的形狀。另外，通過采用這樣的形狀，除了使外觀設計性提高的效果以外，還能在設備的側面上也設置信息顯示部，或者設置操作按鈕等模塊，能使設計的自由度提高。
[0003]而且，在加工上述的那樣的使厚度具有變化的形狀的小型攜帶型電子設備的殼體等情況下，可以使用切削加工、模具成型的技術。
[0004]通過切削加工，在加工使厚度具有變化的形狀的情況下，使用球頭立銑刀，或者R狀鉆石刀具將工件切削成規定的形狀。但是，在使用球頭立銑刀的情況下，在加工面上，與球頭立銑刀的球徑相應地形成了圓弧形狀的切削痕。另外，在使用R狀鉆石刀具的情況下，因為需要由各自的切削工序形成平面和曲面，所以在平面和曲面的分界線上形成了臺階，不能加工成一樣的面。另外，在同樣地由模具成型使厚度具有變化的形狀的情況下，在與模具接觸的面整體上形成了受模具的表面質量影響的凹凸。
[0005]因此，作為除去由上述切削加工、模具成型產生的切削痕、臺階、凹凸的手段，需要在切削加工后使用專利文獻I記載的研磨襯墊進行工件即被研磨物的表面研磨。
[0006]在先技術文獻
[0007]專利文獻
[0008]專利文獻1:日本特開2014 —138974號公報
[0009]專利文獻I記載的研磨襯墊，是作為具備彈性襯墊、基底層及兩者之間的粘接層的多層構造形成的，當將被研磨物(工件)壓附在研磨襯墊上時，研磨襯墊追隨被研磨物的形狀進行變形。
【實用新型內容】
[0010]實用新型所要解決的課題
[0011]但是，近年來上述的那樣的手機、智能手機，或者平板型個人計算機的那樣的多功能型移動設備，或者音樂播放器、游戲設備，或產業用系統等各種各樣的小型攜帶型電子設備，存在在表面上由凸部形成制造商名、商標名的標識語的情況。除此以外，也存在如下的情況:在這些多功能型移動設備、小型攜帶型電子設備的殼體上，在收容被設置在這些設備上的操作按鈕等模塊的各部分的周圍也形成凸部。即，在多功能型移動設備、小型攜帶型電子設備的殼體上，除了一樣的面(平面部)以外，形成凸部的傾向變高。
[0012]這樣，在被研磨物的殼體面上形成了凸部的情況下，在專利文獻I記載的研磨襯墊中不能充分地追隨被研磨物的凸部的構造，其結果，存在著在研磨襯墊難以接觸的凸部的周圍產生研磨斑的問題。
[0013]因此，本實用新型是為了解決上述課題而做出的，其目的在于提供一種在表面上具有平面部和凸部的被研磨物也能適當地進行研磨的研磨刷。
[0014]為了解決課題的手段
[0015]為了解決上述課題，本實用新型是一種研磨刷，是在研磨層的表面上具有由多個槽隔離的用于研磨被研磨物的表面的多個突起部的研磨刷，其特征在于，上述槽的容積相對于研磨區域整體的體積是55?95%，進而，上述研磨刷的研磨層包含位于上述研磨刷的中心附近的第一區域和包圍上述第一區域的第二區域，在上述第一區域中，從上述第一區域的上述研磨層的上述槽的底部到上述突起部的頂面具有第一高度，在上述第二區域中，從上述第二區域的上述研磨層的上述槽的底部到上述突起部的頂面具有第二高度，上述第一高度和上述第二高度不同。
[0016]根據具備上述結構的本實用新型，因為在設置在研磨刷的第一區域上的突起部和設置在研磨刷的第二區域上的突起部中，具有不同的高度，所以突起部的由區域相對于被研磨物的追隨性不同。特別是因為在研磨刷的區域之中的突起部的高度大的一方的區域中，突起部的相對于被研磨物的追隨性高，所以能由研磨刷的突起部的高度小的區域研磨被研磨物的一樣的面，并且由研磨刷的突起部的高度大的區域研磨被研磨物的凸部，在表面上具有凸部的被研磨物也能適當地進行研磨。
[0017]另外，在本實用新型中，其特征在于，上述第二高度比上述第一高度大。
[0018]根據具備上述結構的本實用新型，因為與設置在研磨刷的第一區域上的突起部相比設置在研磨刷的第二區域上的突起部的一方對被研磨物的追隨性高，所以能由研磨刷的第一區域研磨被研磨物的一樣的面，并且由研磨刷的第二區域研磨被研磨物的凸部，在表面上具有凸部的被研磨物也能適當地進行研磨。
[0019]另外，在本實用新型中，上述研磨刷的研磨層還包含包圍上述第二區域的第三區域，在上述第三區域中，從上述第三區域的上述研磨層的上述槽的底部到上述突起部的頂面具有第三高度，上述第三高度比上述第二高度小。
[0020]根據這樣構成的本實用新型，因為與設置在研磨刷的第一區域及第三區域上的突起部相比，設置在研磨刷的第二區域上的突起部的一方相對于被研磨物的追隨性高，所以能由研磨刷的第一區域及第三區域研磨被研磨物的一樣的面，并且由研磨刷的第二區域研磨被研磨物的凸部，在表面上具有凸部的被研磨物也能適當地進行研磨。
[0021]另外，在本實用新型中，上述第三高度與上述第一高度相等。
[0022]根據這樣構成的本實用新型，因為將第一區域和第三區域同樣地形成，所以能由第一區域和第三區域進行更均質的研磨加工，在被研磨物表面中能得到更均質的被研磨面。
[0023]另外，在本實用新型中，在上述研磨層的各區域中，上述槽的開口面積相對于俯視上述研磨層時的投影面積分別是65.00?99.99%。
[0024]根據這樣構成的本實用新型，能充分地確保槽的開口面積，由此，能從槽相對于突起部供給足夠的量的料漿。
[0025]另外，在本實用新型中，在上述研磨層的各區域中，上述突起部的頂面分別被形成得平坦，全部的上述突起部的頂面的合計面積相對于俯視研磨刷時的投影面積是0.01?35.00%。
[0026]根據這樣構的本實用新型，能確保足夠的量的研磨面，由此，能抑制相對于被研磨物的研磨速度降低。
[0027]另外，在本實用新型中，在上述研磨層的各區域中，上述突起部分別具有從上述研磨層的表面延伸的多棱臺形狀，在相鄰的突起部彼此之間設置了規定的間隔。
[0028]根據這樣構成的本實用新型，通過將突起部的形狀做成多棱臺形，在突起部彼此的之間設置規定的間隔，在研磨時被研磨物進入突起部之間，由在突起部的側面上形成的斜面也能研磨被研磨物。
[0029]另外，在本實用新型中，上述研磨刷還具備沿上述研磨層的周緣以圍著上述研磨層的方式配置的框材。
[0030]根據這樣構成的本實用新型，因為以圍著研磨層的方式配置的框材起到堰的作用，所以能控制來自研磨層的料漿的流出。另外，能將料漿大量地保持在研磨刷中，能進一步提高研磨效率。
[0031]實用新型的效果
[0032]如上所述，根據本實用新型，在表面上具有凸部的被研磨物也能適當地進行研磨。
【附圖說明】

[0033]圖1是適用本實用新型的實施方式的研磨刷的單面研磨裝置的立體圖。
[0034]圖2是本實用新型的實施方式的研磨刷的俯視圖。
[0035]圖3是圖2的ΙΙΙ-ΙΙΓ截面的概要剖視圖。
[0036]圖4是本實用新型的實施方式的研磨刷的主要部分剖視圖。
[0037]圖5是概要地表示使用了本實用新型的實施方式的研磨刷的研磨時的狀態的主要部分剖視圖。
[0038]圖6是表示使用了本實用新型的實施方式的研磨刷的研磨方法的概要的俯視圖。
[0039]圖7是表示本實用新型的實施方式的研磨刷的制造方法的概要的主要部分剖視圖。
【具體實施方式】
[0040]為了實施實用新型的方式
[0041]下面，參照附圖，對本實用新型的實施方式的研磨刷進行說明。圖1是適用本實施方式的研磨刷的單面研磨裝置的立體圖。
[0042]如圖1所示，單面研磨機I具備將圓板狀的研磨刷3固定在上面上的研磨定盤5。在研磨定盤5的底上設置了軸7，研磨定盤5被構成為能繞軸7自轉。在研磨刷3之上，在從軸7的軸偏心的位置配置了研磨頭9。研磨頭9，具有用于保持被研磨物(工件)的保持板11，在研磨時，經保持板11將被研磨物壓附在研磨刷3上，對被研磨物施加規定的研磨壓。進而在研磨時，通過一邊由未圖示的料漿供給組件向研磨刷3上供給料漿一邊繞軸7進行自轉來研磨加工被研磨物。另外，在圖1中表示了一個研磨頭9，但也可以在研磨刷3上的空的部分上配置多個另外的研磨頭。
[0043]圖2是研磨刷的俯視圖，圖3是圖2的ΙΙΙ-ΙΙΓ截面的剖視圖。如圖2所示，在研磨刷3的上面上配置了研磨層15，此研磨層15具有位于研磨刷3的中心附近的圓形的第一區域15a、同心圓狀地包圍此第一區域15a的環狀的第二區域15b、進而同心圓狀地包圍第二區域15b的環狀的第三區域15c。在這些第一區域15a、第二區域15b、第三區域15c的各區域內，雖在圖2中未圖示，但形成了向研磨刷3的上面開口并從那里朝向研磨刷3內部具有規定的深度的多個槽(在第一區域15a、第二區域15b、第三區域15c的各區域中分別稱為槽13a、槽13b、槽13c，總稱為槽13)。另外，因為各槽的寬度相對于研磨刷3的尺寸充分小，所以在圖2中未圖示。由這些多個槽描繪的模樣也可以是格子狀。后述的多個突起部由這些多個槽隔離并確定。另外，在研磨刷3的研磨層15的周圍也可以設置控制料漿的流出的起到堰的作用的環狀的框材(未圖示)。通過設置這樣的框材，能將料漿大量地保持在研磨刷上，能進一步提高研磨效率。
[0044]第一區域15a的直徑、第二區域15b的寬度、第三區域15c的寬度，最好是分別根據被研磨物的大小改變。特別是，第二區域15b的寬度，最好是具有在被研磨物的研磨中能由第二區域15b研磨被研磨物具有的凸部的那樣的寬度。
[0045]如圖3所示，研磨刷3，例如是將由厚度I?6mm、半徑460mm的浸含樹脂無紡布或者發泡聚氨酯形成的研磨層15和由聚乙烯泡沫狀物片材、聚氨酯片材形成的緩沖層17層壓而形成，作為整體具有圓板形狀。研磨層15和緩沖層17，經具有PET(聚乙烯對苯二甲酸酯)、聚丙烯等可撓性薄膜的芯材的雙面膠帶或粘接劑等粘接層19相互粘合。而且，在緩沖層17中的未與研磨層15相向的一側的面上，粘貼了用于將研磨刷3粘貼在研磨定盤5上的雙面膠帶
21ο
[0046]圖4是研磨刷3的研磨層15之中的第一區域15a和第二區域15b的分界部附近的主要部分剖視圖。如圖4所示，在研磨刷3的研磨層15的第一區域15a及第二區域15b內，分別形成了由槽13a、13b隔離的多個突起部25a、25b。雖在圖4中未圖示，但在第三區域15c內也同樣地形成了多個突起部25c和槽13c。將突起部25a、25b、25c總稱為突起部25。即，本實用新型的研磨刷3的研磨層15的多個突起部25由連續的相同的原材料形成。
[0047]由設置成格子狀的槽13&、13以13(3確定了這些多個突起部25&、2513、25(3，這些槽13a、13b、13c，起到將料漿貯存在研磨區域內的作用。另外，所謂研磨區域，是指后面詳細敘述的處于研磨刷3的槽13的底部31和研磨面27之間的部分。
[0048]各突起部25a、25b、25c在表面上具有多個開孔(未圖示)，可由保持在開孔內的料漿和貯存在研磨區域內的料漿進行研磨加工。各突起部25a、25b、25c，從研磨層3的表面向從研磨定盤5離開的方向延伸。各突起部25a、25b、25c，例如具有四棱臺形狀，各突起部25a、25b、25c的各頂面27a、27b、27c(未圖示)，作為整體構成研磨刷3的研磨面27。另外，詳細情況后述，但做成四棱臺形狀的各突起部25a、25b、25 c的側面的傾斜面29a、29b、未圖示的傾斜面29c，在研磨時也具有研磨作用。
[0049]如圖4所示，在第一區域15a中，定義從研磨層15的槽13a的底部31a到突起部25a的頂面27a的第一高度Ha，另外定義突起部25a彼此的間隔Wa。在第二區域15b中，也定義從研磨層15的槽13b的底部31b到突起部25b的頂面27b的第二高度Hb，另外定義突起部25b彼此的間隔Wb。同樣，在未圖示的第三區域15c中，也定義從研磨層15的槽13c的底部31c到突起部25c的頂面27c的第三高度He，另外定義突起部25c彼此的間隔Wc。將底部31a、31b、31c總稱為底部31。
[0050]在本實用新型的研磨刷3中，最好是滿足Ha<Hb的關系。即，最好是第二高度比第一高度大。另外，在本實用新型的研磨刷3中，滿足了Hc<Hb的關系。即，第三高度比第二高度小。另外，關于Ha和He的關系，最好是Ha = Hc,即第一高度和第三高度相等，但既可以是Ha<Hc，也可以是Ha>Hc。如果第一高度和第三高度相等，則能由第一區域和第三區域進行更均質的研磨加工，在被研磨物表面中，能得到更均質的被研磨面。另外，雖未圖示，但作為本實施方式的變形例，也可以省略第三區域15c，由上述的第一區域及第二區域構成研磨刷3的研磨層15。
[0051]另一方面，關于本實用新型的研磨刷3的制造方法，參照圖7，如后述的那樣，此槽13是通過使相同的前端部的形狀的旋轉刃55—邊相對于研磨層15垂直地壓附一邊以規定深度移動切削形成。因此，上述的各間隔Wa、Wb、Wc由旋轉刃55的前端部的形狀確定。根據后述的制造方法，因為各區域的槽13使用相同的前端部的形狀的旋轉刃55形成，所以Wa、Wb、Wc相等。Wa、Wb、Wc以下總稱為間隔W。
[0052]通過使將旋轉刃55相對于研磨層15壓附的深度在第二區域15b中比在其它的區域中深，在關于通過切削成形形成的槽13a、槽13b、槽13c的第一高度Ha、第二高度Hb、第三高度He上產生差別。此時，因為在第二區域15b中，與其它的區域相比旋轉刃55被壓附得深，所以突起部25b的頂面27b與其它的突起部25a、25c的頂面27a、27c相比，由旋轉刃55的傾斜側面切削得多。因此，突起部25b的頂面27b的面積與其它的突起部25a、25c的頂面27a、27c的面積相比變小。即，突起部25b的頂面27b的形狀，成為與突起部25a、25c的頂面27a、27c的形狀不同的形狀，突起部25b與突起部25a、25c比較具有更細長的形狀。
[0053]通過具有這樣的結構，因為第二區域15b的突起部25b與第一區域15a的突起部25a及第三區域15c的突起部25c比較，具有更細長的形狀，所以與第一區域15a的突起部25a及第三區域15c的突起部25c相比，第二區域15b的突起部25b的相對于被研磨物33的追隨性提尚O
[0054]形成在研磨刷3上的槽13的合計容積，相對于研磨區域的體積占55?95%，最好是占60?90%，更好占65?85%。所謂研磨區域，是指處于研磨刷3的槽13的底部31和研磨面27之間的部分的區域。換言之，研磨區域的體積，是使俯視研磨刷3時的投影面積(使圓周率與研磨刷3的半徑的平方相乘了的值)和關于第一區域15a、第二區域15b、第三區域15c的各自從槽13(13&、1315、13(3)的底部31(313、3113、31(3)到研磨面27(頂面273、2713、27(3)的高度H(Ha、Hb、Hc)相乘并相加了的體積。而且，根據發明人等的認識，通過將槽13的容積相對于研磨區域整體的體積做成50?95%，能貯存足夠的量的料漿。各槽13a，13b，13c的寬度，隨著朝向底部而變得狹窄，但研磨刷3的研磨面27的高度中的槽13的開口面積，相對于俯視研磨刷3時的投影面積最好是65.00?99.99%。
[0055]另外，在第一區域15a中，突起部25a的高度Ha和突起部基部的水平截面形狀中的外接圓的半徑Ra之比Ha/Ra希望是0.3?2.0的范圍。只要是上述的范圍，則在對被研磨物33的追隨性上優異，在平滑性上優異。
[0056]另外，在第二區域15b中，突起部25b的高度Hb和突起部基部的截面形狀中的外接圓的半徑Rb之比Hb/Rb希望是0.5?3.0的范圍。只要是上述的范圍，則在對被研磨物33的追隨性上，特別是在對被研磨物33具有的凸部的追隨性上優異，在平滑性上優異。
[0057]另外，在第三區域15c中，突起部25c的高度He和突起部基部的截面形狀中的外接圓的半徑Re之比Hc/Rc希望是0.3?2.0的范圍。此比Hc/Rc的值，最好是與上述的比Ha/Ra的值相等，但只要是上述的范圍，則在對被研磨物33的追隨性上優異，在平滑性上優異。
[0058]另外，上述的槽13a、13b、13c的形狀，是與突起部25a、25b、25c的形狀互補的形狀，例如在將突起部25做成三棱臺并以描繪三角格子的方式配置的情況下，形成在突起部25的之間的槽13在研磨層15的表面中描繪三角格子。另外，在將突起部25做成六棱臺并以描繪六角格子的方式配置的情況下，槽在研磨層的表面中描繪六角格子。而且，突起部25的形狀，或者由槽13描繪的形狀，可以與要求的研磨速度、研磨面27的面積、槽13的容積相應地適當變更。
[0059]突起部25a、25b、25c，分別具有構成研磨面27的平坦的頂面27a、27b、27c和從各頂面傾斜地朝向槽13的底部31延伸的多個傾斜面29a、29b、29c(未圖示)。突起部25a、25b、25c的高度Ha、Hb、He，一邊滿足上述的HaCHb的關系及HcCHb的關系，一邊例如被做成I?5mm或者相對于研磨層15的厚度被做成30?90%，突起部25彼此的間隔W被做成2?5mm，構成研磨面27的頂面做成一邊0.1?5mm的正方形。Hb和Ha(及He)之差最好是1.0?3.0mm左右。研磨刷3的研磨面的面積是全部的突起部25的頂面的合計面積，研磨面27的面積相對于俯視研磨刷3時的投影面積最好是0.01?35.00%。通過將各突起部258、2513、25(3的高度他、!113、He、間隔W及面積做成上述范圍，能夠使突起部25的耐磨損性及研磨時的對被研磨物的形狀的追隨性提尚。
[0060]通過將槽13的面積及研磨面27的面積做成上述范圍，能夠謀求將足夠的量的料漿從槽13向研磨面27供給和確保足夠的量的研磨面27的兩全。
[0061 ] 另外，通過將槽13&、13以13(3的深度或者突起部25&、2513、25(3的高度他、肋、此做成上述范圍，將突起部25&、2513、25(:的頂面27&、2713、27(3分別做成一邊0.1?5111111的正方形，能一邊確保研磨時的突起部25的變形性一邊抑制突起部25破損和突起部25從研磨刷3上脫落。
[0062]圖5是表示研磨刷3的研磨層15的第一區域15a附近的研磨時的狀態的主要部分剖視圖。在圖5中，在研磨時，被研磨物33—邊壓附在頂面(即研磨面)27a上一邊在水平方向移動。在圖5的范圍外，被研磨物33—邊在第二區域15b中壓附在頂面27b上、在第三區域15c中壓附在頂面27c上一邊在水平方向移動。而且，多個突起部25之中的與被研磨物33接觸的突起部由被研磨物33壓縮，未與被研磨物33接觸的突起部沒有被壓扁，保持了原來的高度Ha(在第二區域15b中是Hb，在第三區域15c中是He)。而且，如圖5所示，被研磨物33，當在研磨屆IJ3上在水平方向移動時，與被壓縮的突起部25a的頂面27a及保持高度Ha的突起部25a的傾斜面29a接觸。這樣的動作，在第二區域15b、第三區域15c中也是同樣的。由此，能合適地研磨被研磨物33。
[0063]這樣，在研磨時在研磨層15的第一區域15a、第二區域15b、第三區域15c中產生同樣的接觸狀態，但因為第二區域15b的突起部25b的高度Hb，比第一區域15a及第三區域15c的突起部25a、25c的高度Ha、Hc大，第二區域15b的突起部25b與其它的區域的突起部25a、25c比較具有更細長的形狀，所以第二區域15b的突起部25b與第一區域15a的突起部25a及第三區域15c的突起部25c相比，相對于被研磨物33的追隨性高。參照圖6，如后述的那樣，通過將被研磨物33的凸部壓附在第二區域15b上，將被研磨物33的其它的區域(一樣的面)壓附在第一區域15a或者第三區域15c上進行研磨，由于對被研磨物33的一樣的面(平面部)進行研磨，并且也良好地追隨被研磨物33的凸部，所以也能適當地研磨在表面上具有凸部的被研磨物。
[0064]另外，此時，向研磨刷3供給的料楽，能通過多個槽13內遍布到研磨刷3的角落，將足夠的量的料漿向大致全部的突起部25的研磨面27供給。
[0065]如上所述，根據本實施方式的研磨刷3，能確保對獲得規定的研磨速度足夠的量的研磨面的面積，而且能將足夠的量的料漿保持在研磨刷3內。
[0066]關于具體的研磨方法，參照圖6說明如下。圖6是表示使用了本實用新型的實施方式的研磨刷的研磨方法的概要的俯視圖。如上所述，研磨刷3具有圓板形狀，被固定在研磨定盤5(未圖示)的上面上。研磨刷3的研磨層15具備位于研磨刷3的中心附近的第一區域15a、包圍第一區域的環狀的第二區域15b和包圍第二區域的環狀的第三區域15c。
[0067]另一方面，研磨頭9(在圖6中僅顯示從上面看到的輪廓線)，保持被研磨物33。在本實施方式中，作為被研磨物33，例如研磨具有凸部的殼體。此被研磨物33，例如如圖6所示，在中央部具有凸部35。此凸部35，具體地講，在攜帶型電子裝置中，包含具有被設置在殼體上的凸部的各部分的周圍的鼓出部等。
[0068]如圖6所示，一個研磨頭9保持一個被研磨物33。在本實施方式中，以被研磨物33的凸部35位于研磨頭9的中心部的方式配置被研磨物33。
[0069]在由研磨刷3研磨被研磨物33時，首先將研磨頭9相對于研磨刷3定位。此定位，通過被保持在研磨頭9上的被研磨物33的被研磨部分進入研磨刷3的范圍內，至少被研磨物33的凸部35被配置在與研磨刷3的第二區域15b對應的位置來進行。
[0070]通過固定了研磨刷3的研磨定盤5進行自轉，在被保持在研磨頭9上的被研磨物33和研磨刷3之間產生相對運動。而且，通過一邊由研磨頭9將被研磨物33壓附在研磨層15上一邊由未圖示的料楽供給組件向研磨層15上供給料楽，研磨被研磨物33 ο此時，通過上述的定位，至少被研磨物33的凸部35被壓附在研磨層15的第二區域15b上，此凸部35由第二區域15b研磨。被研磨物33的其它的平面部由研磨層15的第一區域15a、第二區域15b或者第三區域15c研磨。如上所述，因為第二區域15b的突起部25b與其它的區域的突起部相比相對于被研磨物33的追隨性良好，也良好地追隨凸部35，所以即使是具有平面部和設置在平面部上的凸部35的被研磨物33，也能一邊防止在凸部35的周圍產生研磨斑一邊適當地且有效地進行研磨。
[0071]另外，在圖6中表示使用了一個研磨頭9的狀態，但也可以在空的空間中配置其它的研磨頭9，一次使用多個研磨頭9進行研磨。另外，也可以在一個研磨頭9上以凸部集中在中央部的方式配置多個被研磨物進行研磨。
[0072]接著，參照圖7，對本實用新型的實施方式的研磨刷的制造方法的一實施方式進行說明。圖7是表示本實用新型的實施方式的研磨刷的制造方法的概要的主要部分剖視圖，表示研磨刷3的研磨層15的加工工序。如后述的那樣，本實用新型的實施方式的研磨層15，通過將旋轉刃55相對于平坦的研磨層15壓附，并使其以規定深度移動，形成了槽，各突起部由此槽隔離并確定。通常，此各突起部的高度由旋轉刃55相對于研磨層15的壓附深度控制。
[0073]圖7是表示本實用新型的實施方式的研磨刷的制造方法的概要的主要部分剖視圖，特別是表示在研磨層15的第一區域15a和第二區域15b的分界附近壓附了旋轉刃55的狀態的剖視圖。為了容易理解地表示，壓附旋轉刃55的位置的間隔與實際的不同。如圖7所示，相對于研磨層15，向由箭頭所示的方向即鉛直方向下方向壓附旋轉刃55。將旋轉刃55壓附在研磨層15上時的旋轉刃55的移動距離，基于旋轉刃55相對于支承臺51的距離進行控制，在本實施方式中，第二區域15b是旋轉刃55進入到比第一區域15a低的位置。
[0074]在圖7的左側所示的區域即與第一區域15a對應的區域中，旋轉刃55，朝向支承臺51進入，被壓附在研磨層15上，進行切削。在圖7中，表示旋轉刃55由此切削動作最靠近支承臺51時的狀態。在與第一區域15a對應的區域中，旋轉刃55被壓附在研磨層15上，旋轉刃55的端部最靠近支承臺51的點的從研磨層15的上面起的深度，與形成在第一區域15a上的突起部25a的高度Ha相對應。如果旋轉刃55以規定深度移動，則在其軌跡上形成具有深度Ha的槽 13a。
[0075]在圖7的右側所示的區域即與第二區域15b對應的區域中，同樣地旋轉刃55朝向支承臺51移動，被壓附在研磨層15上，進行切削。在圖7的右側所示的區域中，也表示在此切削動作中旋轉刃55最靠近支承臺51時的狀態。在與第二區域15b對應的區域中，因為旋轉刃55的相對于支承臺51的移動距離和與第一區域15a對應的區域相比大，所以在與第二區域15b對應的區域中，旋轉刃55的前端部最靠近支承臺51的點的從研磨層15的上面起的深度，成為比Ha深的Hb。而且如果旋轉刃55以規定深度移動，則在其軌跡上形成具有深度Hb的槽13b。
[0076]在與第一區域15a、第二區域15b、第三區域15c分別對應的區域中，一邊壓附旋轉刃55—邊使其以規定深度保持不變地移動的一系列的切削動作是共同的，如果此切削動作結束一次，則接著一邊向上方提升旋轉刃55—邊使支承臺51在水平方向相對移動并定位在形成下一個槽13的位置，進行同樣的切削動作。通過反復進行此動作，在研磨層15的表面上形成多個槽13。如果通過水平方向的相對移動，遍及研磨層15的表面整體地形成平行的多個槽13，則接著使研磨層15相對于旋轉刃55相對地進行90度旋轉，以形成與已形成了的多個槽13正交的那樣的槽13的方式進行動作。進行了90度旋轉之后的旋轉刃55的切削動作，是與上述的旋轉刃55的切削動作共同的。由此，遍及研磨層15的表面整體地形成格子狀的槽13，S卩，遍及研磨層15的表面整體地形成突起部25。
[0077]在使用了旋轉刃55的槽13的形成結束后，從支承臺51取下研磨層15，通過將研磨層15經粘接層19粘合在上述的研磨刷3的緩沖層17之上，能得到圖3所示的那樣的研磨刷3的研磨層15。
[0078]以上，對本實用新型的實施方式進行了說明，但作為變形例，也可以與上述的實施方式相反，將研磨刷的第一區域的突起部的高度做得比第二突起部的高度大。通過在設置在研磨刷的第一區域上的突起部和設置在研磨刷的第二區域上的突起部中改變高度，對被研磨物的追隨性變得不同，在此變形例中，能由研磨刷的高度高的第一區域研磨被研磨物的凸部，在表面上具有凸部的被研磨物也能適當地進行研磨。最好是根據被研磨物的形狀、凸部的位置適當地使用這樣的變形例的研磨刷。
[0079]符號的說明:
[0080]3:研磨刷[0081 ] 9:研磨頭
[0082]13:槽
[0083]15:研磨層
[0084]15a:第一區域
[0085]15b:第二區域
[0086]15c:第三區域
[0087]25:突起部
[0088]25a:第一區域的突起部
[0089]25b:第二區域的突起部
[0090]25c:第三區域的突起部
[0091]27:研磨面
[0092]29:傾斜面
[0093]31:槽的底部
[0094]33:被研磨物
[0095]35:凸部
[0096]51:支承臺
[0097]55:旋轉刃。
【主權項】
1.一種研磨刷，是在研磨層的表面上具有由多個槽隔離的用于研磨被研磨物的表面的多個突起部的研磨刷，其特征在于， 上述槽的容積相對于研磨區域整體的體積是55?95%， 進而，上述研磨刷的研磨層包含位于上述研磨刷的中心附近的第一區域和包圍上述第一區域的第二區域， 在上述第一區域中，從上述第一區域的上述研磨層的上述槽的底部到上述突起部的頂面具有第一高度， 在上述第二區域中，從上述第二區域的上述研磨層的上述槽的底部到上述突起部的頂面具有第二高度， 上述第一高度和上述第二高度不同。2.如權利要求1所述的研磨刷，其特征在于，上述第二高度比上述第一高度大。3.如權利要求2所述的研磨刷，其特征在于， 上述研磨刷的研磨層還包含包圍上述第二區域的第三區域，在上述第三區域中，從上述第三區域的上述研磨層的上述槽的底部到上述突起部的頂面具有第三高度， 上述第三高度比上述第二高度小。4.如權利要求3所述的研磨刷，其特征在于，上述第三高度與上述第一高度相等。5.如權利要求1至4的任一項所述的研磨刷，其特征在于，在上述研磨層的各區域中，上述槽的開口面積相對于俯視上述研磨層時的投影面積分別是65.0O?99.99%。6.如權利要求1至4的任一項所述的研磨刷，其特征在于，在上述研磨層的各區域中，上述突起部的頂面分別被形成得平坦，全部的上述突起部的頂面的合計面積相對于俯視研磨刷時的投影面積是0.01?35.00%。7.如權利要求1至4的任一項所述的研磨刷，其特征在于，在上述研磨層的各區域中，上述突起部分別具有從上述研磨層的表面延伸的多棱臺形狀，在相鄰的突起部彼此之間設置了規定的間隔。8.如權利要求1至4的任一項所述的研磨刷，其特征在于，上述研磨刷還具備沿上述研磨層的周緣以圍著上述研磨層的方式配置的框材。
【文檔編號】B24B37/11GK205703717SQ201620586890
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月16日
【發明人】小池堅, 小池堅一, 柏田太志, 德重伸
【申請人】富士紡控股株式會社