技術總結
本實用新型涉及一種全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，包括工藝點上料裝置、石墨舟輸送裝置和工藝點壓裝裝置，工藝點上料裝置為所述石墨舟輸送裝置提供工藝點，工藝點壓裝裝置設置在石墨舟輸送裝置的正上方。本實用新型使用工藝點上料裝置進行工藝點的排布與輸送，將排布好的工藝點輸送到石墨舟輸送裝置中的石墨舟上，再使用工藝點壓裝裝置將工藝點壓裝入石墨舟內，全部工序均通過機器自動完成，節(jié)省了人力，提高了安裝效率，提高了勞動生產率。

技術研發(fā)人員：鄒海軍;吳佳俊;吳俊;王少華
受保護的技術使用者：常州億晶光電科技有限公司
文檔號碼：201620652548
技術研發(fā)日：2016.06.27
技術公布日：2017.01.04