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單晶硅柱面拋光工裝的制作方法

文檔序號:12419375閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.單晶硅柱面拋光工裝,包括夾持裝置和拋光裝置,其特征在于:

所述夾持裝置包括左夾持塊(11)、用于驅動左夾持塊(11)轉動的左驅動件(12)、與左夾持塊(11)相配合的右夾持塊(21)、用于驅動右夾持塊(21)沿左夾持塊(11)和右夾持塊(21)所在直線移動的距離調節裝置(22)、用于驅動右夾持塊(21)轉動的右驅動件(23);

所述拋光裝置包括載片(31)和設置在載片(31)上的拋光結構(32)。

2.根據權利要求1所述的單晶硅柱面拋光工裝,其特征在于:所述拋光結構(32)為具有拋光面的拋光柱。

3.根據權利要求2所述的單晶硅柱面拋光工裝,其特征在于:所述拋光柱的截面成圓形或橢圓形。

4.根據權利要求2或3所述的單晶硅柱面拋光工裝,其特征在于:所述拋光柱有多個,多個拋光柱依次緊挨排列且上表面齊平構成拋光面,所述拋光柱的中心軸位于同一平面上。

5.根據權利要求2所述的單晶硅柱面拋光工裝,其特征在于:所述拋光柱的拋光面的長度大于40毫米且小于50毫米。

6.根據權利要求1所述的單晶硅柱面拋光工裝,其特征在于:所述拋光結構(32)為金剛石。

7.根據權利要求1所述的單晶硅柱面拋光工裝,其特征在于:還包括保護罩,所述左夾持塊(11)和右夾持塊(21)均位于保護罩內,所述保護罩包括下蓋(41)和活動連接在下蓋(41)上的上蓋(42),所述上蓋(42)和下蓋(41)的同一側均設置有開口(43)。

8.根據權利要求7所述的單晶硅柱面拋光工裝,其特征在于:所述上蓋(42)上設置有進水口(44),所述下蓋(41)上設置有出水口(45)。

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