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單晶硅柱面拋光工裝的制作方法

文檔序號:12419375閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了單晶硅柱面拋光工裝,包括夾持裝置和拋光裝置,所述夾持裝置包括左夾持塊、用于驅動左夾持塊轉動的左驅動件、與左夾持塊相配合的右夾持塊、用于驅動右夾持塊沿左夾持塊和右夾持塊所在直線移動的距離調節裝置、用于驅動右夾持塊轉動的右驅動件;所述拋光裝置包括載片和設置在載片上的拋光結構,其利用人工拋光,拋光效果好。

技術研發人員:陳興建;江宗宇
受保護的技術使用者:成都貝瑞光電科技股份有限公司
文檔號碼:201620774578
技術研發日:2016.07.22
技術公布日:2016.12.14

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