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一種高含銅蝕刻液再生循環系統的制作方法

文檔序號:12232714閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種高含銅蝕刻液再生循環系統,其特征在于:它包括蝕刻線(1),溶解再生缸(3)、過濾器(10),所述的蝕刻線(1)與溶解再生缸(3)通過管道連接,且在該管道上設置有廢液提升泵(2),所述的溶解再生缸(3)與過濾器(10)通過管道連接,且在該管道上設置有蝕刻液提升泵(11),所述的過濾器(10)與蝕刻線(1)連通。

2.根據權利要求1所述的一種高含銅蝕刻液再生循環系統,其特征在于:所述的溶解再生缸(3)通過管道還連通有母液罐(4),所述的母液罐(4)通過管道與酸性蝕刻液循環再生系統(6)連通,且在該管道上設置有母液提升泵(5),所述的酸性蝕刻液循環再生系統(6)與提銅裝置(12)連接。

3.根據權利要求2所述的一種高含銅蝕刻液再生循環系統,其特征在于:所述的酸性蝕刻液循環再生系統(6)通過管道連接有再生液儲存罐(8),且在該管道上設置有循環再生液提升泵(7),所述的再生液儲存罐(8)通過管道與溶解再生缸(3)連通,且在該管道上設置有再生液提升泵(9)。

4.根據權利要求2所述的一種高含銅蝕刻液再生循環系統,其特征在于:所述的酸性蝕刻液循環再生系統(6)通過耐強氧化性管道與溶解再生缸(3)連接。

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