本實用新型涉及到單晶硅拋光片生產技術領域，具體的說是一種拋光機壓頭純水沖洗裝置。

背景技術：

單晶硅拋光片是IC行業的基礎材料，而拋光機是生產拋光片不可或缺的主要設備之一。其中由日本FUJIKOSHI公司生產的SPM-19型拋光機在目前國內的單晶硅拋光片制造廠商中得到廣泛使用。該型拋光機采用化學機械拋光方式實現對單晶硅片表面的拋光處理，拋光生產過程主要分為兩個階段：拋光液拋光階段和純水拋光階段。拋光時，拋光液或者純水通過主轉盤中心供液口向旋轉的主轉盤持續供應拋光液或者純水，四個壓頭把裝有硅片的陶瓷盤壓在貼有拋光布的主轉盤上轉動，由于是機械拋光，大盤上掉入的任何顆粒等都會對硅片表面造成劃傷，對產品的質量造成影響。目前行業使用的拋光液都溶于水，少量拋光液暴露在空氣中不久就會形成結晶。在拋光的過程中拋光液不可避免地會濺到壓頭上，如不及時處理就會在壓頭上形成結晶，而壓頭上的結晶又特別容易掉落到大盤上，對硅片的品質造成影響。

對于以上問題，傳統的處理方法是：

1）拋完一車或幾車硅片后用無塵紙或無塵布蘸純水，對壓頭上濺落的拋光液或者剛剛形成的結晶進行清潔；

2）在壓頭上粘一層進口的雙面膠（此雙面膠價格昂貴），等雙面膠上結晶多時更換雙面膠，并對壓頭進行清潔。

以上兩種方法的缺點是：1）無塵紙和無塵布的使用提高了生產成本；2）定時清潔或更換雙面膠不但增加了員工勞動量，而且增加了停機時間；3）壓頭上的結晶容易在拋光過程中由于震動等原因會掉落到大盤上，影響硅片的品質；4）換雙面膠和清潔時，結晶容易掉到拋光布上，污染拋光布。

技術實現要素：

為解決現有技術中壓頭清潔方法存在的諸多問題，本實用新型提供了一種拋光機壓頭純水沖洗裝置，該裝置在不改變現有生產工藝的前提下，根據壓頭上殘留的拋光液在拋完一車的時間內不會形成結晶和拋光液溶于水的特點，通過使用純水沖洗拋光機壓頭，清除濺到壓頭上的拋光液，避免結晶生成，來解決壓頭上的結晶而引發的一系列問題。

本實用新型為解決上述技術問題所采用的技術方案為：一種拋光機壓頭純水沖洗裝置，包括三通接頭Ⅰ、三通接頭Ⅱ和兩條噴頭支路，其中，三通接頭Ⅰ的三個接口分別與原純水管路、原水拋管路和三通接頭Ⅱ連接，三通接頭Ⅱ的另外兩個接口分別通過前支管和后支管與上述兩條噴頭支路連接，每條噴頭支路包括一個三通接頭Ⅲ和兩只噴頭，且三通接頭Ⅲ的一個接頭與前支管或后支管連接，另外兩個接頭均通過管路與兩個噴頭連接，所述兩條噴頭支路中的四個噴頭分別延伸到拋光機的四個壓頭處，以實現每個噴頭單獨清洗一個壓頭。

所述原純水管路上設置有控制其通斷和流量的純水閥。

所述每條噴頭支路中，在三通接頭Ⅲ和兩個噴頭之間的管路上分別設置有旋塞閥門，以對每個噴頭進行獨立控制。

本實用新型中，三通接頭Ⅰ連接的原純水管路和原水拋管路是現有拋光設備中的純水管路和水拋管路。

有益效果：本實用新型通過兩個三通接頭將原純水管路和原水拋管路與四個噴頭連接，這四個噴頭對應拋光機的四個壓頭，從而實現了對四個壓頭的單獨沖洗，避免了現有的清潔方法所造成的一系列問題，具有結構簡單、安裝方便的優點，而且沖洗過程和水拋過程同步，不額外占用生產時間，并且完全自動化；沖洗過程可根據需要適時調整噴嘴的角度和水量大小，調好后不需要人工參與，實用性和安全性能好，可以有效避免SPM-19型拋光機壓頭表面拋光液結晶的形成，降低了設備停機率和生產成本，提高了工藝穩定性。

附圖說明

圖1為本實用新型的管路連接圖；

圖2為本實用新型中噴頭支路的管路圖；

附圖標記：1、三通接頭Ⅰ，2、三通接頭Ⅱ，3、噴頭支路，301、三通接頭Ⅲ，302、噴頭，303、旋塞閥門，4、原純水管路，5、原水拋管路，6、前支管，7、后支管，8、壓頭，9、純水閥。

具體實施方式

如圖所示，一種拋光機壓頭純水沖洗裝置，包括三通接頭Ⅰ1、三通接頭Ⅱ2和兩條噴頭支路3，其中，三通接頭Ⅰ1的三個接口分別與原純水管路4、原水拋管路5和三通接頭Ⅱ2連接，三通接頭Ⅱ2的另外兩個接口分別通過前支管6和后支管7與上述兩條噴頭支路3連接，每條噴頭支路3包括一個三通接頭Ⅲ301和兩只噴頭302，且三通接頭Ⅲ301的一個接頭與前支管6或后支管7連接，另外兩個接頭均通過管路與兩個噴頭302連接，所述兩條噴頭支路3中的四個噴頭302分別延伸到拋光機的四個壓頭8處，以實現每個噴頭302單獨清洗一個壓頭8。

以上為本實用新型的基本實施方式，可在以上基礎上做進一步的優化、限定和改進：

如，所述原純水管路4上設置有控制其通斷和流量的純水閥9；

又如，所述每條噴頭支路3中，在三通接頭Ⅲ301和兩個噴頭302之間的管路上分別設置有旋塞閥門303，以對每個噴頭302進行獨立控制。

圖1中，虛線部分為拋光機中原有裝置，三通接頭Ⅰ1的主要作用是把本實用新型裝置并聯在水拋管路中；三通接頭Ⅱ2對沖洗裝置的管路進行分支；后支路6將管路通向兩個壓頭；前支路7將管路通向另兩個壓頭；噴頭支路3部分如圖2所示，三通接頭Ⅲ301將管路分成兩部分，分別指向兩個壓頭8；旋塞閥門303有兩個，可以調整噴向兩個壓頭8的水量；噴頭302將純水噴向壓頭8相應位置。

壓頭8沖洗的具體步驟如下：

拋光機進入純水拋光階段時，圖中虛線部分水拋純水閥9自動打開，一路純水通過三通接頭Ⅰ1進入原拋光機水拋管路5，另一路通過三通接頭Ⅰ1進入三通接頭Ⅱ2；之后一路純水通過前支路7、一條噴頭支路3，分別噴向兩個壓頭8，水量大小可根據需要調整對應旋塞閥門303；另一路通過后支路6、另一條噴頭支路3，分別噴向剩下的兩個壓頭8，水量大小可根據需要調整對應的旋塞閥門303。