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數(shù)控晶片磨邊機的制作方法

文檔序號:11577187閱讀:383來源:國知局

本技術(shù)屬于晶片處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種數(shù)控晶片磨邊機。



背景技術(shù):

當(dāng)晶片從晶棒上切割下來時,晶片邊緣帶有鋒利的毛刺,需要將毛刺磨去,傳統(tǒng)的毛刺打磨方法是人工手持砂輪進行打磨,打磨的速度較慢,勞動強度較大。為此市場上研發(fā)出一種晶片磨邊機,專利申請?zhí)枺?01220214766.6,以提高晶片邊緣的打磨的速度,降低勞動強度。該專利中,工人通過雙手同時操作機箱的側(cè)面的工作臺平移手輪和縱移手輪,使晶片的固定座在打磨頭下圓形轉(zhuǎn)動,實現(xiàn)對晶片邊緣的打磨,這種機械在使用時,對操作人員技術(shù)要求較高,工人生產(chǎn)時精力較為集中,體力消耗依然較大。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)中,晶片邊緣在打磨時,缺乏專用的高效設(shè)備,打磨工作存在費力費時的問題,本實用新型提供一種數(shù)控晶片磨邊機,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

本實用新型的技術(shù)方案是:一種數(shù)控晶片磨邊機,該磨邊機的機架由底座和豎支架組成,在底座上安裝有工作臺,在工作臺上設(shè)計有橫向滑槽,在橫向滑槽上安裝有橫移盤,橫移盤的側(cè)面安裝有出液管,在橫移盤上方中部安裝有晶片的負(fù)壓固定臺,負(fù)壓固定臺上方安裝有冷卻水噴頭,在負(fù)壓固定臺側(cè)面安裝有抽氣管,抽氣管與真空泵連接,橫移盤的下方安裝有固定桿,固定桿下端的橫移螺母套裝在橫移絲桿上;在豎支架上安裝有水平的縱向滑桿和縱移絲桿,縱移絲桿一端連接在縱移電機上,縱向滑桿和縱移絲桿上安裝有縱移板,縱移板上加工有豎向滑槽,豎向滑槽上安裝有豎移板,豎移板上固定安裝有打磨電機,打磨電機的轉(zhuǎn)軸上安裝打磨輪;豎移板的后端上方安裝有豎移螺母,豎移螺母套裝在豎移絲桿上,豎移絲桿兩端的固定座安裝在縱移板上,豎移絲桿后端安裝有豎移電機,在橫移絲桿后端安裝有橫移電機,橫移電機、豎移電機、縱移電機、打磨電機和真空泵的控制線連接在數(shù)控裝置上,操作板的信號線與數(shù)控裝置連接,操作板安裝在底座上的控制面板上。

采用本實用新型的技術(shù)方案,用數(shù)控裝置控制橫移電機和縱移電機的轉(zhuǎn)動量,實現(xiàn)打磨輪繞晶片的圓周運動,通過豎移電機控制打磨頭的高度,通過真空泵實現(xiàn)晶片在負(fù)壓固定臺上的固定,從而實現(xiàn)晶片磨邊的全自動化,從而提高打磨效率,降低工人勞動強度。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

實施例,如圖1所示:一種數(shù)控晶片磨邊機,該磨邊機的機架由底座6和豎支架27組成,在底座6上安裝有工作臺8,在工作臺8上設(shè)計有橫向滑槽7,在橫向滑槽7上安裝有橫移盤10,橫移盤10的側(cè)面安裝有出液管9,在橫移盤10上方中部安裝有晶片的負(fù)壓固定臺12,負(fù)壓固定臺12上方安裝有冷卻水噴頭14,在負(fù)壓固定臺12側(cè)面安裝有抽氣管29,抽氣管29與真空泵1連接,橫移盤10的下方安裝有固定桿5,固定桿5下端的橫移螺母4套裝在橫移絲桿3上;在豎支架27上安裝有水平的縱向滑桿20和縱移絲桿26,縱移絲桿26一端連接在縱移電機25上,縱向滑桿20和縱移絲桿26上安裝有縱移板21,縱移板21上加工有豎向滑槽22,豎向滑槽22上安裝有豎移板24,豎移板24上固定安裝有打磨電機15,打磨電機15的轉(zhuǎn)軸上安裝打磨輪28;豎移板24的后端上方安裝有豎移螺母18,豎移螺母18套裝在豎移絲桿17上,豎移絲桿17兩端的固定座16安裝在縱移板21上,豎移絲桿17后端安裝有豎移電機19,在橫移絲桿3后端安裝有橫移電機2,橫移電機2、豎移電機19、縱移電機25、打磨電機15和真空泵1的控制線連接在數(shù)控裝置23上,操作板11的信號線與數(shù)控裝置23連接,操作板11安裝在底座6上的控制面板13上。

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