技術總結
一種用于鍍膜中固定基片的彈性裝夾裝置，構成包括基片夾具、多個彈性固定塊、蓋板和螺栓，通過彈性固定塊對放置于基片夾具內的基片進行固定，通過螺栓使蓋板固定于基片夾具上。基片加工過程中會產生一定的尺寸誤差，在鍍膜過程中基片尺寸誤差偏小、振動或溫度降低會造成固定松動，使所鍍薄膜性能下降，同時也會由于基片尺寸誤差偏大、振動以及溫度升高導致基片固定時應力過大，甚至出現卡片、崩邊等現象，同樣影響薄膜的性能。本發明使基片在夾具內固定不動，可消除鍍膜時基片因尺寸誤差、振動及升溫產生的應力。該裝置具有結構簡單、造價低廉、壽命長、通用性強和使用方便的特點。

技術研發人員：王胭脂;郭可升;陳宇;劉加;朱曄新;朱美萍;張偉麗;王建國;趙嬌玲;孫建;齊紅基;易葵;邵建達
受保護的技術使用者：中國科學院上海光學精密機械研究所
文檔號碼：201710000724
技術研發日：2017.01.03
技術公布日：2017.06.13