技術特征：

技術總結
提供被加工物的評價方法，能夠對能夠成為產品的被加工物的吸雜性進行評價。一種被加工物的評價方法，對在正面上形成有多個器件并且在內部形成有吸雜層的器件晶片的吸雜性進行評價。被加工物的評價方法包含如下的工序：激發光照射工序，對器件晶片照射用于激發出載流子的激發光；微波照射工序，分別對器件晶片的激發光的照射范圍和激發光的照射范圍外照射微波；測定工序，分別對來自器件晶片的微波MR的反射波的強度進行測定，導出從來自照射范圍的反射波的強度中減去來自照射范圍外的反射波的強度而得的差分信號；以及根據在測定工序中計算出的差分信號的強度對吸雜性進行判斷的工序。

技術研發人員：介川直哉;原田晴司
受保護的技術使用者：株式會社迪思科
技術研發日：2017.03.23
技術公布日：2017.10.10