本發明具體涉及一種蒸發裝置。

背景技術：

oled顯示技術較之當前主流的液晶顯示技術，具有對比度高、色域廣、柔性、輕薄、節能等突出優點；近年來，oled顯示技術逐漸在智能手機和平板電腦等移動設備、智能手表等柔性可穿戴設備、大尺寸曲面電視、白光照明等領域普及，發展勢頭強勁。

oled技術主要包括以真空蒸鍍技術為基礎的小分子oled技術和以溶液制程為基礎的高分子oled技術；蒸鍍機是當前已量產的小分子oled器件生產的主要設備，其設備核心部分為蒸發源裝置，分為點蒸發源、線蒸發源、面蒸發源等。

現有的蒸發源裝置，為了控制蒸發源的蒸鍍有效區域，在蒸發源兩側設置限制板，限制板的高度超出蒸發源噴嘴的高度，遮擋部分材料以改變噴嘴的噴灑范圍，避免材料超出基板范圍。

但是，現有的蒸發源裝置，其限制板的高度及位置均是固定的，因此，噴嘴的噴灑范圍也是固定的，不能滿足對不同摻雜材料沉積在基板表面的區域范圍進行調節。

技術實現要素：

本發明提供一種蒸發裝置，包括有可調節的限位板，通過調節限位板的位置，可對不同摻雜材料沉積在基板表面的區域范圍進行調節，以解決現有的蒸發源裝置，其限制板的高度及位置均是固定的，噴嘴的噴灑范圍也是固定的，不能滿足對不同摻雜材料沉積在基板表面的區域范圍進行調節的技術問題。

為解決上述問題，本發明提供的技術方案如下：

本發明提供一種蒸發裝置，包括：殼體，以及位于所述殼體內的：

多個蒸發源，用于蒸發材料以產生氣體材料；所述蒸發源包括：材料腔室，用以放置材料；加熱件，貼覆于所述材料腔室的外部，用以對所述材料腔室內的材料進行加熱；噴嘴，位于所述蒸發源上側，用以將氣體材料噴灑至基板表面；

限制板，設置于所述蒸發源的兩側，所述限制板的高度超出所述噴嘴，相鄰所述限制板之間的距離與高度差，用以限制兩所述限制板之間的所述噴嘴的噴料范圍；其中，

所述限制板連接有移動組件，所述限制板通過所述移動組件，能夠在兩所述蒸發源之間的區域內移動，用以調節所述噴嘴的噴料范圍。

根據本發明一優選實施例，所述限制板通過所述移動組件，能夠在兩所述蒸發源之間的區域內水平移動或垂直移動，所述移動組件包括：

水平滑軌，設置于所述蒸發源的兩端，且與所述蒸發源的寬度方向相平行；

垂直滑軌，與所述蒸發源的高度方向相平行，并且，所述垂直滑軌底部通過第一驅動電機可滑移地連接至所述水平滑軌上；

所述限制板的端部通過第二驅動電機可滑移地連接至所述垂直滑軌上。

根據本發明一優選實施例，所述噴嘴為線性噴嘴，所述線性噴嘴包括呈一字型間隔分布的多個噴射孔，所述噴射孔的排列方向與基板的移動方向異面垂直。

根據本發明一優選實施例，所述限制板頂端設置有副板，所述副板與所述限制板相垂直，所述副板的側部向其鄰近的所述蒸發源的上方作部分延伸。

根據本發明一優選實施例，所述限制板側部可拆卸地設置有條形集料槽，所述條形集料槽平行于所述限制板底邊，且所述條形集料槽的端部與所述限制板兩側相平齊。

根據本發明一優選實施例，所述限制板內設置有加熱件。

根據本發明一優選實施例，所述條形集料槽兩端設置有固定耳，所述固定耳彎折搭設于所述限制板側部，并通過螺栓固定。

根據本發明一優選實施例，所述副板與所述限制板的連接處形成有弧形過渡面。

根據本發明一優選實施例，所述弧形過渡面為內圓弧面，所述弧形過渡面的一端連接于所述副板的端部，所述弧形過渡面的相對另一端連接于所述限制板側部。

本發明的有益效果為：相較于現有的蒸發裝置，本發明的蒸發裝置，具有可移動的限制板，通過調節限制板的高度及限制板與蒸發源之間的距離，可調節噴嘴的噴料范圍，從而可滿足對不同摻雜材料沉積在基板表面的區域范圍進行調節。

附圖說明

為了更清楚地說明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明的蒸發裝置結構示意圖；

圖2a為本發明的蒸發裝置一使用狀態圖；

圖2b為本發明的蒸發裝置另一使用狀態圖。

具體實施方式

以下各實施例的說明是參考附加的圖示，用以例示本發明可用以實施的特定實施例。本發明所提到的方向用語，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[內]、[外]、[側面]等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發明，而非用以限制本發明。在圖中，結構相似的單元是用以相同標號表示。

本發明針對現有的蒸發源裝置，其限制板的高度及位置均是固定的，噴嘴的噴灑范圍也是固定，不能滿足對不同摻雜材料沉積在基板表面的區域范圍進行調節的技術問題，本實施例能夠解決該缺陷。

如圖1所示，本發明的蒸發裝置，包括：殼體；所述殼體內設置有蒸發源101及設置于所述蒸發源101兩側的限制板102。

所述蒸發源101上包括有材料腔室、加熱件以及噴嘴103；所述材料腔室用于放置蒸鍍材料；所述加熱件貼覆于所述材料腔室的外部，用于對所述材料腔室內的材料進行加熱；所述噴嘴103位于所述蒸發源101的上側，用于對蒸發的氣體材料噴灑至基板上。

所述蒸發源101與所述限制板102為多個，所述蒸發源101與所述限制板102交替排列，相鄰兩所述限制板102之間具有一所述蒸發源101；所述限制板102的高度超出所述噴嘴103，相鄰所述限制板102之間的距離與高度差，用以限制兩所述限制板102之間的所述噴嘴103的噴料范圍。

所述噴嘴103可以為線性噴嘴103，所述噴嘴103包括呈一字型間隔分布的多個噴射孔，所述噴射孔的排列方向與基板的移動方向異面垂直；所述噴射孔與位于其兩側的限制板102的頂端連線，形成一個夾角，所述夾角的角度即所述噴嘴103噴灑材料的角度范圍，基板與噴嘴103之間的距離，決定了所述噴嘴103噴灑的材料落在基板表面的面積；為了適配基板不同的沉積需求，需要改變所述噴嘴103噴出的材料落在基板表面的面積，使用限制板102遮擋噴嘴103噴灑出的部分材料，從而可控制所述噴嘴103噴灑的材料落在基板表面的范圍。

所述限制板102連接有移動組件，所述限制板102通過所述移動組件，能夠在兩所述蒸發源101之間的區域內移動，從而可調節各所述限制板102與蒸發源101間的距離，以及所述限制板102高度，從而可控制對噴灑出的材料的遮擋面積。

本實施方式中，所述限制板102通過所述移動組件，能夠在兩所述蒸發源101之間的區域內水平移動或垂直移動。所述移動組件包括有水平滑軌104，設置于所述蒸發源101的兩端，且與所述蒸發源101的寬度方向相平行；垂直滑軌105，與所述蒸發源101的高度方向相平行，并且，所述垂直滑軌105底部通過第一驅動電機可滑移地連接至所述水平滑軌104上；所述限制板102的端部通過第二驅動電機可滑移地連接至所述垂直滑軌105上。

所述水平滑軌104包括水平基底，所述水平基底兩側形成有第一溝槽，所述水平基底上滑移設置有第一連接件，所述第一連接件包括有相互平行的兩支撐板，及連接于兩支撐板的安裝板，所述安裝板位于支撐板的上端，兩支撐板下端向內彎折并嵌入所述水平基底兩側的第一溝槽內；所述第一驅動電機設置與所述第一連接件上，所述第一驅動電機的輸出軸端部連接有滾輪，所述滾輪的側面與所述水平基底表面接觸連接。

所述垂直滑軌105包括垂直基底，所述垂直基板底部固定連接于所述第一連接件的安裝板表面；所述垂直基底兩側形成有第二溝槽，所述垂直基底上滑移設置有第二連接件，所述限制板102的側面固定連接于所述第二連接件表面，所述第二連接件上設置有第二驅動電極；所述第二連接件的結構以及所述第二連接件與所述垂直基底的連接關系與所述第一連接件類似，此處不再贅述。

所述限制板102頂端設置有副板，所述副板與所述限制板102相垂直，所述副板的側部向其鄰近的所述蒸發源101的上方作部分延伸；限制板102對噴嘴103的材料遮擋范圍有限，調節幅度大但得到的效果一般，在所述限制板102頂端設置有副板，副板跟隨限制板102在水平方向移動，所述副板可直接介入所述噴嘴103噴灑的材料，調節更便捷，限制效果更好。

圖2為本發明蒸發裝置一使用狀態圖。

如圖2a所示，包括有蒸發裝置，所述蒸發裝置上方有移動的基板201經過，當基板201停留在所述蒸發裝置的正上方時，所述蒸發裝置朝向基板201噴灑材料。

所述蒸發裝置包括有外殼202，所述外殼202內設置有蒸發源203，所述蒸發源203上部設置有噴嘴204，所述噴嘴204兩側設置有限制板207，所述限制板207側部連接有垂直滑軌205，所述垂直滑軌205底部連接有水平滑軌206；所述限制板207的位置根據基板201的材料沉積需求進行了調整，使得所述噴嘴204噴出的材料落在基板201的對應區域。

所述限制板207頂部設置有副板208。

圖2b為本發明蒸發裝置另一使用狀態圖。

如圖2b所示，與2a的區別僅在于基板201的尺寸改變，從而所述限制板207的位置作了調整，使得所述噴嘴204噴出的材料范圍與基板201的沉積需求相匹配。

為了實現噴灑在所述限制板上的材料能夠回收，在所述限制板側部設置有可拆卸地條形集料槽，所述條形集料槽平行于所述限制板底邊，且所述條形集料槽的端部與所述限制板兩側相平齊，所述限制板上經過遮擋積存的材料，能夠沿限制板表面流入所述條形集料槽。

在所述限制板內設置有加熱件，以避免材料積存在限制板表面時，不會迅速凝固，以輔助材料流入所述條形集料槽內。

所述條形集料槽兩端設置有固定耳，所述固定耳彎折搭設于所述限制板側部，并通過螺栓固定；從而實現對所述條形集料槽的固定。

在所述副板與所述限制板的連接處形成有弧形過渡面，從而，能夠使所述副板表面堆積的材料經過所述弧形過渡面流入所述條形集料槽內。

所述弧形過渡面為內圓弧面，所述弧形過渡面的一端連接于所述副板的端部，所述弧形過渡面的相對另一端連接于所述限制板側部。

綜上所述，雖然本發明已以優選實施例揭露如上，但上述優選實施例并非用以限制本發明，本領域的普通技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍內，均可作各種更動與潤飾，因此本發明的保護范圍以權利要求界定的范圍為準。