技術特征：

技術總結
本發明公開了一種用于空間隔離原子層沉積的模塊化噴頭及裝置。模塊化噴頭包括：前驅體通道組件、密封組件；前驅體通道組件包括板狀基體、前驅體通道、氣體管路；前驅體通道布置于板狀基體正面，自上而下延伸，前驅體通道的頂端連通氣體管路；密封組件設于板狀基體正面，用于對前驅體通道進行密封，防止前驅體泄露。本發明的模塊化噴頭，由多個部件構成整體模塊，并且通過前軀體通道對噴入的氣體進行分流和緩沖，實現沉積均勻，且可以根據實際需求選取任意數量進行組合。本發明的裝置包括多個模塊化噴頭，以一定的間隔排列，分別通入氧化物前驅體源和金屬前驅體源，使得基底在前驅體單元下運動一個來回沉積多層薄膜，大大提高了薄膜沉積效率。

技術研發人員：陳蓉;王曉雷;單斌;李云;林驥龍;馬玉春;但威
受保護的技術使用者：華中科技大學
技術研發日：2017.05.13
技術公布日：2017.08.29