本發明涉及一種阻蒸器用擋板裝置，具體是指一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置。

背景技術：

阻蒸鍍膜一般是通過設置在鍍膜機內的阻蒸設備來加熱靶材使其表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，并且使靶材的原子團或離子沉降在基片表面，通過成膜過程(散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。阻蒸鍍膜時為了防止基片在鍍膜完成后殘留在蒸發室內的靶材原子團或離子繼續為基片進行鍍膜，而影響靶材的鍍膜質量，我們便在阻蒸設備的上方設置了用于遮擋靶材原子團或離子的擋板裝置，使殘留在蒸發室內的靶材原子團或離子不會沉降在基片表面上。

然而，現有人們所采用的阻蒸設備用旋轉式擋板裝置工作時其擋板需進行170°旋轉，而擋板旋轉時會占用安裝阻蒸設備的蒸發室大部分空間，導致阻蒸鍍膜機的蒸發室的利用率過低，致使蒸發室內部不能設置多個阻蒸設備，從而嚴重的影響了阻蒸鍍膜機的工作效率。

技術實現要素：

本發明的目的在于克服現有的阻蒸設備用旋轉式擋板裝置工作時其擋板占用阻蒸鍍膜機的蒸發室空間過大的缺陷，提供一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置。

本發明的目的通過下述技術方案現實：一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置，主要由防污板，設置在防污板上并能帶動防污板上下運動的連桿組件，以及與連桿組件相連接的氣缸組成；所述連桿組件連接在氣缸的伸縮桿上。

所述連桿組件包括與氣缸的伸縮桿相連接并能跟隨伸縮桿上下運動的連接桿，通過絲桿連接在連接桿上并能跟隨連接桿運動的連動桿，以及與連動桿相連接并能帶動防污板上下運動的安裝件；所述防污板通過連接軸連接在安裝件上。

所述氣缸上設置有連接筒，所述氣缸的伸縮桿貫穿連接筒，且該伸縮桿通過直線軸承連接在連接筒上。

所述氣缸的伸縮桿上設置有與連接筒相連接的密封座，所述氣缸的伸縮桿通過密封環與密封座相連接。

所述安裝件通過深溝軸承連接在安裝座上。

所述密封座上設置有壓環。

所述氣缸的伸縮桿上還設置有密封壓頭，所述密封壓頭還與密封座相連接。

所述防污板上設置有把手，所述把手貫穿防污板后并與連接軸相連接。

所述氣缸為dnc系列的直線往復運動的氣缸。

本發明與現有技術相比具有以下優點及有益效果：

(1)本發明設的防污板相連接的連桿組件在氣缸的伸縮桿的帶動能進行上下翻轉，本發明的防污板進行上下翻轉比現有的防污板的170°旋轉相比，本發明的防污板進行上下翻轉極大的減小了防污板在阻蒸鍍膜機的蒸發室所占用的空間，使蒸發室能安裝多個阻蒸設備，從而使本發明能有效的提高阻蒸鍍膜機的蒸發室的利用率，并很好的提高了阻蒸鍍膜機的工作效率。

(2)本發明的連桿組件設置了連接桿和連動桿以及安裝件能有效的減小連桿組件所占高阻蒸鍍膜機的蒸發室的空間。

(3)本發明設置的安裝座用于安裝連桿組件，該安裝座能使連桿組件的安裝工作更穩定，而設置在安裝座上的密封座能有效的提高翻轉擋板裝置與蒸發室連接的緊密性，有效的防止空氣進入蒸發室。

(4)本發明在連桿組件與安裝座的連接處設置的深溝軸承能很好的提高防污板翻轉的靈活性。

(5)本發明在防污板上設置的把手能便于防污板的安裝與拆卸，本發明并具有結構簡單、設計合理和生產成本低等優點。

附圖說明

圖1為本發明的整體示意圖。

圖2為本發明的局部剖視圖。

圖3為本發明的工作示意圖。

上述附圖中，附圖標記對應的部件名稱如下：

1—防污板，2—氣缸，3—密封座，4—安裝座，5—連接桿，6—絲桿，7—連動桿，8—連接筒，9—把手，10—壓環，11—伸縮桿，12—安裝件，13—連接軸，14—直線軸承，15—密封環，16—深溝軸承，17—密封壓頭，18—螺栓。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明作進一步地詳細說明，但本發明的實施方式并不限于此。

實施例

如圖1～3所示，本發明公開了一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置，主要由防污板1，與防污板1相連接的連桿組件，以及與連桿組件相連接的氣缸2組成；所述連桿組件連接在氣缸2的伸縮桿11上。其中，所述連桿組件如圖2所示，其包括連接桿5，連動桿7，安裝件12，以及用于連接連接桿5和連動桿7的絲桿6。

實施時，所述的防污板1本發明優先采用了不銹鋼制成的弧形面板來實現，該防污板1上設有用于安裝把手9的通孔。把手9貫穿防污板1上的通孔后連接在連接軸13上，該把手9與連接軸13采用螺紋連接的方式進行連接，把手9用于將防污板1固定連接在連接軸13上。在需對防污板1進行拆卸時只需用手擰下把手9便能完成對防污板1的拆卸，不需要別的輔助工具便能完成。所述的連接軸13連接在連桿組件上。

所述連桿組件如圖2、3所示，其包括連接桿5，連動桿7，安裝件12，以及用于連接連接桿5和連動桿7的絲桿6。所述的安裝件12上設有通孔和兩個安裝孔，所述的連接軸13通過螺紋連接的方式安裝在安裝件12上的其中一個安裝孔內。安裝件12上設置了安裝座4，該安裝座4用于安裝連桿組件和連接氣缸2，所述的安裝件12安裝在安裝座4上，為了使安裝件12能在安裝座4上自由的轉動，本發明在安裝座4用于連接安裝件12的槽孔內設置了深溝軸承16，該深溝軸承16能使安裝件12實現自由轉動。所述的連動桿7一端通過螺紋連接在安裝件12的另一個安裝孔內，而另一端則通過螺紋連接的方式連接在絲桿6的一端上，該連動桿7在為可折疊式連動桿，采用可折疊式連動桿7能減少使整個連桿組件所占高阻蒸鍍膜機的蒸發室的空間。

同時，所述的接連接桿5則通過螺紋連接在絲桿6的另一端上，使接連接桿5和絲桿6以及連動桿7與絲桿6相連接的一端能在氣缸2的伸縮桿11的帶動下與伸縮桿11一起向運動，而連動桿7與安裝件12連接的一端則與伸縮桿11的運動方向相反，安裝件12在連動桿7的帶動下也與伸縮桿11運動相反。所述的安裝座4上還設置了密封座3，該密封座3位于安裝座4的下方，該密封座3的下端上設置有兩個以上的穿心孔，本發明在安裝時密封座3安裝在蒸發室的安裝臺的下端，而密封座3相連接的安裝座4則位于蒸發室內，安裝時將螺釘貫穿密封座3上的穿心孔連接在安裝座4上。為了使安裝座4與蒸發室的安裝臺能緊密的接觸，以防止空氣進入蒸發室內，本發明在蒸發室內與蒸發室之間設置了壓環10，該壓環10安裝在密封座3上，該壓環10本發明優先采用了耐高溫材料制成的壓環。

進一步地，本發明在密封座3的下方設置了連接筒8，該連接筒8用于安裝氣缸2，氣缸2通過螺釘安裝在連接筒8的下端上，氣缸2的伸縮桿11從下至上依次貫穿連接筒8和密封座3。同時，氣缸2的伸縮桿11通過直線軸承14連接在連接筒8上，氣缸2的伸縮桿11并通過密封環15連接在密封座3上，為了使密封環15與氣缸2的伸縮桿11和密封座3的連接更緊密，本發明在密封座3上還設置了密封壓頭17，該密封壓頭17優先采用了其內孔光滑的壓頭。所述氣缸2的伸縮桿11貫穿密封壓頭17的內孔后與連接桿5相連接，連接桿5并通過螺栓18垂直固定在氣缸2的伸縮桿11上，使氣缸2的伸縮桿11能帶動連接桿5進行上下直線運動。

本發明中所述的氣缸2優先采用了dnc系列的直線往復運動的氣缸，該氣缸2與外部的壓縮機通過氣管相連接，外部的壓縮機對氣缸2進行吸氣做工時，氣缸2的伸縮桿11向氣缸2內收縮，外部的壓縮機對氣缸2進行充氣做工時，氣缸2的伸縮桿11向氣缸2外伸展。

本發明運行時，阻蒸鍍膜機對基片進行鍍膜時，控制系統控制與氣缸2相連接的外部的壓縮機對氣缸2進行充氣做工，氣缸2的伸縮桿11帶動連接桿5向上運動，而連接桿5使連動桿7帶動通過連接軸13安裝件12連接在上的防污板1延安裝座4上的深溝軸承16向安裝座4的下端運動，使蒸發舟內的靶材的原子團或離子沉降在基片表面，從而實現對基片的鍍膜。當鍍膜完成后，控制系統控制與氣缸2相連接的外部的壓縮機對氣缸2進行吸氣做工，氣缸2的伸縮桿11帶動連接桿5向下運動，而連接桿5使連動桿7帶動通過連接軸13安裝件12連接在上的防污板1延安裝座4上的深溝軸承16向安裝座4的上端轉動，使防污板1擋住蒸發舟內的靶材的原子團或離子，使靶材的原子團或離子不會沉降在基片表面，從而防止了殘留在阻蒸鍍膜機的蒸發室內的靶材原子團或離子沉降在基片上，有效的確保了鍍膜的質量。

本發明通過防污板1相連接的連桿組件在氣缸2的伸縮桿11的帶動下實現了上下翻轉，本發明的防污板1進行上下翻轉比現有的防污板的180°旋轉相比，本發明的防污板1進行上下翻轉極大的減小了防污板在阻蒸鍍膜機的蒸發室所占用的空間，使蒸發室能安裝多個阻蒸設備，從而使本發明能有效的提高阻蒸鍍膜機的蒸發室的利用率，并很好的提高了阻蒸鍍膜機的工作效率。

如上所述，便可很好的實現本發明。