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一種用于TFT?LCD顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制作方法

文檔序號:11380928閱讀:721來源:國知局

本發(fā)明涉及tft-lcd顯示屏技術領域,具體涉及一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑。



背景技術:

在tft-lcd顯示屏生產過程中,酸性蝕刻是一個重要的步驟。隨著蝕刻的進行,蝕刻液中銅離子濃度越來越高,蝕刻速度越來越慢,如果不更換會嚴重影響蝕刻進度及質量。酸性蝕刻廢液不僅含有大量銅離子,還含有其他有價值的化學物質。隨著顯示技術的發(fā)展,尤其是顯示技術向著大型化及高分辨率化的發(fā)展中,傳統的金屬導線會隨著配線的變長,電阻的增加,從而放大信號延遲等問題,造成顯示效果的退化。所以,開始了向是用電阻更低的金屬配線的研發(fā),即銅制成的研發(fā)。由于金屬特性的不同,相應的,也開發(fā)出新型的金屬蝕刻液。銅蝕刻液目前多為雙氧水體系配以一定的添加劑,已在實際生產中得到應用,是一種較為成熟的技術。



技術實現要素:

本發(fā)明旨在提供了一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑。

本發(fā)明提供如下技術方案:

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數的組分組成:氯化銅5-10份、草酸9-16份、無水硫酸銅7-10份、硝酸銅6-8份、氯化鈉3-8份、氯化銨7-10份、羥基磺酸鹽11-15份、促進劑6-9份、穩(wěn)定劑4-9份、去離子水45-52份。

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制備方法,包括如下步驟:

(1)將去離子水和氯化銅加入攪拌池內進行攪拌,待氯化銅完全溶解;

(2)向(1)中溶液中加入草酸,然后攪拌,使液體均勻;

(3)向(2)中溶液中加入無水硫酸銅、硝酸銅、氯化鈉、氯化銨,然后攪拌,使液體均勻;

(4)最后加入羥基磺酸鹽、促進劑攪拌均勻即可。

所述促進劑為次氯酸鈉。

所述穩(wěn)定劑為尿素或硫脲。

與現有技術相比,本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的銅蝕刻液添加劑以去離子水為溶劑,呈電中性,銅蝕刻液添加劑在進行濕法蝕刻之前添加到蝕刻液中,能夠改善蝕刻液的蝕刻品質,使蝕刻速率、均一性得到提高;同時配合促進劑可以提升蝕刻速度,有效降低鹽酸的使用量,在工藝上有利于生產效率,且經濟實用,配制方法簡單,蝕刻過程中不產生有害氣體。

具體實施方式

下面將結合本發(fā)明實施例,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。

實施例1一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數的組分組成:氯化銅5份、草酸9份、無水硫酸銅7份、硝酸銅6份、氯化鈉3份、氯化銨7份、羥基磺酸鹽11份、促進劑6份、穩(wěn)定劑4份、去離子水45份。

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制備方法,包括如下步驟:

(1)將去離子水和氯化銅加入攪拌池內進行攪拌,待氯化銅完全溶解;

(2)向(1)中溶液中加入草酸,然后攪拌,使液體均勻;

(3)向(2)中溶液中加入無水硫酸銅、硝酸銅、氯化鈉、氯化銨,然后攪拌,使液體均勻;

(4)最后加入羥基磺酸鹽、促進劑攪拌均勻即可。

所述促進劑為次氯酸鈉。

所述穩(wěn)定劑為尿素或硫脲。

實施例2一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數的組分組成:氯化銅10份、草酸16份、無水硫酸銅10份、硝酸銅8份、氯化鈉8份、氯化銨10份、羥基磺酸鹽15份、促進劑9份、穩(wěn)定劑9份、去離子水52份。

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制備方法,包括如下步驟:

(1)將去離子水和氯化銅加入攪拌池內進行攪拌,待氯化銅完全溶解;

(2)向(1)中溶液中加入草酸,然后攪拌,使液體均勻;

(3)向(2)中溶液中加入無水硫酸銅、硝酸銅、氯化鈉、氯化銨,然后攪拌,使液體均勻;

(4)最后加入羥基磺酸鹽、促進劑攪拌均勻即可。

所述促進劑為次氯酸鈉。

所述穩(wěn)定劑為尿素或硫脲。

實施例3一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數的組分組成:氯化銅8份、草酸12份、無水硫酸銅9份、硝酸銅7份、氯化鈉5份、氯化銨9份、羥基磺酸鹽13份、促進劑8份、穩(wěn)定劑6份、去離子水49份。

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制備方法,包括如下步驟:

(1)將去離子水和氯化銅加入攪拌池內進行攪拌,待氯化銅完全溶解;

(2)向(1)中溶液中加入草酸,然后攪拌,使液體均勻;

(3)向(2)中溶液中加入無水硫酸銅、硝酸銅、氯化鈉、氯化銨,然后攪拌,使液體均勻;

(4)最后加入羥基磺酸鹽、促進劑攪拌均勻即可。

所述促進劑為次氯酸鈉。

所述穩(wěn)定劑為尿素或硫脲。

對于本領域技術人員而言,顯然本發(fā)明不限于所述示范性實施例的細節(jié),而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實現本發(fā)明。因此,無論從哪一點來看,均應將實施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本發(fā)明的范圍由所附權利要求而不是所述說明限定,因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本發(fā)明內。此外,應當理解,雖然本說明書按照實施方式加以描述,但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案,說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見,本領域技術人員應當將說明書作為一個整體,各實施例中的技術方案也可以經適當組合,形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。



技術特征:

技術總結
本發(fā)明公開了一種用于TFT?LCD顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數的組分組成:氯化銅5?10份、草酸9?16份、無水硫酸銅7?10份、硝酸銅6?8份、氯化鈉3?8份、氯化銨7?10份、羥基磺酸鹽11?15份、促進劑6?9份、穩(wěn)定劑4?9份、去離子水45?52份。本發(fā)明的銅蝕刻液添加劑以去離子水為溶劑,呈電中性,銅蝕刻液添加劑在進行濕法蝕刻之前添加到蝕刻液中,能夠改善蝕刻液的蝕刻品質,使蝕刻速率、均一性得到提高;同時配合促進劑可以提升蝕刻速度,有效降低鹽酸的使用量,在工藝上有利于生產效率,且經濟實用,配制方法簡單,蝕刻過程中不產生有害氣體。

技術研發(fā)人員:白航空
受保護的技術使用者:合肥市惠科精密模具有限公司
技術研發(fā)日:2017.06.02
技術公布日:2017.09.05
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