技術總結
本實用新型公開了一種管式PECVD石墨舟冷卻房，包括冷卻房，所述冷卻房的內部設置有冷卻風扇，所述冷卻房的內部相對兩側壁對稱設置有機械手臂移動導軌，所述機械手臂移動導軌的內側端開設有移動槽，所述移動槽中設置有機械手臂，所機械手臂能夠沿著所述移動槽移動，待冷卻的石墨舟的兩端分別開設有卡槽，一個所述機械手臂插入對應側的一個所卡槽中配合，以將石墨舟懸掛于所述冷卻風扇的上方。該管式PECVD石墨舟冷卻房，能夠明顯改善石墨舟的冷卻效果，減少冷卻時間，提升產能。

技術研發人員：袁中存;黨繼東
受保護的技術使用者：蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司
文檔號碼：201720131178
技術研發日：2017.02.14
技術公布日：2017.10.27