本實用新型涉及涂層技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及涂層生產(chǎn)中的一種靶材真空清洗隔離裝置。

背景技術(shù)：

在涂層生產(chǎn)過程中，通常先抽真空，加熱，再清洗靶材，再進(jìn)行工件離子刻蝕，最后涂層。在清洗靶材時，被涂層的工件已經(jīng)在設(shè)備里面，在真空狀態(tài)及480度溫度下，在靶材表面形成電弧，去除靶材表面一層組織。由于現(xiàn)有的靶材都是敞開式的，靶材前面沒有任何遮擋。從而，在靶材清洗的時候，靶材揮發(fā)產(chǎn)生的物質(zhì)直接會接觸到工件，雖然靶材清洗干凈了，但是卻產(chǎn)生了工件被靶材清洗所產(chǎn)生的廢料污染的風(fēng)險。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的目的在于提供一種靶材真空清洗隔離裝置，可以保證在靶材清洗時不會污染工件。

為實現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：一種靶材真空清洗隔離裝置，包括擋板、上支撐結(jié)構(gòu)和下支撐結(jié)構(gòu)，該擋板設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述擋板通過上支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置于真空腔體的上腔壁上，擋板通過下支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置于真空腔體的下腔壁上，所述擋板的后方設(shè)有靶材，所述上支撐結(jié)構(gòu)包括氣動元件、N極磁鐵和S極磁鐵，真空腔體的上腔壁上開設(shè)有開孔，該開孔的上側(cè)設(shè)有非金屬件，所述N極磁鐵位于非金屬件的上方，該N極磁鐵與氣動元件連接，所述S極磁鐵位于開孔的下方 ，該S極磁鐵與所述擋板的上端相接，所述下支撐結(jié)構(gòu)為一軸承支撐件，該軸承支撐件的內(nèi)腔為錐形腔，所述擋板的下端設(shè)有一連接軸，該連接軸連接于軸承支撐件的內(nèi)腔中。

進(jìn)一步的，所述S極磁鐵由半塊強磁鐵和半塊非磁性材料組成。

進(jìn)一步的，氣動元件與控制系統(tǒng)連接。

本實用新型的有益效果是：在靶材清洗時，氣動元件轉(zhuǎn)動，通過S極磁鐵和N極磁鐵的強磁性作用，帶動擋板轉(zhuǎn)動，從而關(guān)閉擋板，靶材清洗時揮發(fā)的物質(zhì)被擋板擋住，留在擋板上，從而不會污染真空腔室以及真空腔室內(nèi)的工件。靶材清洗完成后，在氣動元件、S極磁鐵和N極磁鐵的配合下，將擋板打開，以進(jìn)行后續(xù)的涂層加工工序。真空腔室的上腔壁的開孔上通過非金屬件進(jìn)行密封，不僅保證了真空腔體的密封性，而且非金屬件又不會削弱磁性的強度，隨著時間的延長，不會被磁化，有效保證了N極磁鐵和S極磁鐵的高磁性。另外，本實用新型的上支撐結(jié)構(gòu)的設(shè)計，在擋板轉(zhuǎn)動的過程中，擋板上端以及上支撐結(jié)構(gòu)不與真空腔體的上腔壁接觸，不會產(chǎn)生轉(zhuǎn)動引起的漏氣風(fēng)險及磨損問題，有效的保證了腔體的密封性，保證了工件的安全性。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型的較佳實施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實用新型的優(yōu)點和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本實用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。

如圖1所示，一種靶材真空清洗隔離裝置，包括擋板1、上支撐結(jié)構(gòu)和下支撐結(jié)構(gòu)，該擋板1設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述擋板1通過上支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置于真空腔體的上腔壁上，擋板1通過下支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置于真空腔體的下腔壁上，所述擋板1的后方設(shè)有靶材，所述上支撐結(jié)構(gòu)包括氣動元件2、N極磁鐵3和S極磁鐵4，真空腔體的上腔壁上開設(shè)有開孔5，該開孔5的上側(cè)設(shè)有非金屬件6，所述N極磁鐵3位于非金屬件6的上方，該N極磁鐵3與氣動元件2連接，所述S極磁鐵4位于開孔5的下方 ，該S極磁鐵4與所述擋板1的上端相接，所述下支撐結(jié)構(gòu)為一軸承支撐件7，該軸承支撐件7的內(nèi)腔為錐形腔，所述擋板1的下端設(shè)有一連接軸8，該連接軸8連接于軸承支撐件7的內(nèi)腔中，連接軸8的下端為與軸承支撐件7的錐形腔配合的錐形結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步說，所述S極磁鐵4由半塊強磁鐵和半塊非磁性材料組成。

進(jìn)一步說，氣動元件2與控制系統(tǒng)連接。

在靶材清洗時，控制系統(tǒng)控制氣動元件2轉(zhuǎn)動，并在S極磁鐵4和N極磁鐵3的強磁性作用下，帶動擋板1轉(zhuǎn)動，從而關(guān)閉擋板1，達(dá)到開關(guān)的作用，靶材清洗時其表面揮發(fā)的物質(zhì)被擋板1擋住，留在擋板1上，從而不會污染真空腔室以及真空腔室內(nèi)的工件。靶材清洗完成后，在氣動元件2、S極磁鐵4和N極磁鐵3的配合下，擋板1打開，以進(jìn)行后續(xù)的涂層加工工序。

真空腔室的上腔壁的開孔5上通過非金屬件6進(jìn)行密封，不僅保證了真空腔體的密封性，而且非金屬件6又不會削弱磁性的強度，隨著時間的延長，不會被磁化，有效保證了N極磁鐵3和S極磁鐵4的高磁性。另外，本實用新型的上支撐結(jié)構(gòu)的設(shè)計，在擋板1轉(zhuǎn)動的過程中，擋板上端以及上支撐結(jié)構(gòu)不與真空腔體的上腔壁接觸，不會產(chǎn)生轉(zhuǎn)動引起的漏氣風(fēng)險及磨損問題，有效的保證了腔體的密封性，防止在高溫下因漏氣造成的工件被氧化的現(xiàn)象發(fā)生，保證了工件的安全性。下支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計為軸承支撐件7，軸承支撐件7可以便于擋板下端的連接軸8以及擋板1的轉(zhuǎn)動，且軸承支撐件7的內(nèi)腔與連接軸8之間存在一定的間隙，可以讓擋板1有一定角度的擺動。軸承支撐件7的內(nèi)腔為錐形腔，形成錐形支撐，可以減少轉(zhuǎn)動時的阻力及摩擦力。

以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。