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一種拉絲模具內(nèi)孔制備金剛石涂層的裝置的制作方法

文檔序號:11206680閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種拉絲模內(nèi)孔制備金剛石涂層的裝置,所述裝置包括真空腔室,以及設(shè)置在真空腔室內(nèi)的樣品臺、熱絲和多個具有模孔的拉絲模具,其特征在于,所述樣品臺包括相對設(shè)置的第一端和第二端,所述拉絲模具間隔卡設(shè)在所述樣品臺的第一端上,所述樣品臺的第二端設(shè)有通孔,所述拉絲模具的模孔與所述通孔相連通;所述樣品臺的上方水平設(shè)置有熱絲,所述熱絲的兩端分別連接電極柱;

所述裝置還設(shè)有導(dǎo)流器,以及插入所述真空腔室內(nèi)的進(jìn)氣管和排氣管,所述排氣管的出口與一泵相連;所述導(dǎo)流器包括腔體,所述導(dǎo)流器具有相對設(shè)置的第一端和第二端,所述第二端大于所述第一端的徑向尺寸;所述第一端連接有與所述腔體連通的進(jìn)氣管,所述第二端上設(shè)有多個與所述腔體連通的分流管;所述分流管的出口位于所述模孔的正上方。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述分流管的出口與所述拉絲模具的模孔共軸線。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述裝置還包括勻氣罩,所述勻氣罩位于所述樣品臺的通孔的下方;所述勻氣罩包括罩體,所述勻氣罩具有相對設(shè)置的第一端和第二端,所述勻氣罩的第一端連接有與所述罩體相連通的所述排氣管。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,所述勻氣罩的第一端的徑向尺寸小于或等于所述第二端的徑向尺寸。

5.如權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,所述勻氣罩的第二端上設(shè)有多個勻氣支管,所述勻氣支管部分伸入所述樣品臺的通孔內(nèi)。

6.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述樣品臺的第一端上設(shè)有與拉絲模具的外形匹配的凹槽,所述凹槽與所述通孔同軸。

7.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述熱絲的一端固定在一電極柱上,所述熱絲的另一端繞接到另一電極柱后與一砝碼連接,所述砝碼通過一支撐板進(jìn)行支撐,所述支撐板通過鉬螺釘固定在所述另一電極柱上。

8.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述樣品臺由相對設(shè)置的兩根支撐柱進(jìn)行支撐,所述支撐柱還用于對樣品臺的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

9.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述熱絲距所述分流管的高度為45-65mm。

10.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述熱絲距所述拉絲模具的高度為8-15mm。

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