技術總結
本實用新型提供了一種拉絲模內孔制備金剛石涂層的裝置，包括真空腔室及樣品臺、熱絲、導流器和多個具有模孔的拉絲模具，樣品臺包括相對設置的第一端和第二端，拉絲模具間隔卡設在樣品臺的第一端上，樣品臺的第二端設有與模孔連通的通孔；樣品臺上方水平設置有兩端連接電極柱的熱絲；還包括插入真空腔室內的進氣管和排氣管，排氣管與泵相連；導流器的腔體具有相對設置的第一端和徑向尺寸大于第一端的第二端；第一端與進氣管相連通，第二端上設有多個與腔體連通的分流管；分流管的出口位于模孔的正上方。采用該裝置能避免將熱絲穿過模具內孔，將沉積涂層用的反應氣體在熱絲周圍產生的等離子團定向引至拉絲模具的模孔內，實現金剛石涂層的均勻沉積。

技術研發人員：唐永炳;張松全;王陶
受保護的技術使用者：深圳先進技術研究院
文檔號碼：201720240029
技術研發日：2017.03.13
技術公布日：2017.10.10